Title:
ジアルキルヒドロキシルアミンによる分解に対するトリス（２−ヒドロキシエチル）メチルアンモニウムヒドロキシドの安定化
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017529318
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、様々な用途において原料として有用な安定化溶液、及び、１つ又は複数のジアルキルヒドロキシルアミン又はそれらの無機若しくは有機酸塩を含む安定剤でそのような水溶液を安定化するための方法を提供する。安定化溶液及びそれらの水溶液を安定化するための方法は、例えば、トリス（２−ヒドロキシエチル）メチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＨＥＭＡＨ）及び／又はカルボヒドラジド（ＣＨＺ）の水溶液を含む。
Inventors:
Roman Ivanov
Chuyoung-Yuenco
Fred sun
Chuyoung-Yuenco
Fred sun
Application Number:
JP2017502783A
Publication Date:
October 05, 2017
Filing Date:
July 17, 2015
Export Citation:
Assignee:
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
International Classes:
C07C213/10; C07C215/40; C07C239/08; C07C281/06; H01L21/304
Domestic Patent References:
| JPS59134752A | 1984-08-02 | |||
| JP2011502281A | 2011-01-20 |
Foreign References:
| WO2013154968A1 | 2013-10-17 |
Attorney, Agent or Firm:
Atsushi Aoki
Takashi Ishida
Tetsuji Koga
Atsushi Ebiya
Naori Kota
Satoshi Deno
Kenji Kimura
Takashi Ishida
Tetsuji Koga
Atsushi Ebiya
Naori Kota
Satoshi Deno
Kenji Kimura