Title:
安定性ビス（アルキル－アレーン）遷移金属錯体、及びそれを用いた膜堆積方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024520373
Kind Code:
A
Abstract:
【解決手段】 基材上に金属含有膜を形成する方法であって、金属含有前駆体を含有する膜形成性組成物の蒸気に基材を暴露するステップと、気相堆積プロセスを介して、金属含有前駆体の少なくとも一部を基材の上に堆積して、基材上に金属含有膜を形成するステップと、を含み、金属含有前駆体は純Ｍ（アルキル－アレーン）２であり、ＭはＣｒ、Ｍｏ、又はＷであり、アレーンは、（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、及びＲ６のそれぞれは独立して、Ｈ、Ｃ１－Ｃ６アルキル、Ｃ１－Ｃ６アルケニル、Ｃ１－Ｃ６アルキルフェニル、Ｃ１－Ｃ６アルケニルフェニル、又は－ＳｉＸＲ７Ｒ８から選択され、Ｘは、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉから選択され、Ｒ７、Ｒ８のそれぞれは、Ｈ、Ｃ１－Ｃ６アルキル、Ｃ１－Ｃ６アルケニルから選択される）である、方法が開示される。【選択図】図１４
Inventors:
Arteaga Murrah, Rocio, Alejandra
Rocha, Raphael
Ganteau, Julien
Beppu, Teruo
Pen, bow
Rocha, Raphael
Ganteau, Julien
Beppu, Teruo
Pen, bow
Application Number:
JP2023572152A
Publication Date:
May 24, 2024
Filing Date:
May 20, 2022
Export Citation:
Assignee:
Rail Liquide-Societe Anonym Pools Retude e Rex Prosatation de Procede Georges Claude
International Classes:
C23C16/18; C07F11/00
Attorney, Agent or Firm:
Michie Obuchi
Yukio Fuse
Yukio Fuse
Previous Patent: Multilayer composites with thermal barrier properties
Next Patent: Containers containing selective dissolved gas content
Next Patent: Containers containing selective dissolved gas content