Title:
溶射装置およびその制御方法、ならびに、溶射装置の設定プログラムおよび設定方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024066141
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】溶射装置において、できるだけ均一な膜を効率よく形成するようにする。【解決手段】ターゲットに粉体を溶融して噴射することにより前記ターゲットに膜を形成する溶射装置であって、前記ターゲットを保持するホルダと、前記ホルダに保持されたターゲットに前記粉体を噴射するノズルと、前記ターゲットを保持したホルダを回転させる回転機構と、前記ターゲットを保持したホルダに対して前記ノズルを相対移動させる移動機構と、前記回転機構が前記ホルダを回転させる周速度、および、前記移動機構が前記ノズルを相対移動させる相対移動速度を制御するとともに、前記ホルダに保持されたターゲットに対して、前記ターゲットの縁側から中心に向かって螺旋状に前記ノズルを移動するよう、前記回転機構および前記移動機構を制御する制御装置と、を備える溶射装置が提供される。【選択図】図3A
Inventors:
Junpei Fujikata
Application Number:
JP2022175495A
Publication Date:
May 15, 2024
Filing Date:
November 01, 2022
Export Citation:
Assignee:
Ebara Corporation
International Classes:
C23C4/134; B05B7/16; B05C13/02; B05D1/10; B05D3/00; C23C4/123
Attorney, Agent or Firm:
Seiji Ohno
Hideki Kobayashi
Hiroyuki Ohno
Koji Morita
Rika Fukami
Tomohiro Matsuno
Seiichi Sakatani
Hiroshi Nomoto
Hideki Kobayashi
Hiroyuki Ohno
Koji Morita
Rika Fukami
Tomohiro Matsuno
Seiichi Sakatani
Hiroshi Nomoto
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