Title:
超純水製造システム及び超純水製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2019188964
Kind Code:
A1
Abstract:
超純水製造システムの殺菌後の立ち上げ期間を短縮することのできる超純水製造システム及び超純水製造方法を提供すること。直列に接続された限外ろ過膜装置２及び微粒子フィルター３を有し、被処理水を前記限外ろ過膜装置２と前記微粒子フィルター３で順に処理して超純水を製造する超純水製造システム１であって、前記限外ろ過膜装置２は、粒子径２０ｎｍ以上の微粒子の除去率が９９．８％以上であり、前記微粒子フィルター３は、耐酸化剤性のろ過膜を具備する超純水製造システム１及び超純水製造方法。
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Inventors:
Teru Tani
Shiori Nagata
Yukio Noguchi
Shiori Nagata
Yukio Noguchi
Application Number:
JP2020510064A
Publication Date:
March 11, 2021
Filing Date:
March 25, 2019
Export Citation:
Assignee:
Nomura Micro Science Co., Ltd.
International Classes:
C02F1/44; B01D61/00; B01D61/58; B01D71/34; B01D71/36; B01D71/68; C02F1/32; C02F1/42; C02F1/58; C02F1/70; C02F9/12
Attorney, Agent or Firm:
Patent Business Corporation Sakura International Patent Office