Title:
超音波ナノ幾何学的形状制御プロセスおよび方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024518886
Kind Code:
A
Abstract:
本明細書では、ディスプレイ用のアイピース、例えばヘッドウェアラブルデバイスに使用されることができる基材上にナノ構造を製造するためのシステムおよび方法が開示される。そのような基材を製造および／またはエッチングすることは、基材を浴に浸漬することと、第１の期間にわたって超音波処理を浴に適用することと、を含むことができる。第１の浴に適用される超音波処理は、流体を撹拌して、基材の表面にわたって実質的に均一な第１の反応性環境を提供することができる。基材は、第２の浴に浸漬されることができ、超音波処理は、第２の期間にわたって第２の浴に適用されることができる。第２の浴に適用される超音波処理は、流体を撹拌して、基材の表面にわたって実質的に均一な第２の反応性環境を提供することができる。エッチングされた基材を生成するために、第２の期間中に基材の表面から所定量の材料が除去されることができる。
Inventors:
Shin, Bikuramujito
McDonald, Lorenzo
Shoe, Frank Wai.
McDonald, Lorenzo
Shoe, Frank Wai.
Application Number:
JP2023563972A
Publication Date:
May 08, 2024
Filing Date:
April 19, 2022
Export Citation:
Assignee:
Magic Leap,Inc.
International Classes:
H01L21/306; H01L21/304; H01L21/308
Attorney, Agent or Firm:
Shusaku Yamamoto
Natsuki Morishita
Takatoshi Iida
Daisuke Ishikawa
Kensaku Yamamoto
Natsuki Morishita
Takatoshi Iida
Daisuke Ishikawa
Kensaku Yamamoto