Title:
導波路型受光素子及び導波路型受光素子アレイ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7118306
Kind Code:
B1
Abstract:
本開示の導波路型受光素子は、半導体基板（１）と、半導体基板（１）上に積層された第１導電型コンタクト層（２）、第１導電型クラッド層（３）、光吸収層（４）、第２導電型クラッド層（５）及び第２導電型コンタクト層（６）からなり、半導体基板（１）の一端から離間する光入射面（２２ａ）を有するとともに半導体基板（１）の他端から離間する後面（２２ｂ）を有するリッジ導波路（２２）と、リッジ導波路（２２）の光入射面（２２ａ）に接して設けられ、光入射側の一面であって半導体基板（１）の一端から離間する光入射端面（２１）を有する第１半導体埋め込み領域（７ａ）と、リッジ導波路（２２）の後面（２２ｂ）に接して設けられ、後面（２２ｂ）と対向する一面であって半導体基板（１）の他端から離間する後端面（２６）を有する第２半導体埋め込み領域（７ｂ）と、を備える。
Inventors:
Ryota Takemura
Application Number:
JP2022506158A
Publication Date:
August 15, 2022
Filing Date:
October 14, 2021
Export Citation:
Assignee:
Mitsubishi Electric Corporation
International Classes:
H01L31/10
Domestic Patent References:
| JP2006066488A | 2006-03-09 | |||
| JP2004128064A | 2004-04-22 | |||
| JPH07202263A | 1995-08-04 | |||
| JP2002305319A | 2002-10-18 | |||
| JP2002203984A | 2002-07-19 | |||
| JP2000150925A | 2000-05-30 | |||
| JPH10107310A | 1998-04-24 | |||
| JP2002033504A | 2002-01-31 |
Foreign References:
| WO2006123410A1 | 2006-11-23 |
Attorney, Agent or Firm:
Parumo Patent Attorneys Office