Title:
研磨パッド
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024048262
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】研磨性能やスクラッチ発生防止機能に優れた研磨パッドを提供する【解決手段】 ポリウレタン樹脂によって構成された研磨層を有するとともに、当該研磨層の表面に形成されて被研磨物３と摺動する研磨面１Ａに、円周方向に沿った周方向溝からなる保持溝１Ｂと、該保持溝１Ｂと交差して外周面に貫通する交差溝からなる排出溝１Ｃとが形成された研磨パッド１において、上記研磨面１Ａに占める上記排出溝１Ｃの面積をＳｒ、上記保持溝１Ｂの面積から上記排出溝１Ｃとの交差部分の面積を除いた面積をＳｃ、上記研磨面１Ａに占めるランド部１Ｄの面積の割合をｒｌ、ＡＦＭ測定による研磨面１Ａ（研磨面１Ａに開口する気泡の部分を除く部分に限る）の表面粗さの標準偏差をＲｑとした場合に、Ｐ＝（Ｓｃ／Ｓｒ）＋０．１×ｒｌ×Ｒｑ・・・（１）上記式（１）に係るＰの値が１０以上６０以下の範囲内にあることを特徴とする。【選択図】 図２
Inventors:
Teppei Tateno
Hiroshi Kurihara
▲高▼見沢 大和
Keisuke Ochi
Tetsuaki Kawasaki
Hiroshi Kurihara
▲高▼見沢 大和
Keisuke Ochi
Tetsuaki Kawasaki
Application Number:
JP2022154199A
Publication Date:
April 08, 2024
Filing Date:
September 27, 2022
Export Citation:
Assignee:
Fujibo Holdings Co., Ltd.
International Classes:
B24B37/26; B24B37/24; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Makoto Kanzaki
Hiroki Ogura
Hiroki Ogura