Title:
シャワーヘッドパージカラー
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023518718
Kind Code:
A
Abstract:
【解決手段】方法、システム、およびコンピュータプログラムは、半導体製造装置向けの新しいシャワーヘッドパージカラーの構造を対象としている。このシャワーヘッドパージカラーは、上部と、上部に結合され、上部と同心の底部とを含む。上部は、プロセスガスを導入するための中空中央部と、上部の側面にパージガス用の入口とを有する。底部は、プロセスガスをシャワーヘッドに向けて導入するための中空中央部を有する。パージガスを導入するためのプレナムは、シャワーヘッドパージカラー内に規定され、底部は、パージガスをシャワーヘッド上方に排気するための孔を含む。【選択図】図１０
Inventors:
strength bradley taylor
Shin Summit Subash
Shin Summit Subash
Application Number:
JP2022554768A
Publication Date:
May 08, 2023
Filing Date:
March 16, 2021
Export Citation:
Assignee:
LAM RESEARCH CORPORATION
International Classes:
H01L21/31; C23C16/455
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Meisei International Patent Office
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