Die Erfindung betrifft eine Justiereinheit für eine Röntgenoptik in einem Röntgenfluoreszenzanalysegerät sowie ein Röntgenfluoreszenzanalysegerät.

Aus der DE 10 2013 112 736 Al ist ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Untersuchung einer Probe mit von einer Röntgenstrahlungsquelle e- mitierter Strahlung bekannt, die über zumindest eine strahlformende Einheit, zu der von einem Probenhalter getragenen Probe geführt und mit einem Detektor detektiert und in einer Auswerteeinheit ausgewertet wird. Vor Beginn der Untersuchung der Probe kann eine Stahlenquelle und/oder Strahlform der Einheit und/oder Probenhalter und/oder Detektor bezüglich eines vorgegebenen Fixpunktes und/oder dem Stahlengang mit einer Steuereinheit über Stellantriebe ausgerichtet oder eingestellt werden.

Aus der DE 197 10 420 Al ist ein Verfahren einer Vorrichtung zum Messen der Dicke dünner Schichten mittels Röntgenfluoreszenz bekannt. Diese Vorrichtung zur Schichtdickenmessung mittels Röntgenfluoreszenz umfasst eine Röntgenröhre sowie einen Detektor und eine Beobachtungseinrichtung mit einem Fokusierelement, wobei das Fokusierelement entlang seiner optischen Achse beweglich gelagert ist und mit einer Positionsmessvorrichtung versehen ist. Hierdurch wird vermieden, einen das Werkstück tragenden Tisch so zu bewegen, dass die Werkstückoberfläche auf einem vorgegebenen bestimmten Messabstand zu liegen kommt.

Die US 2015/0362639 Al offenbart ein Röntgenfluoreszenzanalysegerät mit einer Röntgenröhre, einem Röntgendetektor und einer Kamera zur Erzeugung eines optischen Bildes von der bestrahlten Messstelle einer Probe bekannt. In dem Strahlengang ist ein optischer Spiegel vorgesehen, der ein Durchtrittsfenster für die Röntgenstrahlung aufweist, welche mit einer Folie überdeckt ist, die aus einer Spiegelschicht gebildet ist.

Aus der EP 1 100 092 Bl ist ein Röntgenfluoreszenzanalysegerät bekannt, welches eine Röntgenquelle zur Erzeugung einer Röntgenstrahlung umfasst. Diese Röntgenstrahlung wird über eine Röntgenoptik auf ein Messobjekt fokussiert. Die von dem Messobjekt emittierte Sekundärstrahlung wird von einem Detektor des Röntgenfluoreszenzanalysegerätes erfasst und in einer Datenverarbeitungseinrichtung ausgewertet. Darüber hinaus ist bekannt, zwei konisch zueinander ausgerichtete Reflexionsflächen sowie am Austrittsende der Reflexionsflächen einen Kollimator einzusetzen, um die Röntgenstrahlung auf einen kleinen Brennfleck oder Messpunkt zu fokussieren, um das Messobjekt mit einer hohen Intensität zu bestrahlen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Justiereinrichtung für eine Röntgenoptik in einem Röntgenfluoreszenzanalysegerät sowie einem Röntgenfluoreszenzanalysegerät vorzuschlagen, um eine einfache Ausrichtung einer Röntgenoptik zu einer Röntgenquelle zu ermöglichen.

Diese Aufgabe wird durch eine Justiereinrichtung für eine Röntgenoptik in einem Röntgenfluoreszenzanalysegerät gelöst, welches einen Montagerahmen umfasst, der einen ersten Rahmen aufnimmt, welcher in einer ersten Richtung zum Montagerahmen verschiebbar ist und einen zweiten Rahmen umfasst, der an dem ersten Rahmen in eine zweite Richtung verschiebbar geführt ist, wobei die erste und die zweite Richtung der Verschiebebewegungen der Rahmen voneinander abweichend sind und dass eine Durchgangsöffnung, insbesondere eine zentrale Durchgangsöffnung, vorgesehen ist, welche sich durch den Montagerahmen, den ersten und zweiten Rahmen erstreckt und in der Durchgangsbohrung die Röntgenoptik anordenbar ist.

Diese Justiereinrichtung weist den Vorteil auf, dass die Röntgenoptik zur Fokussierung der Röntgenstrahlung in einfacher Weise auf die Röntgenquelle ausgerichtet und eingestellt werden kann. Dadurch kann eine optische Achse der Röntgenoptik auf die von der Röntgenquelle ausgegebene Röntgenstrahlung ausgerichtet werden. Diese Justage erfolgt insbesondere für die Inbetriebnahme des Röntgenfluoreszenzanalysegerätes. Beispielsweise aufgrund einer Wärmeentwicklung in der Röntgenquelle während des Betriebs kann gegebenenfalls ein Drift der Röntgenstrahlung relativ zur Strahlachse der Röntgenoptik erfolgen. Durch diese Justiereinrichtung kann eine einfache Nachjustierung und exakte Ausrichtung der Röntgenoptik zur Röntgenstrahlung erfolgen, beispielsweise während des Betriebes und/oder nach einer vorbestimmten Betriebsdauer. Durch die Justage kann eine hohe Intensität der Röntgenstrahlung auf einen Messpunkt der Messoberfläche fokussiert werden, wodurch eine Erhöhung einer Zählrate der Röntgenfluoreszenzstrahlung für einen Detektor des Röntgenfluoreszenzanalysegeräts ermöglicht wird. Durch die erhöhte Zählrate kann eine verbesserte Auswertung der emittierten Sekundärstrahlung und somit des Messergebnisses ermöglicht sein. Somit kann beispielsweise eine Schichtdickenmessung auf dem Messobjekt und/oder eine Materialanalyse einer Schicht auf dem Messobjekt verbessert werden.

Bevorzugt ist vorgesehen, dass die in der Durchgangsöffnung angeordnete Röntgenoptik durch den ersten und/oder zweiten Rahmen in einer Ebene senkrecht zur Strahlachse der Röntgenstrahlung verschiebbar ist. Dadurch wird in einfacher Weise eine Justierung ermöglicht. Vorteilhafterweise sind eine Erstreckungsebene des ersten und des zweiten Rahmens parallel zueinander ausgerichtet.

Die Röntgenoptik, deren Strahlachse vorzugsweise zur Z-Achse ausgerichtet ist, kann in der X- und/oder Y-Richtung durch den ersten und/oder zweiten Rahmen der Justiereinrichtung verschiebbar sein. Dadurch kann ein Fokuspunkt der Röntgenoptik in einfacher Weise zur Strahlachse der Röntgenstrahlung ausgerichtet werden.

Zwischen den Montagerahmen und dem ersten Rahmen ist eine erste Linearführung und zwischen dem ersten Rahmen und dem zweiten Rahmen eine zweite Linearführung vorgesehen, die jeweils durch eine Stellvorrichtung einstellbar sind. Dies ermöglicht eine einfache Justage der Röntgenoptik zur Strahlachse der Röntgenstrahlung.

Die erste Stelleinrichtung für eine Verschiebebewegung des ersten Rahmens zum Montagerahmen und die zweite Stelleinrichtung für eine Ver- Schiebebewegung des ersten Rahmens zum zweiten Rahmen sind bevorzugt zu einer gemeinsamen Bedienseite ausgerichtet. Dadurch genügt die Zugänglichkeit zur Justiereinrichtung in dem Röntgenfluoreszenzanalysegerät von nur einer Seite, um insbesondere die um 90° voneinander abweichenden Verschiebebewegungen der Rahmen einzustellen.

Bevorzugt umfasst die erste Stelleinrichtung eine Stellschraube, welche durch eine Feder vorgespannt zum ersten Rahmen an einem Flansch vorgesehen ist, der an dem Montagerahmen fixiert ist. Dies ermöglicht, dass bei einer aufeinanderfolgenden Stellbewegung der Stellschraube durch eine Rechts- und Linksdrehung ein Spiel oder eine Hysterese eines Gewindeantriebs eliminiert wird, wodurch eine einfache Justage und erhöhte Präzision gegeben ist.

Des Weiteren ist bevorzugt zwischen der Stellschraube des ersten Stellantriebs und dem Flansch ein Friktionselement vorgesehen. Dadurch kann eine selbständige Veränderung einer eingestellten Stellposition der Stellschraube in einfacher Weise verhindert werden.

Die zweite Stelleinrichtung der Justiereinrichtung umfasst bevorzugt eine Stellschraube und ein Stellglied, durch welche eine 90°-Umlenkung der Stellbewegung der Stellschraube für eine Verschiebebewegung des ersten Rahmens zum zweiten Rahmen ansteuerbar ist. Vorteilhafterweise ist das Stellglied durch eine Feder vorgespannt zum ersten Rahmen an einem zweiten Flansch vorgesehen, der an dem zweiten Rahmen fixiert ist. Durch die vorgespannte Fixierung des Stellgliedes an dem ersten Rahmen kann wiederum eine spielfreie Anordnung geschaffen werden.

Des Weiteren ist bevorzugt vorgesehen, dass die zweite Stelleinrichtung eine Klemmeinrichtung zur Sicherung einer eingestellten Position der Stellschraube aufweist. Die eingestellte Position der Stellschraube kann nach der Ausrichtung des ersten Rahmens zum zweiten Rahmen durch ein leichtes Verspannen der Klemmeinrichtung mit einem Klemmelement gesichert werden. Dadurch kann eine Friktion zwischen den Stellschrauben und dem zweiten Flansch der zweiten Stellschraube erfolgen. Vorteilhafterweise ist vorgesehen, dass die Linearführungen der Justiereinrichtung als eine Kugelführung ausgebildet sind. Solche Kugelführungen weisen den Vorteil auf, dass diese bei der Ansteuerung einer Verschiebebewegung mit einer geringeren Kraft ansteuerbar sind. Alternativ kann auch vorgesehen sein, dass die Linearführungen durch eine Gleitführung oder aus einer Kombination aus Roll- und Gleitführung ausgebildet sind.

Die bei der Justiereinrichtung vorgesehene Linearführung umfasst bevorzugt zwei paarweise und im Abstand zueinander ausgerichteten Führungsstangen, zwischen denen Lagerrollen angeordnet sind, die mit einem linear ausgebildeten Käfig geführt sind. Die Lagerrollen werden bevorzugt zwischen den parallel zueinander ausgerichteten Führungsstangen geführt und sind entlang den Führungsstangen verschiebbar.

Die paarweise angeordneten Führungsstangen sind vorteilhafterweise jeweils in einer Vertiefung des Rahmens eingelegt, wobei die Vertiefung eine Breite umfasst, die gleich oder größer als die Dicke der beiden Führungsstangen ist. Durch die zwischen den Führungsstangen angeordneten Lagerrollen und Druckstifte, die über ein Druckelement zumindest einseitig auf ein Paar der Führungsstangen drückt, kann eine vorgespannte Führung erzielt werden.

Bevorzugt sind die Führungsstangen in der Vertiefung durch Querstifte gesichert, die rechtwinklig zur Längsachse der Führungsstangen ausgerichtet sind. Dies ermöglicht eine einfache Montage und Sicherung der Führungsstangen.

Des Weiteren ist vorteilhafterweise zur Einstellung des Lagerspiels der Linearführungen vorgesehen, dass zumindest ein Druckstift zu der einen Vertiefung des jeweiligen Rahmens ausgerichtet ist. Beispielsweise kann der Druckstift zu einem Zwischenraum zwischen den paarweise in der Vertiefung angeordneten Führungsstangen ausgerichtet sein und zumindest teilweise in den Zwischenraum zwischen den paarweise zueinander angeordneten Führungsstangen eingreifen, um den Abstand der Führungsstangen innerhalb der Vertiefung einzustellen. Alternativ kann vorgesehen sein, dass einem Paar der Führungsstangen ein Druckelement zugeordnet ist und der zumindest eine Druckstift auf das Druckelement einwirkt, welches wiederum auf die paarweise einander zugeordneten Führungsstangen wirkt. Beide Alternativen dienen der Einstellung eines Lagerspiels der Linearführung.

Zur Ausrichtung und Montage der Justiereinrichtung in dem Röntgenfluoreszenzanalysegerät weist der Montageflansch bevorzugt eine Anschlussfläche mit zumindest einer Anschlagfläche zu deren Ausrichtung aus.

Dies ermöglicht eine einfache Positionierung und Montage, insbesondere eine orthogonale Ausrichtung zur Strahlachse der Röntgenstrahlung.

Des Weiteren ist bevorzugt vorgesehen, dass die Röntgenoptik mit einer Aufnahme oder einem Montagehilfsmittel in der Durchgangsöffnung des zweiten Rahmens lösbar befestigt ist. Die Röntgenoptik kann innerhalb der Durchgangsöffnung des ersten Rahmens und des Montagerahmens in X- und/oder Y-Richtung verschiebbar sein.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Justiereinrichtung kann vorgesehen sein, dass an dem zweiten Rahmen ein dritter Rahmen vorgesehen ist, der dem ersten Rahmen gegenüberliegt und die Röntgenoptik an dem dritten Rahmen anordenbar ist, wobei zwischen dem zweiten und dritten Rahmen eine dritte Stelleinrichtung vorgesehen ist, durch welche ein Abstand zwischen dem zweiten und dritten Rahmen einstellbar ist. Dadurch kann die Röntgenoptik zusätzlich entlang der Strahlachse der Röntgenstrahlung, also vorzugsweise entlang der Z-Achse, einstellbar sein. Dies ermöglicht eine Ausrichtung zur Anode, insbesondere zum Entstehungspunkt des Röntgenstrahles an der Anode.

Die Röntgenoptik kann als Monokapillare oder Polykapillare ausgebildet sein, wobei insbesondere eine Polykapillare vorgesehen ist, bei welcher der Brennfleck einen Durchmesser zwischen 30 pm bis 600 pm oder 10 m bis 100 pm oder insbesondere kleiner 200 pm, wie beispielsweise 1 bis 5 pm umfassen kann.

Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird des Weiteren durch Röntgenfluoreszenzanalysegerät gelöst, bei welchem eine Justiereinrichtung nach einem der vorbeschriebenen Ausführungsformen vorgesehen ist, wodurch die Röntgenoptik zur Röntgenquelle ausrichtbar ist.

Die Erfindung sowie weitere vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen derselben werden im Folgenden anhand der in den Zeichnungen dargestellten Beispiele näher beschrieben und erläutert. Die der Beschreibung und den Zeichnungen zu entnehmenden Merkmale können einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination erfindungsgemäß angewandt werden. Es zeigen :

Figur 1 eine schematisch vereinfachte Schnittansicht eines Röntgenfluoreszenzanalysegeräts,

Figur 2 eine perspektivische Ansicht einer Justiereinrichtung,

Figur 3 eine perspektivische Explosionsdarstellung der Komponenten der Justiereinrichtung gemäß Figur 2,

Figur 4 eine schematische Schnittansicht entlang der Linie

IV-IV in Figur 2,

Figur 5 eine schematische Schnittansicht entlang der Linie

V-V in Figur 2, und

Figur 6 eine schematische Schnittansicht entlang der Linie

VI-VI in Figur 2.

In Figur 1 ist schematisch vereinfacht ein Röntgenfluoreszenzanalysegerät 11 dargestellt. Dieses Röntgenfluoreszenzanalysegerät 11 umfasst eine Röntgenquelle 12, welche beispielsweise als Röntgenröhre 14 ausgebildet ist. Diese Röntgenröhre 14 umfasst eine Glühkathode 16, von welcher Elektronen emittiert und durch eine angelegte Beschleunigungsspannung UB gegen eine Anode 17 beschleunigt werden. Dort werden die Elektroden abgebremst und eine Röntgenstrahlung 18 erzeugt. Der Wellenlängenbereich der Röntgenstrahlung 18 hängt von der Beschleunigungsspannung UB ab, welche typischerweise im Bereich bei 10 kV, insbesondere beispielsweise bei 50 kV, liegen kann. Als Anodenmaterial kann beispielsweise Wolfram oder Molybdän vorgesehen sein.

Die Röntgenstrahlung 18 wird durch eine Röntgenoptik 19 fokussiert auf ein Messobjekt 21 gerichtet. Das Messobjekt 21 kann beispielsweise eine Beschichtung 22 aufweisen oder ein Schichtsystem. In einem Messfleck 24 an oder auf dem Messobjekt 21, in welchem die Röntgenstrahlung 18 auf das Messobjekt 21 auftritt, wird eine Röntgenfluoreszenzstrahlung 26 erzeugt, die von einem Detektor 27, beispielsweise einem Halbleiterdetektor, erfasst wird. Durch eine Auswertung eines erfassten Energiespektrums kann beispielsweise eine Materialzusammensetzung der Beschichtung 22 oder des Messobjektes 21 und/oder die Schichtdicke der zumindest einen Beschichtung 22 bestimmt werden.

Ergänzend kann das Röntgenfluoreszenzanalysegerät 11 eine optische Einrichtung 29 umfassen. Diese optische Einrichtung 29 kann zur Kontrolle und Positionierung des Messobjektes 21 zur Messposition vorgesehen sein. Hierbei kann es sich auch um eine Videobeobachtung handeln. Zur Anordnung und Aufnahme der Röntgenoptik 19 in dem Röntgenfluoreszenzanalysegerät 11 ist eine Justiereinrichtung 31 vorgesehen. Diese Justiereinrichtung 31 kann lösbar an einer weiteren Komponente 32 des Röntgenfluoreszenzanalysegerätes 11 befestig bar sein. Im Ausführungsbeispiel kann es sich bei der Komponente 32 um einen sogenannte Shutter handeln. Unterhalb der Justiereinrichtung 31 ist bevorzugt eine Sicherheitseinrichtung 33 für die Röntgenoptik 19 vorgesehen. Im Ausführungsbeispiel ist die Röntgenoptik 19 als eine Polykapillare ausgebildet. Die Röntgenoptik 19 ist zur Strahlachse der Röntgenstrahlung 18 ausgerichtet. Bevorzugt liegt die Strahlachse der Röntgenstrahlung 18 in einer Z-Achse. Durch die Justiereinrichtung 31 ist die Röntgenoptik 19 in einer Ebene senkrecht zur Strahlachse der Röntgenstrahlung 18, also Z-Achse, verfahrbar. Insbesondere ermöglicht die Justiereinrichtung 31 eine Einstellung in einer X-Y-Ebene, so dass die Strahlachse der Röntgenoptik 19 zur Strahlachse der Röntgenstrahlung 18 ausrichtbar ist, insbesondere dass diese ineinander liegen.

In Figur 2 ist eine perspektivische Ansicht der Justiereinrichtung 31 dargestellt. Die Justiereinrichtung 31 umfasst einen Montagerahmen 35. Durch diesen Montagerahmen 35 ist die Justiereinrichtung 31 an der weiteren Komponente 32 befestigbar. An dem Montagerahmen 35 ist ein erster Rahmen 36 in eine Richtung verschiebbar aufgenommen. An dem ersten Rahmen 36 und dem Montagerahmen 35 gegenüberliegend ist ein zweiter Rahmen 37 vorgesehen, der in einer abweichenden Richtung zum ersten Rahmen 36 an diesem verschiebbar angeordnet ist.

Zur Ansteuerung der Verschiebebewegung des ersten Rahmens 36 zum Montagerahmen 35 ist eine erste Stelleinrichtung 38 vorgesehen. Für die Verschiebebewegung des ersten Rahmens 36 zum zweiten Rahmen 37 ist eine zweite Stelleinrichtung 39 vorgesehen. Die erste und zweite Stelleinrichtung 38, 39 sind zu einer gleichen Bedienseite ausgerichtet, so dass eine einfache Zugänglichkeit für beide Stelleinrichtungen 38, 39 im eingebauten Zustand der Justiereinrichtung 31 gegeben ist.

An dem Montagerahmen 35 ist eine Anschlussfläche 41 vorgesehen, so dass die Justiereinrichtung 31 parallel zur Ausrichtung einer Tischachse eines schematisch dargestellten Messtisches 25 erfolgt, auf dem das Messobjekt 21 positionierbar ist. Diese Anschlussfläche 41 weist mehrere Anschlagflächen 42 auf, so dass eine Verdrehung der Justiereinrichtung 31 in 90°-Schritten gegeben und die Einstellung einer Bedienung der Justiereinrichtung 31 von allen Seiten möglich ist.

Die Justiereinrichtung 31 weist eine Durchgangsöffnung 44 auf. Diese ist vorzugsweise zentral in der Justiereinrichtung 31 vorgesehen. Die Durchgangsöffnung 44 erstreckt sich durch den Montagerahmen 35, den ersten Rahmen 36 und den zweiten Rahmen 37. An dem zweiten Rahmen 37 ist die Röntgenoptik 18 lösbar durch ein Montagehilfsmittel 46 (Figur 1) aufgenommen.

In Figur 3 ist schematisch eine Explosionsdarstellung der Komponenten von der Justiereinrichtung 31 gemäß Figur 2 dargestellt. Der erste Rahmen 36 ist durch eine Linearführung 48 zum Montagerahmen 35 geführt. Zwischen dem ersten Rahmen 36 und dem zweiten Rahmen 37 ist eine zweite Linearführung 49 vorgesehen, die um 90° versetzt ist. Diese Linearführungen 48, 49 sind vorzugsweise als Kugelführungen ausgebildet.

Die erste und die zweite Linearführung 48, 49 sind bevorzugt gleich ausgebildet. Die Linearführung 48, 49 umfasst zwei paarweise einander gegenüberliegende Führungsstangen 51, zwischen denen Lagerrollen 52 positioniert sind, welche durch einen linear ausgebildeten Käfig 53 geführt sind. Das erste Paar Führungsstangen 51 ist beispielsweise in einer Vertiefung 54 des ersten Rahmens 36 vorgesehen. Das zweite Paar Führungsstangen 51 ist in einer gegenüberliegenden Vertiefung 54 an dem Montagerahmen 35 vorgesehen. Die Vertiefungen 54 erstrecken sich zur einfachen Herstellung vollständig entlang der gesamten Länge des Montagerahmens 35 bzw. ersten Rahmens 36. Zur Sicherung der Führungsstangen 51 in den Vertiefungen 54 sind Querstifte 56 vorgesehen, die quer zur Längsrichtung der Vertiefung 54 in die Vertiefung 54 eingesetzt sind und dazwischenliegend die Führungsstangen fixieren.

Zur Einstellung eines Lagerspiels der Linearführungen 48, 49 sind Druckstifte 58 vorgesehen. Diese Druckstifte 58 sind beispielsweise im Montagerahmen 35 eingesetzt und von außen bedienbar, so dass der Abstand der Führungsstangen 51 in der Vertiefung 54 des Montagerahmens 35 zu den Führungsstangen 51 in der Vertiefung 54 im ersten Rahmen 36 einstellbar ist. Des Weiteren kann bevorzugt vorgesehen sein, dass in einer der beiden Vertiefungen 54 ein Druckelement 59 bzw. eine Druckstange zwischen den Druckstiften 58 und der paarweise zueinander ausgerichteten Führungsstangen 51 vorgesehen ist, um eine gleichmäßige Druckverteilung und Spieleinstellung zu ermöglichen. Diese vorbeschriebene Linearführung 48,49 ist zweifach zwischen dem Montagerahmen 35 und dem ersten Rahmen 36 sowie vorteilhafterweise zwischen dem ersten Rahmen 36 und dem zweiten Rahmen 37 vorgesehen.

Die erste Stelleinrichtung 38 umfasst einen ersten Flansch 62, der an einer Stirnseite des Montagerahmens 35 fixiert ist. Der erste Flansch 62 nimmt eine Stellschraube 63 auf, die in ein Gewinde im ersten Rahmen 36 eingreift. Zwischen dem ersten Rahmen 36 und dem ersten Flansch 62 ist eine die Stellschraube 63 umgebende Druckfeder 64 (Figur 6) vorgesehen, um eine Hysterese bei der Ansteuerung der Verfahrbewegung zu reduzieren oder zu eliminieren.

Um 90° versetzt zur ersten Stelleinrichtung 38 ist die zweite Stelleinrichtung 39 an der Justiereinrichtung 31 vorgesehen. Diese zweite Stelleinrichtung 39 umfasst einen zweiten Flansch 66, der an dem zweiten Rahmen 37 befestigt ist. Des Weiteren ist an dem zweiten Rahmen 37 ein Stellglied 67 befestigt, auf welches eine Stellschraube 68 (Figur 6) einwirkt. Die Stellschraube 68 weist eine kegelförmige Spitze auf, die an einer Schrägfläche 69 des Stellgliedes 67 anliegt und angreift. Die Schrägfläche 69 und die kegelförmige Spitze sind in einem Winkel von 45° zur Längsachse der Stellschraube 68 bzw. zur Verschieberichtung des ersten Rahmens 36 zum zweiten Rahmen 37 ausgerichtet.

An dem zweiten Flansch 66 ist eine Klemmeinrichtung 72 vorgesehen, welche durch ein Klemmelement 73, insbesondere eine Klemmschraube, betätigbar ist. Die Stellschraube 68 greift mit einem Gewinde an einer an dem zweiten Flansch 66 biegbar angeordneten Klemmlasche 74 und an den zweiten Flansch 66 an. Durch die Betätigung des Klemmelementes 73 kann über die biegbare Klemmlasche 74 eine Vorspannung auf die Stellschraube 68 aufgebaut werden. Dadurch entsteht eine erhöhte Friktion zwischen der Stellschraube 68 und dem Gewinde des zweiten Flansches 66. Die zweite Stelleinrichtung 39 kann in der eingestellten Position durch Friktion gesichert sein. In Figur 4 ist eine schematische Schnittansicht entlang der Linie IV-IV in Figur 2 dargestellt. Aus dieser Schnittansicht ist ersichtlich, dass durch eine Stellbewegung der Stellschraube 63 der ersten Stelleinrichtung 38 eine Verschiebebewegung des ersten Rahmens 36 in einer Y-Richtung ansteuerbar ist.

Gleichzeitig zeigt die Schnittansicht gemäß Figur 4 die Anordnung der zwei parallel zueinander ausgerichteten Linearführungen 49 für eine verschiebbare Aufnahme des ersten Rahmens 36 an dem zweiten Rahmen 37.

In Figur 5 ist eine schematische Schnittansicht entlang der Linie V-V in Figur 2 dargestellt. Aus dieser Schnittansicht geht hervor, dass der erste Rahmen 36 durch zwei parallele Linearführungen 48 zum Montagerahmen 35 verschiebbar aufgenommen ist.

In Figur 6 ist eine schematische Schnittansicht entlang der Linie VI-VI gemäß Figur 2 dargestellt. Die Stellschraube 63 der ersten Stelleinrichtung 38 kann bevorzugt mit einem Friktionselement 75 ausgebildet sein. Dadurch kann eine Stellposition der Stellschraube 63 gesichert werden, insbesondere durch das Zusammenspiel mit der Druckfeder 64. Bei dem Friktionselement 75 kann es sich um einen O-Ring handeln.

Die Schnittansicht der zweiten Stelleinrichtung 39 zeigt eine 90°-Umlen- kung einer Zustellbewegung der Stellschraube 68 auf das Stellglied 67. Vorzugsweise ist der zweite Rahmen 37 und das Stellglied 67 unter Vorspannung durch eine Druckfeder 64 zueinander angeordnet.

Während dem Betrieb der Röntgenquelle 12 kann es durch die Erwärmung der Röntgenquelle 12 aufgrund entstehender Wärmeausdehnungen an Komponenten des Röntgenfluoreszenzanalysegerätes 11 zu Ungenauigkeiten kommen. Durch die Justiereinrichtung 31 kann die in der Durchgangsöffnung 44 positionierte Röntgenoptik 19 senkrecht zur Strahlachse der Röntgenstrahlung 18 in einer X-/Y-Richtung verschiebbar sein. Dadurch kann die Strahlachse der Röntgenoptik 19 auf die Strahlachse der Röntgenquelle 12 einjustiert werden. Dies führt zu einer erhöhten Intensität der Röntgenstrahlung 18 in dem Messfleck 24 und zu einer verbesserten Auswertung der erfassten Messwerte.