Aus der europäischen Patentanmeldung Nr. 00115881.5 der Anmelderin ist ein Positionsmesssystem mit einem sogenannten Mixed-Amplitude-Phase- Gitter, kurz MAP-Gitter, bekannt, das aus in Messrichtung alternierend an- geordneten kombinierten Amplituden-und Phasenstrukturen besteht. Da- durch trägt im wesentlichen die 1. Beugungsordnung zum Ausgangssignal des Gitters bei, andere Beugungsordnungen werden im wesentlichen unter- drückt.

Aus dem Aufsatz von R. M. Pettigrew, erschienen in SPIE Vol. 136,15' European Congress on Optics Applied to Metrology (1977), Seiten 325- 332, sind die Grundlagen der Geometrischen-und Beugungs-Optik an ei- nem Gitter bekannt. Insbesondere ist daraus bekannt, das im geometrischen Bild eines Gitters Talbot-Ebenen existieren, in denen das Gitter abgebildet wird, d. h. die Modulation des Lichts entspricht in einer Talbot-Ebene im we- sentlichen seiner Modulation unmittelbar hinter dem Gitter. Zwischen Talbot- Ebenen treten Nullstellen der Modulation und Phasensprünge auf. Im Beu- gungsbild hingegen treten keine Phasensprünge auf und auch die Modula- tion des Lichts durch das Gitter weist keine Nullstellen auf.

Aus der US 5,196 900 wird durch ein Kamerasystem ein Winkelmesssystem realisiert, bei dem eine Linse benutzt wird, um eine punktförmige Lichtquelle auf einem zweidimensionalen photosensitiven Feld abzubilden. Nachdem das rotationssymmetrische Zentrum der Linse des Winkelmesssystems er- mittelt wurde und dadurch das Winkeimesssystem kalibriert wurde, können zwei Winkel gleichzeitig berührungslos bestimmt werden. Hierfür ist eine Bildverarbeitungseinheit vorgesehen, die für jede Lichtquelle zweidimensio- nale Winkelwerte ermittelt. Weiterhin ist ein Prozessor vorgesehen, um für

jede Lichtquelle deren Koordinaten im Raum zu berechnen. Die Genauigkeit wird dadurch verbessert, dass eine statistische Analyse der vom zweidimen- sionalen photosensitiven Feld durch benachbarte Feldelemente ermittelten Intensitätswerte erfolgt.

Aus der US 5,805,287 ist ein Verfahren und eine Anordnung zur Positions- und Lagebestimmung von mehreren Objekten relativ zueinander bekannt.

Dabei werden mindestens zwei Kameras mit elektro-optischen Sensoren benötigt und ein Netzwerk aus Referenzpunkten, deren Positionen entweder bekannt sind oder bestimmt werden, indem mindestens eine Kamera aus verschiedenen Positionen im Raum die Projektionen der Referenzpunkte ermittelt. Anschließend werden mittels der bekannten Positionen der Refe- renzpunkte die Kamerapositionen bestimmt. Die Positionen der Objekte re- lativ zueinander werden dann bestimmt, indem ein Testwerkzeug mit minde- stens einem Punkt des Objekts in Kontakt gebracht wird und Messwerte für das Testwerkzeug mittels mindestens zweier Kameras in bekannten Positio- nen ermittelt werden.

Bei der US 5,196 900 und bei der US 5,805,287 ist von Nachteil, dass auf dem zweidimensionalen photoempfindlichen Feld mittels der Linse die Licht- quelle nur in einem einzigen Punkt abgebildet wird und dadurch nur wenige Pixel eine Ortsinformation der Lichtquelle liefern. Unvermeidliches Rauschen führt in diesem Fall zu erheblichen Unsicherheiten bei der Positionsbestim- mung. Neben der ungenügenden Genauigkeit ist auch der relativ große Aufwand nachteilig, der zur Positionsbestimmung erforderlich ist. So werden mindestens zwei Kameras benötigt, um einen Positionswert zu ermitteln.

Weiterhin erfolgt in den Kameras eine Abbildung mittels Objektiv, was zu einer großen Messunsicherheit führt. Das Verhältnis von Auflösung zu Mess- bereich liegt bei derartigen Systeme nur in einem Bereich von >10-4.

Aus der DE 39 38 935 C2 ist ein Bewegungsmessverfahren und eine Ein- richtung zu dessen Durchführung bekannt. Licht einer ortsfesten Lichtquelle scheint auf ein in Messrichtung bewegliches optisches Gitter, wodurch Beu- gung auftritt. In einem definierten Abstand zum optischen Gitter ist ein relativ

zur Lichtquelle ortsfester Optodetektor angeordnet, der die Intensität des gebeugten Lichts detektiert. Wird das zwischen Lichtquelle und Optodetektor angeordnete optische Gitter in Messrichtung bewegt, wandern die Maxima des Beugungsbildes über den Optodetektor und erzeugen zur Bewegung in Messrichtung proportionale Modulationen im Ausgangssignal des Optode- tektors.

Dabei ist von Nachteil, dass die Abstände zwischen Lichtquelle, optischem Gitter und Optodetektor nur in eng begrenzten Bereichen variieren dürfen, da beispielsweise die Modulationstiefe des im Optodetektor detektierten Lichts abhängig ist von dem Abstand zwischen Optodetektor und optischem Gitter. Würde sich der Abstand zwischen Optodetektor und Lichtquelle deut- lich ändern, können Phasensprünge und Verlust der Modulation auftreten.

Daher ist das offenbarte Verfahren und die offenbarte Anordnung nicht für Winkelmesssysteme geeignet, bei denen sich die Lage und Entfernung der Lichtquelle relativ zum Optodetektor in weiten Bereichen verändert.

Aus der US 4,218,615 ist ein optischer inkrementaler Drehgeber bekannt, bei dem durch eine Lichtquelle ein Spalt beleuchtet wird. Das durch den Spalt hindurchtretende Licht beleuchtet ein erstes Gitter, das relativ zur Lichtquelle und dem Spalt feststeht. Von diesem Gitter liegt in den Talbot- Ebenen ein Abbild vor. Ein zweites, relativ zum ersten Gitter in Messrichtung verschiebbares Gitter wird in einer der Talbot-Ebenen angeordnet. Durch die Verschiebung dieses zweiten Gitters relativ zum ersten Gitter in Messrich- tung wird die Amplitude des auf einen hinter dem zweiten Gitter angeordne- ten Photodetektor abhängig von der Verschiebung des zweiten Gitters rela- tiv zum ersten Gitter verändert. Dadurch sind die vom Photodetektor ausge- gebenen Spannungsmodulationen ein Maß für die relative Verschiebung vom zweiten relativ zum ersten Gitter in Messrichtung.

Dies weist den Nachteil auf, dass der Abstand zwischen zweitem und erstem Gitter nur in sehr engen Bereichen schwanken darf, da sonst die Tatbot- Ebene verlassen wird und eine Verschiebung des zweiten relativ zum ersten Gitter zu keiner ausreichenden Modulation der Lichtintensität und damit zu keiner ausreichenden Spannungsmodulation im Ausgangssignal des Photo-

detektors führt. Daher ist das offenbarte Verfahren und die offenbarte An- ordnung nicht für Winkelmesssysteme geeignet, bei denen sich die Lage und Entfernung der Lichtquelle relativ zum Optodetektor in weiten Bereichen verändert.

Aus der US 5,900,936 ist ein Verfahren und eine Anordnung zur Messung von Oberflächendeformationen und Oberflächenverlagerungen bekannt.

Hierfür sind in einem bestimmten Abstand zwei Quellen für kohärentes Licht angeordnet, die beide in Richtung eines Optodetektors strahlen. Der Opto- detektor ist an der Oberftäche angeordnet, deren Deformation oder Verlage- rung gemessen werden soll. Dort entsteht ein Interferenzmuster mit in Mess- richtung wechselnder Intensität des Lichts der beiden kohärenten Lichtquel- len. Die durch eine Bewegung des Optodetektors verursachten intensität- sänderungen werden durch einen Prozessor ausgewertet.

Dabei ist von Nachteil, dass mindestens eine Quelle für kohärentes Licht be- nötigt wird, die relativ teuer ist. Weiterhin nachteilig ist, dass bei Verwendung eines Detektors, der gegenüber der Lichtquelle wesentlich verkippt wird, nur eine einzige Phase des auftreffenden Lichts detektiert werden kann.

Schließlich ist aus der EP 331 353 A2 ein Messsystem bekannt, das zur Er- fassung von räumlichen Winkeländerungen zwischen einer Sende-und Empfangseinheit geeignet ist. Während sendeseitig an einem ersten Objekt u. a. eine Sendeeinheit, z. B. in Form einer geeigneten Lichtquelle angeord- net ist, wird an einem zweiten Objekt eine Detektoreinheit mit einem vorge- ordneten Gitter befestigt ; das Gitter ist hierbei als bekanntes Amplitudengit- ter ausgebildet. Als Nachteil der vorgeschlagenen Anordnung ist wiederum das Verhalten im Fall eines ggf. stark schwankenden Abstandes zwischen den beiden Objekten anzuführen, da dann detektorseitig keine hinreichende Signalmodulation mehr sichergestellt werden kann.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Winkelmesssystem an- zugeben, welches eine möglichst direkte Winkelbestimmung von einem er- sten Objekt relativ zu einem zweiten Objekt ermöglicht. Insbesondere ist

hierbei wünschenswert, dass der Abstand zwischen erstem und zweitem Objekt und somit der Abstand zwischen einzeinen Baugruppen des Mess- systems in weiten Bereichen variieren kann.

Diese Aufgabe wird durch ein Winkelmesssystem mit den im Anspruch 1 an- gegebenen Merkmalen gelöst.

Ferner wird diese Aufgabe durch ein Winkelmesssystem mit den im An- spruch 2 angegebenen Merkmalen gelöst.

Weiterbildungen und vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Winkelmesssystems sind den jeweils abhängigen Ansprüchen zu entneh- men.

Das erfindungsgemäße Winkelmesssystem weist den Vorteil auf, dass im Fall des Einsatzes im Arbeitsraum einer Werkzeugmaschine eine Kompen- sation thermischer Ausdehnungen und Verformungen einer Maschine nicht erforderlich ist, da das Winkelmesssystem im wesentlichen unmittelbar die Winkeländerung zwischen den beiden Objekten erfasst, beispielsweise Werkzeug und Werkstück. Für diese Funktion sind lediglich die Bauelemente Lichtquelle, Gitter und Optosensor erforderlich. Dadurch ist das erfindungs- gemäße Winkelmesssystem kompakt und preisgünstig realisierbar.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass der Abstand zwischen einer ersten und einer zweiten Baugruppe des Winkelmesssystems, die an einem ersten und zweiten Objekt, beispielsweise einer Werkzeugmaschine, befestigt sind, in weiten Bereichen schwanken kann, wodurch ein großes Messvolumen des Winkelmesssystems ermöglicht wird, beispielsweise im Arbeitsraum einer Werkzeugmaschine.

Ferner ist als Vorteil anzuführen, dass auch eine eventuelle Verkippung der Baugruppen des erfindungsgemäßen Winkelmesssystems die Winkelmes- sung nicht fehlerhaft beeinflusst.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass bei einer geeigneten Anordnung von mindestens drei Winkelmesssystemen eine direkte Bestimmung einer Posi- tion im Raum erfolgen kann. Mit noch mehr erfindungsgemäßen Winkel- messsystemen kann auch die Lage im Raum detektiert werden. Zudem ist die schwierige Bestimmung von Ungenauigkeiten in den mechanischen Baugruppen nicht mehr erforderlich, beispielsweise von Gelenkfehlern bei Werkzeugmaschinen mit Parallelkinematiken oder von Führungsfehlern, die bei einer achsweisen Positionierung von mindestens zwei Achsen auftreten und bei einer achsweisen Positionsmessung nicht erfasst werden können.

Weitere Vorteile sowie Einzelheiten des erfindungsgemäßen Winkelmesssy- stems sowie des erfindungsgemäßen Verfahrens ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele anhand der Zeich- nungen. Dabei zeigt : Fig. 1 eine erste mögliche Ausgestaltung eines erfindungsge- mäßen Winkelmesssystems, Fig. 2 eine zweite mögliche Ausgestaltung eines erfindungsge- mäßenWinkelmesssystems, Fig. 3 eine erste erfindungsgemäße Realisierungsmöglichkeit ei- ner Auswerteelektronik, Fig. 4 eine zweite erfindungsgemäße Realisierungsmöglichkeit einer Auswerteelektronik, Fig. 5 ein Ausführungsbeispiel für ein zweidimensionales Mixed- Amplitude-Phase-Gitter und Fig. 6 ein Ausführungsbeispiel für ein eindimensionales Mixed- Amplitude-Phase-Gitter.

Es soll zunächst ein Überblick über das erfindungsgemäße Winkelmesssy- stem und dessen Funktionsweise gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel gegeben werden. Anschließend werden die einzelnen Baugruppen detailliert mit alternativen Realisierungsmöglichkeiten beschrieben. Danach wird kurz ein alternatives Ausführungsbeispiel erläutert.

In Fig. 1 ist ein erstes mögliches Ausführungsbeispiel für ein erfindungsge- mäßes Winkelmesssystem dargestellt. Um den Winkel zwischen zwei relativ zueinander beweglichen Objekten zu bestimmen, wird an einem ersten, be- weglichen Objekt eine Lichtquelle 1 befestigt. An einem zweiten bewegli- chen oder feststehenden Objekt im-in bestimmten Grenzen variierenden- Abtastabstand u vom ersten Objekt wird eine Detektoreinheit 2 angeordnet, die das Licht der Lichtquelle 1 detektiert. Selbstverständlich können dabei Detektoreinheit 2 und Lichtquelle 1 auch miteinander vertauscht werden.

Erfolgt die Anwendung des erfindungsgemäßen Winkelmesssystems an ei- ner Werkzeugmaschine, wird als erstes bewegliches Objekt der sich nicht drehende Spindelkopf der Werkzeugmaschine gewählt, wobei die Licht- quelle 1 bevorzugt in der Nähe der Werkzeugeinspannung angeordnet wird und als zweites Objekt wird vorteilhaft die Einspannvorrichtung für das Werkstück gewählt, wobei die Detektoreinheit 2 bevorzugt in der Nähe des Werkstücks angeordnet wird. Besonders vorteilhaft gemäß der Erfindung ist, dass je näher Lichtquelle 1 und Detektor 2 am Berührungspunkt von Werk- zeug mit Werkstück angeordnet sind, um so mehr das Messergebnis verfäl- schende Einflüsse unmittelbar im Messergebnis berücksichtigt werden. Da- durch kann eine Kompensation derartiger Einflüsse (insbesondere thermi- sche Ausdehnung und mechanische Ungenauigkeiten) weitgehend entfallen.

Dies ist wegen der erfindungsgemäßen Ausgestaltung des Winkelmess- systems möglich, bei dem Lichtquelle 1 und Detektoreinheit 2 an unter- schiedlichen Objekten möglichst nahe dem Punkt angeordnet werden, in dem die Winkeländerung des ersten relativ zum zweiten Objekt bestimmt werden soll.

Die Lichtquelle 1 strahlt divergent ab und wird vorzugsweise durch eine Leuchtdiode realisiert. Der Divergenzwinkel der Lichtquelle 1 wird so groß gewähit, dass die Detektoreinheit 2 bei jeder möglichen eigenen Position und Lage sowie jeder möglichen Position und Lage der Lichtquelle 1 im Messvolumen mit ausreichender Intensität bestrahlt wird.

Die Detektoreinheit 2 besteht aus einem Gitter 2.1 mit der Gitterkonstanten de sowie einem im Abstand v vom Gitter 2.1 angeordneten, bevorzugt strukturierten Photodetektor 2.2, der mehrere Einzelphotoelemente mit ähn- lichen oder gleichen Abmessungen aufweist. Alternativ kann der strukturierte Photodetektor 2.2 auch durch ein einziges Photoelement, vor das ein Gitter angeordnet ist, realisiert werden. Sollen mehrere Phasenlagen der Strah- lungsintensität des auf den Photodetektor 2.2 treffenden Lichts ermittelt werden, sind mehrere elektrisch getrennte Einzelphotoelemente zu verwen- den. Diese können gegeneinander versetzt sein oder bei einem strukturier- ten Photodetektor 2.2 ineinander liegen.

Das von der Lichtquelle 1 bestrahlte Gitter 2.1 erzeugt auf dem strukturierten Photodetektor 2.2 ein Intensitätsstreifensystem 3 mit der Periode dl. Die Lage der Intensitätsstreifen hängt von der Winkellage der Lichtquelle 1 rela- tiv zur Detektoreinheit 2 ab. Verschiebt sich die Lichtquelle 1 relativ zur De- tektoreinheit 2 in Richtung des Gittervektors des Gitters 2.1, wandert das Intensitätsstreifensystem 3 über den Photodetektor 2.2. Der Gittervektor steht dabei senkrecht auf einer Gitterlinie und weist in Richtung einer ande- ren Gitterlinie. Der Abstand, den die Lichtquelle 1 in Richtung des Gitter- vektors bewegt werden muss, damit auf dem Photodetektor 2.2 das Intensi- tätsstreifensystem 3 um eine Periode d, verschoben wird, wird im folgenden als virtuelle Signalperiode SP bezeichnet.

Die erfindungsgemäße Verwendung eines Gitters 2.1 als abbildendes Ele- ment zwischen Lichtquelle 1 und Photodetektor 2.2 bietet den Vorteil, dass nicht nur ein einziges Bild der Lichtquelle 1 auf dem Photodetektor 2.2 ent- steht, sondern viele, wodurch die Auflösung wesentlich gesteigert werden kann.

Im folgenden wird das Winkelmesssystem insgesamt und dessen Funktion beschrieben.

Eine günstige Konfiguration ist beispielsweise durch folgende Dimensionie- rung für das erfindungsgemäße Winkelmesssystem gegeben : Abtastabstand u von Lichtquelle 1 zur Detektoreinheit 2 0,5-1,5 m Abstand v von Gitter 2.1 zum strukturierten Photodetektor 2.2 80 mm Gitterkonstante dG des Gitters 2.1 148 lim/296 pm (für das geometrische Bild bzw. Beugungsbild) Detektorperiode do 160 pm Ausdehnung der Lichtquelle 1 400 pm Virtuelle Signalperiode SPo im Abtastabstand Uo=1 m 2 mm Intensitätsperiode am strukturierten Photodetektor 2.2 156 pm-171 lim (abhängig vom Abtastabstand u) Zahl der Detektorperioden do 5 Zahl der Einzelphotoelemente 20 Phasenwinkel zwischen den Einzelphotoelementen 90° Zur Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Winkelmesssystems stehen eine Vielzahl von Variationsmöglichkeiten offen, die beliebig miteinander kombi- niert werden können. Einige werden im folgenden erläutert.

Es können zwei verschiedene Abbildungsvarianten durch das Winkelmess- system benutzt werden, das Beugungsbild, bei dem die Modulation nicht verschwindet und das geometrische Bild, bei dem nur in der Nähe be- stimmter Abstände (Talbot-Abstände) zum Gitter 2.1 ein kontrastreiches Bild des Gitters 2.1 vorliegt. Im geometrischen Bild verwendet man vorteilhaft ein Amplitudengitter oder ein Phasengitter mit 90° Phasenhub zur Abbildung, dessen Gitterkonstante de die folgenden Beziehungen gelten : cb = v/ (Uo+v) SPo und de = uo/(u0+v) dD Dabei ist uo der mittlerer Abtastabstand und SPo ist die mittlere, virtuelle Si-

gnalperiode im Abtastabstand uo. Im geometrischen Bild ergeben sich je- doch nur bei bestimmten Abtastabständen u mit 1/u+1/v1/ (n-ZT) hohe Modulationsgrade der Abtastsignale, wobei ZT = dG2/R als Talbotab- stand bezeichnet wird. Von einem Abstandsbereich mit hoher Modulation zum nächsten Abstandsbereich mit hoher Modulation tritt eine Nullstelle in der Modulation und auch ein Phasensprung von 180° auf, so dass nur ein beschränkter Abstandsbereich (nur ein fester Index n) genutzt werden kann.

Vorteilhafter ist daher das Beugungsbild zu wählen, da hier kein Phasen- sprung zwischen den Abstandsbereichen mit hoher Modulation auftritt. Das Gitter wird hier z. B. als Phasengitter mit 180° Phasenhub und gleicher Steg- und Lückenbreite ausgebildet. Für die Dimensionierung der Gitterkonstanten dG gelten entsprechende Vorschriften : dG= 2 uo/(u0+v) dD und dG = 2 (uo+v). SPO Vorteilhaft bei der Verwendung des Beugungsbildes ist, dass keine Phasen- sprünge bei der Variation des Abstands zwischen Lichtquelle 1 und Detektor 2 auftreten. In der Praxis schwankt aber der Modulationsgrad erheblich bei Abstandsänderungen zwischen Lichtquelle 1 und Detektoreinheit 2. Ursache dafür sind höhere Beugungsordnungen des Abbildungsgitters 2.1. Durch die Verwendung von kombinierten Phasen/Amplitudengittern als Gitter 2.1 wird über den gesamten Abstandsbereich ein konstant hoher Modulationsgrad ermöglicht. Für die Wahl der Gitterkonstanten dG gelten auch bei kombinier- ten Phasen/Amplitudengittern die gleichen Vorschriften wie im Beugungs- bild.

Um die Signalqualität des Ausgangssignals des Photodetektors 2.2 zu ver- bessern, werden Oberwellen, die durch höhere Beugungsordnungen verur- sacht werden, gedämpft. Dafür wird vorteilhaft am Gitter 2.1 eine spezielle Filterstruktur zur Filterung von Oberwellen angeordnet. Als derartige Ober-

wellenfilter eignen sich alle aus dem Stand der Technik bereits bekannten optischen Oberwellenfilter. Dabei wird der Oberwellenfilter in das verwen- dete MAP-Gitter 2.1, das weiter unten erläutert wird, integriert ausgeführt.

Beispielsweise werden zusätzlich zu der in Fig. 6 gezeigten Amplitudentei- lung AT noch weitere lichtundurchlässige Stege parallel zur vorhandenen Amplitudenteilung AT vorgesehen, die aber wesentlich schmaler als die vor- handene Amplitudenteilung AT sind. Dies bewirkt beispielsweise, dass zu- sätzlich insbesondere die fünfte und siebte Beugungsordnung gedämpft wird. Dadurch kann die Amplitude der dritten Signaloberwelle im Ausgangs- signal des Photodetektors 2.2 praktisch zum Verschwinden gebracht wer- den.

Alternativ kann der Oberwellenfilter auch am strukturierten Photodetektor 2.2 oder an der Lichtquelle 1 des zweiten Ausführungsbeispiels angeordnet sein. Dies weist jedoch den Nachteil auf, dass dann die Filterfunktion abhän- gig ist von dem Abstand zwischen Lichtquelle 1 und Photodetektor 2.2. Um diese Abhängigkeit möglichst vollständig zu vermeiden, wird die Empfind- lichkeit des Photodetektors 2.2 entsprechend beispielsweise einem um die Mitte symmetrischen Hammingfensters modifiziert. Anstelle des Hamming- fensters können alle aus dem Bereich der Fouriertransformation bekannten Fenster-Funktionen verwendet werden. Dafür ist beispielsweise ein Ham- ming-Fenster geeignet, das bei einem strukturierten Photodetektor 2.2 reali- siert wird, indem die Längen der Photoelemente des Photodetektors 2.2 pa- rallel zu den Gitterlinien des Gitters 2.1 unterschiedlich sind. Die Länge der Photoelemente wird gemäß der Funktion eines Hamming-Fensters be- stimmt.

Im folgenden wird die erfindungsgemäße Lichtquelle 1 detailliert erläutert.

Die Lichtquelle 1 wird derart ausgestaltet, dass für jede mögliche Stellung der Lichtquelle 1 relativ zum Detektor 2 der Emissionsschwerpunkt der Licht- strahlen möglichst an der gleichen Stelle liegt. Dies wird beispielsweise durch eine zumindest abschnittsweise flächige, zylinderförmige oder kugel-

förmige Lichtquelle 1 erreicht. Die Ausdehnung der Lichtquelle 1 sollte vor- teilhaft kleiner ungefähr der virtuellen Signalperiode SP sein.

Weiterhin kann der Emissionspunkt der Lichtquelle 1 durch eine Optik derart verschoben werden, dass ein virtueller Emissionspunkt erzeugt wird. Da- durch kann eine Messung möglichst unmittelbar am gewünschten Ort, bei- spielsweise der Spindel, erfolgen. Weiterhin kann durch eine entsprechende Optik auch die Divergenz verändert werden.

Es besteht auch die Möglichkeit, nicht unmittelbar den Ort der Erzeugung der Lichtstrahlung als Lichtquelle 1 zu benutzen, sondern die Lichtstrahlung über Lichtwellenleiter an einen oder mehrere für die Lichtquelle 1 günstigen Orte, insbesondere nahe am Werkstück oder nahe am Werkzeug, zu leiten.

Dann wird das Ende des Lichtleiters, an dem die Lichtstrahlung divergent austritt als Lichtquelle 1 definiert. Dadurch hat man den Vorteil einer kleinen, runden strahlenden Fläche mit einem vom Winkel unabhängigen Emissions- schwerpunkt. Besonders geeignet ist dies auch für kleine Messvolumen, bei denen eine Lichtquelle 1 mit ausreichender Strahlungsintensität einen nicht unerheblichen Platzbedarf hätte. Die Lichtquelle 1 könnte dann entfernt vom Messvolumen angeordnet werden und es könnten mehrere Lichtwellenleiter die Strahlung einer einzigen Lichtquelle 1 an unterschiedliche, für das Win- kelmesssystem günstig Stellen weiterleiten.

Als Lichtquelle 1 eignet sich grundsätzlich jede, die eine kleine Leuchtfiäche aufweist. Die maximale Ausdehnung der Lichtquelle sollte 75% der minimal auftretenden, virtuelle Signalperiode SP nicht überschreiten, da sonst die Modulation zu gering ist. Falls auch Drehungen zwischen Lichtquelle 1 und Detektoreinheit 2 auftreten, wählt man vorteilhaft für die Lichtquelle 1 eine runde Leuchtfläche. Besonders geeignete Lichtquellen 1 sind Leuchtdioden, Halbleiterlaserdioden einschließlich vertikal emittierender VCSELS, Bogen- und andere Entladungslampen und Glühlampen. Um die Einhaltung von La- serschutzbestimmungen zu erleichtern, können Lichtquellen im sichtbaren Wellenlängenbereich oder auch im sogenannten"Eye-safe"-Bereich vorteil- haft sein.

In Fällen, bei denen keine relevanten Drehungen zwischen der Lichtquelle 1 und der Detektoreinheit 2 auftreten, ist es nicht unbedingt erforderlich, dass die Lichtquelle 1 vollständig rund ist. Insbesondere kann sie dann eine iäng- liche Form parallel zum Intensitätsstreifensystem 3 auf dem Detektor 2 be- sitzen oder senkrecht hierzu strukturiert sein. So ist z. B. eine Zeile aus LEDs oder Laserdioden im Abstand der virtuellen Gitterperiode SPo als Lichtquelle 1 denkbar, wodurch sich gegenüber dem oben beschriebenen System mit runder Lichtquelle 1 eine deutlich höhere Lichtausbeute errei- chen lässt.

Im folgenden wird das verwendete Gitter 2.1 beschrieben.

Die Wahl des Gitters 2.1 ist von entscheidender Bedeutung für das Winkel- messsystem. Bevorzugt werden Sinusgitter oder MAP-Gitter verwendet ; zu derartigen Gittern wird ergänzend ausdrücklich auf die bereits eingangs erwähnte europäische Patentanmeldung Nr. 00115881.5 verwiesen. Unter einem Sinusgitter wird dabei ein kombiniertes Amplituden-Phasen-Gitter verstanden, das einen sin2-förmigen Intensitätsverlauf mit Phasensprüngen um 180° in den Nullstellen der Intensität aufweist. Durch derartige Gitter 2.1 kann sichergestellt werden, dass Nullstellen der Modulation und Phasen- sprünge im Intensitätsstreifensystems am Photodetektor 2.2 nicht auftreten können. Die Intensität des Lichts der Lichtquelle 1 nimmt somit nur abhängig vom Abstand u+v von der Lichtquelle 1 bzw. deren Verkippung relativ zum Detektor 2 ab. Bei Verwendung eines geeigneten MAP-Gitters als Gitter 2.1 weist die Lichtintensität des Intensitätsstreifensystems 3 im wesentlichen den gleichen Verlauf wie bei einem Sinusgitter auf. Durch ein geeignetes MAP-Gitter wird der sin2-förmige Verlauf gut angenähert, wobei das MAP- Gitter in der Herstellung preisgünstiger als ein Sinusgitter ist.

Es sei an dieser Stelle ausdrücklich darauf hingewiesen, dass sich das in der vorliegenden Erfindung verwendete Sinusgitter gemäß obiger Definition von Sinusgittern unterscheidet, die z. B. in bekannten Streifenprojektions- systemen gemäß der DE 197 38 179 C1 eingesetzt werden. So besitzen derartige Sinusgitter üblicherweise einen Verlauf der Transmissions-bzw.

Reflexionsintensität I (x), der sich gemäß I (x) = lo* sin (kx) beschreiben lässt.

Demgegenüber besitzt das erfindungemäß verwendete Sinusgitter einen Verlauf der Transmisions-Intensität l'(x) gemäß l'(x) = 102* sin2 (kx). Zudem weist das erfindungsgemäß eingesetzte Sinusgitter an den Nullstellen des Intensitätsverlaufes jeweils Phasensprünge von 180° auf.

In Fig. 6 ist ein eindimensionales MAP-Gitter im Schnitt dargestellt. Es sind die lichtundurchlässigen Schichten der Amplitudenteilung AT und die licht- durchlässigen Schichten der Phasenteilung PT auf einem lichtdurchlässigen Trägermaterial TR, beispielsweise Glas, gezeigt. Dabei ist in jedem zweiten Zwischenraum zwischen zwei Stegen der Amplitudenteilung AT ein Phasen- steg für die Phasenteilung PT vorgesehen, welcher eine Phasenverschie- bung um 180° beim hindurchstrahlenden Licht bewirkt.

In Fig. 5 ist ein Ausschnitt eines zweidimensionalen MAP-Gitters 2.1 darge- stellt. Es weist eine zweidimensionale Amplitudenteilung AT auf, nur die Stellen P11 bis P23 verbieiben lichtdurchlässig. An diesen dann noch licht- durchlässigen Stellen P11 bis P23 sind jeweils horizontal und vertikal ab- wechselnd eine Phasenteilung vorgesehen, die einen Phasenhub von 0° bzw. 180° verursacht. An den lichtdurchlässigen Stellen P21, P22 und P23 erfolgt durch die zweidimensionale Phasenteilung ein Phasenhub von 0° und an den schraffierten Stellen P11, P12 und P13 ein Phasenhub von 180°.

Das erfindungsgemäße inkrementale Winkelmesssystem kann auch Refe- renzmarken aufweisen. Vorteilhaft sind sogenannte gechirpte Referenzmar- ken, die vorzugsweise im Beugungsbild oder im geometrischen Schatten- wurf eingesetzt werden, und die aus einer geeigneten Steganordnung auf dem Gitter 2.1 und einer geeigneten Anordnung einzelner Photoelemente zu einem strukturierten Photodetektor 2.2 bestehen. Alternativ zu mehreren einzelnen Photoelementen kann auch ein Abtastgitter benutzt werden, das auf ein einzelnes Photoelement aufgebracht wird. Bevorzugt wird eine der- artige Steg-Lücke-Kombination des Gitters 2.1 gewähit, bei der am Refe- renzpunkt die Gitterkonstante am kleinsten ist und auf beiden Seiten nach außen anwächst. Dadurch wird berücksichtigt, dass sich die virtuelle Gitter-

konstante SP bei variierendem Abtastabstand u zwischen Detektor 2 und Lichtquelle 1 verändern kann.

Im folgenden wird der Photodetektor 2.2 detailliert beschrieben.

Die Detektion der Lage des Intensitätsstreifensystems 3 erfolgt durch den strukturierten Photodetektor 2.2. Ein derartiger strukturierter Photodetektor 2.2 kann-wie bereits beschrieben-auf zwei unterschiedliche Arten reali- siert werden. Es kann vor einem einzigen Photoelement ein Gitter angeord- net sein, das lichtdurchlässige und lichtundurchlässige Bereiche aufweist.

Alternativ können mehrere, elektrisch getrennte Photoelemente vorgesehen sein, die eine bestimmte Breite und einen bestimmten Abstand voneinander aufweisen, wodurch ebenfalls eine Gitterstruktur realisiert wird. Bevorzugt besteht der Photodetektor 2.2 dabei aus einer Aneinanderreihung von meh- reren Einzelphotoelementen in Messrichtung, die bevorzugt auf einem einzi- gen Substrat realisiert werden. Die elektrische Trennung zwischen den Ein- zelphotoelementen eines Substrats kann durch eine eindiffundierte Sperre erfolgen. Um die Empfindlichkeit des Photodetektors 2.2 zu erhöhen, wer- den Einzelphotoelemente im Abstand do miteinander leitend verbunden. Der Abstand do wird dabei so gewählt, dass dieser Abstand der miteinander ver- bundenen Einzelphotoelemente-hier als Detektorperiode do bezeichnet- mit der Periode d, des Intensitätsstreifensystems 3 für einen bestimmten Ab- stand zwischen Lichtquelle 1 und Photodetektor 2.2 übereinstimmt. Durch diese Maßnahme werden an den einzelnen Ausgangsleitungen des struktu- rierten Photodetektors 2.2 bei einer Bewegung der Lichtquelle 1 phasenver- setzte Abtastsignale erzeugt. Der Phasenversatz berechnet sich aus dem Quotienten von 360° durch die Anzahl Einzelphotoelemente pro Periode di des Intensitätsstreifensystems 3.

Der Aufbau des strukturierten Photodetektors 2.2 aus den verschiedenen Einzelphotoelementen kann auf die verschiedenartigsten Weisen erfolgen.

Denkbar sind Anordnungen, bei denen Einzelphotoelemente parallel zum Intensitätsstreifensystem 3 in der Detektorebene relativ zueinander versetzt sind, was insbesondere bei nicht rechteckig geformten Einzelphotoelemen- ten eine Platzersparnis mit sich bringen kann.

Grundsätzlich sollte die Detektorfläche des strukturierten Photodetektors 2.2 möglichst groß gewählt werden, um eine ausreichende Signalstärke zu ge- währleisten und um die Verschmutzungsempfindlichkeit des Winkelmesssy- stems zu reduzieren. Aufgrund der großen Variation des Abtastabstandes u treten allerdings Änderungen in der Periode d, des Intensitätsstreifensy- stems 3 auf dem Photodetektor 2.2 auf. Dies führt bei in Messrichtung gro- ßen Ausdehnungen des strukturierten Photodetektors 2.2 zu erheblichen Schwankungen des Modulationsgrades der Abtastsignale. Die Länge des Photodetektors 2.2 in Messrichtung muss daher begrenzt bleiben. Senkrecht zur Messrichtung kann der Photodetektor 2.2 aber eine große Ausdehnung aufweisen.

Alternativ kann der strukturierte Photodetektor 2.2 auch in mehrere Zonen mit jeweils mehreren Einzelphotoelementen aufgeteilt werden, wobei jede Zone eine getrennte Auswerteelektronik aufweist. Die Phasenverschiebun- gen der Signale aus den einzelnen Zonen, die je nach Abtastabstand u un- terschiedlich sind, lassen sich bestimmen und werden korrigiert, so dass die Signale der einzelnen Zonen phasenkorrigiert addiert werden können, wo- durch das Nutzsignal verstärkt wird. Daraus wird dann ein gemittelter Positi- onswert ermittelt. Für die Kompensation der Änderungen in der Periode des Intensitätsstreifensystems 3 auf dem Photodetektor 2.2 kann in der Aus- werteelektronik ein sogenannter adaptierter Arcustangens-Rechner verwen- det werden. Dieser ermittelt die Phasenverschiebungen zwischen den Aus- gangssignalen der Einzelphotoelemente des Photodetektors 2.2, korrigiert sie und berechnet mittels der Arcustangens-Funktion einen gemittelten Po- sitionswert. Zusätzlich lässt sich bei einer Auswertung die Periode der ein- zelnen Intensitätsstreifen und damit auch der Abstand der Lichtquelle 1 von der Detektoreinheit 2 ermitteln.

Als strukturierten Photodetektor 2.2 können insbesondere Halbleiterdetekto- ren, vorzugsweise aus Silizium, mit mehreren, auf einem Substrat integrier- ten Einzelphotoelementen verwendet werden ; strukturierte Avalanche-Dio- den sind ebenso geeignet. Alternativ lassen sich auch mehrere, nebenein- ander angeordnete, diskrete Photodetektoren, z. B. ebenfalls Halbleiterde-

tektoren oder auch Photomultiplier oder Microchannelplates, einsetzen. In diesem Fall ist ein zusätzliches Abtastgitter vor den diskreten Photodetekto- ren 2.2 zu verwenden.

Anstelle des strukturierten Photodetektors 2.2 kann auch eine CCD-Zeile eingesetzt werden. Die Auswertung erfolgt dann entweder wie bereits be- schrieben oder aber durch eine computergesteuerte Auswertung der aufge- nommenen Bilder. Auch hier lässt sich zusätzlich bei einer computergesteu- erten Auswertung die Periode der einzelnen Intensitätsstreifen und damit auch der Abstand der Lichtquelle 1 von der Detektoreinheit 2 ermitteln.

Bei Verwendung eines CCD-oder Photoelement-Arrays 2.2 in Verbindung mit einem zweidimensionalen Gitter 2.1, z. B. einem zweidimensionalen Si- nusgitter oder rechtwinkligen MAP-Kreuzgitter, wie es in Figur 5 gezeigt ist, kann die genaue Lage der beiden senkrecht zueinander erzeugten Intensi- tätsstreifensysteme 3 bestimmt werden, so dass mit Hilfe eines einzigen Winkelmesssystems zugleich zwei Winkel gemessen werden können.

Alternativ dazu ist auch eine andere Vorgehensweise beim Einsatz von CCD-Zeilen als Photodetektoren denkbar. Das Auslesen der CCD-Elemente erfolgt hier nicht wie meist üblich sehr schnell im Vergleich zur jeweiligen Messzeit. Stattdessen erfolgt das Weiterreichen der Ladungen in den CCD- Elementen durch eine senkrecht zu den Intensitätsstreifen in der Detektor- ebene verlaufende Eimerkettenschaltung mit gleichmäßiger Geschwindig- keit, so dass sich die jeweils über den Ort der transportierten Ladung defi- nierte"aktive Fläche"alle Stellen des Intensitätsstreifensystems 3 gleich lange aufhält. Bei zeitlich konstanter Beleuchtung würde dies zu einem kon- stanten, d. h. unmoduiierten Strom am Signalausgang der CCD-Elemente führen. Indem man nun aber die Lichtquelle 1 in ihrer Intensität beispiels- weise sinusförmig mit geeigneter Frequenz moduliert, liegt dann am Signal- ausgang der CCD-Elemente ebenfalls ein moduliertes Signal an, aus des- sen Phasenbeziehung zum Eingangssignal der Lichtquelle 1 sich der Winkel der Lichtquelle 1 relativ zur Detektoreinheit 2 ermitteln lässt.

Ein Vorteil der beschriebenen Technik besteht vor allem darin, dass zeitlich konstante Unterschiede wie unterschiedliche Streulichtbedeckungen, Emp-

findlichkeiten, Öffnungen etc. der einzelnen lichtempfindlichen Elemente durch die Bewegung der jeweils"aktiven Detektorfläche"teilweise oder voll- ständig neutralisiert werden und entsprechend zu keinem Winkelmessfehler führen. Auch Fehlerbeiträge durch die Auswertelektronik werden minimiert, da alle Signale die gleiche Elektronik durchlaufen. Weiterhin können Signal- offsets leicht mittels Hochpassfilterung eliminiert werden.

Um diese Technik für alle Abstände u zwischen Lichtquelle 1 und Detektor- einheit 2 einsetzen zu können, kann es erforderlich sein, die Modulationsfre- quenz der Lichtquelle 1 bzw. die Auslesetaktrate der CCD-Zeile jeweils dem momentanen Abstand u zwischen der Lichtquelle 1 und dem Detektor 2 in Form der CCD-Zeile anzupassen. Photoelementarrays, vorteilhaft in CMOS- Technik realisiert, mit nachgeschalteten Multiplexern, stellen in diesem Zu- sammenhang eine äquivalente Realisierung zu den CCD-Zeilen dar. Dabei erfolgt die Auswahl eines Ausgangssignals eines Photoelements entspre- chend der Auslesetaktrate der CCD-Zeile.

Im folgenden wird die Auswertelektronik beschrieben.

Durch die nachfolgende Auswerteelektronik kann der Verstärkungsfaktor, mit dem die Strahlungsleistung der Lichtquelle 1 eingestellt wird, so geregelt werden, dass die Intensitätsschwankungen des Intensitätsstreifensystems 3 aufgrund wechselnder Abstände u zwischen Lichtquelle 1 und Photodetektor 2.2 oder einer Verdrehung bzw. Verkippung von Lichtquelle 1 zu Photode- tektor 2.2 relativ zueinander zumindest im wesentlichen ausgeglichen wer- den. Weiterhin verstärkt die Auswerteelektronik die Ausgangssignale des strukturierten Photodetektors 2.2. Diese Verstärkung erfolgt bevorzugt durch einen besonders rauscharmen Verstärker unmittelbar nach der Detektion, da die Amplitude des Ausgangssignals der Einzelphotoelemente sehr klein sein kann und eine Übertragung über zusätzliche Leitungen Störungen verursa- chen können. Anschließend erfolgt eine Analog/Digital-Wandlung der Ab- tastsignale, nach bzw. bei der eine erneute Verstärkung erfolgen kann. Da- nach erfolgt eine Umrechnung der digitalen Abtastsignale des Intensitäts- streifensystems 3 in Positionswerte mittels der Arcustangens-Funktion, die

durch einen Arcustangens-Rechner oder mittels einer gespeicherten Werte- Tabelle erfolgen kann. Die Positionswerte geben die Winkellage der Licht- quelle 1 relativ zur Detektoreinheit 2 und somit die Lage von Werkzeug rela- tiv zum Werkstück an.

Störendes Untergrundlicht kann durch Wellenlängenfilter reduziert oder un- terdrückt werden. Darüber hinaus können Modulationstechniken eingesetzt werden, bei denen die Strahlungsleistung der Lichtquelle 1 periodisch mo- duliert wird und die Detektorelektronik diese Modulation mit geeigneten Fil- tern, z. B. Bandpassfiltern, detektiert. Dabei muss in der Regel die Modulai- onsfrequenz erheblich höher gewählt werden als die maximale Signalfre- quenz aufgrund einer Verschiebung von Lichtquelle 1 und Detektor 2 relativ zueinander. Außerdem bewirkt eine Quasi-Einfeldabtastung bei Verwendung eines strukturierten Photodetektors 2.2, dass eine lokal homogene Streu- lichtverteilung bei geeigneter Auswertung, beispielsweise mit vier um 90° verschobenen Phasenlagen, das Messergebnis nicht oder nur unwesentlich verändert.

Bei besonders hohen Anforderungen an die Qualität des Signals kann die bekannte Phase-Locked-Loop (PLL) Technik oder auch die Lock-In Technik verwendet werden, wie in Fig. 3 gezeigt. Dabei wird die der Lichtquelle 1 zugeleitete Leistung durch einen steuerbaren Verstärker SV derart beein- flusst, dass die von der Lichtquelle 1 emittierte Strahlungsleistung einen sinus-förmigen zeitlichen Verlauf mit der Frequenz fo aufweist. Das dafür benötigte Steuersignal liefert ein Signalgenerator SG. Die von der Licht- quelle 1 divergent abgestrahlte Strahlungsleistung wird zusammen mit Streulicht im Photodetektor 2.2 detektiert. Das Ausgangssignal des Photo- detektors 2.2 kann optional verstärkt werden. Anschließend wird dieses Signal einem Bandpass BP zugeleitet, der auf die Frequenz fo der von der Lichtquelle 1 empfangenen Strahlungsleistung abgestimmt ist bzw. einge- stellt wird.

Zur Einstellung der Bandpassfrequenz wird das Ausgangssignal des Band- passes BP einem Phasendiskriminator PD zugeleitet, dem auch das Aus-

gangssignal des Signalgenerators SG zugeleitet wird. Das Ausgangssignal des Phasendiskriminators PD wird einem geeigneten Regler R zugeleitet, der ein Steuersignal für den Bandpass BP erzeugt, um diesen genau auf die Frequenz fo abzustimmen, mit der die Intensität der Strahlung der Lichtquelle 1 moduliert wird. Derart kann sichergestellt werden, dass das Ausgangssignal des Bandpasses BP, das der weiteren Auswerteelektronik AWE des Winkelmesssystems zugeleitet wird, im wesentlichen von der Lichtquelle 1 stammt.

Noch vorteilhafter erscheint die Boxcar-Technik, die in Fig. 4 dargestellt ist.

Hier wird durch einen Impulsgenerator IG ein Verstärker IV1 angesteuert, durch den die der Lichtquelle 1 zugeleitete Leistung moduliert wird. Das da- durch entstehende impulsförmige Ausgangssignal der Lichtquelle 1 wird vom Photodetektor 2.2 zusammen mit Streulicht detektiert. Die zeitlich be- grenzte Öffnungszeit eines anschließenden integrierenden Ladungsverstär- kers V2 wird durch das gleiche Ausgangssignal des Impulsgenerators IG gesteuert, das bereits für den Verstärker IV1 benutzt wird. Durch die Syn- chronisation von Verstärker IV1 und Verstärker IV2 wird bewirkt, dass nur in dem Zeitintervall, in dem die Lichtquelle 1 strahlt, eine Verstärkung des Aus- gangssignals des Photodetektors 2.2 erfolgt. Das Ausgangssignal des inte- grierenden Ladungsverstärkers IV2 wird dann der anschließenden Auswer- teelektronik AWE des Winkelmesssystems zugeleitet. Dadurch ist sicherge- stellt, dass nur in den Zeitschlitzen, in denen die Lichtquelle 1 Strahlung emittiert, auch eine Auswertung der im Photodetektor 2.2 empfangenen Strahlung erfolgt. In diesem Fall sind die Verzögerungszeiten zwischen der Triggerung der Positionsmessung und der tatsächlichen Bestimmung der Position äußerst gering. Damit sind auch die dynamischen Positionsfehler stark reduziert und vernachlässigbar.

Einerseits ist für jede einzelne Winkelmessung eine möglichst lange Mess- zeit zur Mittelung über das unvermeidbaren Signairauschen wünschenswert.

Andererseits begrenzt aber bei hohen Verfahrgeschwindigkeiten der dann stark anwachsende dynamische Fehler die Messdauer. Deshalb kann vor- teilhaft bei dem beschriebenen Winkelmesssystem eine Auswertelektronik

mit umschaltbarer oder variabler elektronischer Analogbandbreite eingesetzt werden. Durch Veränderung der Analogbandbreite wird bei niedrigen Ver- fahrgeschwindigkeiten eine hohe Genauigkeit aufgrund einer langen Mitte- lungszeit erzielt, während bei hohen Verfahrgeschwindigkeiten zwar ein hö- herer Rauschfehler aufgrund kurzer Messzeiten entsteht, aber dafür der hier dominierende dynamische Fehler klein gehalten wird. Entsprechend lassen sich natürlich auch zwei oder mehrere Auswerteelektroniken unterschiedli- cher fester Analogbandbreite zum gleichen Zweck einsetzen. Bei Verwen- dung mehrerer Auswerteelektroniken können für jede einzelne eigene strukturierte Photoelemente vorgesehen werden.

In der Auswerteelektronik kann auch eine Online-Korrektur von Signalfehlern und Oberwellen im Empfangssignal erfolgen. Bei der Online-Korrektur kann beispielsweise aus dem Ausgangssignal des Photodetektors 2.2 und dem um 90° versetzen Ausgangssignal des Photodetektors 2.2 eine Lissajous- Figur gebildet wird. Dabei wird das Ausgangssignal des Photodetektors 2.2 dadurch erzeugt, dass die Ausgangssignale der Einzelphotoelemente mit 180° Phase von denen mit 0° Phase subtrahiert werden ; das um 90° ver- setzte Ausgangssignal des Photodetektors 2.2 wird dadurch erzeugt, dass die Ausgangssignal der um 270° versetzten Einzelphotoelemente von dem Ausgangssignal der Einzelphotoelemente mit 90° Phase subtrahiert werden.

Für die Erzeugung der Lissajous-Figur werden Abtastwerte des Ausgangs- signais des Photodetektors 2.2 als Koordinaten einer ersten Achse und Ab- tastwerte des um 90° versetzten Ausgangssignals als Koordinaten einer zur ersten orthogonalen zweiten Achse benutzt. Die Abweichungen der derart erzeugten Lissajous-Figur von einem Kreis um den Nullpunkt des durch die beiden Achsen gebildeten zweidimensionalen Koordinatensystems werden ermittelt und daraus zu korrigierende Offsets, Phasenabweichungen und ein fehlerhaftes Amplitudenverhältnis der beiden um 90° versetzten Signale be- stimmt. Vorteilhaft wird diese Kompensation während dem herkömmlichen Betrieb in Echtzeit durchgeführt.

Im folgenden wird eine mögliche Erweiterung des Winkelmesssystems zu einem Positionsmesssystem beschrieben.

Um letztendlich eine Positionsbestimmung durchführen zu können, müssen mehrere Winkeimesssysteme miteinander verknüpft werden. Hierbei kann eventuell eine Mehrfachnutzung von Lichtquellen 1 oder Detektoren 2 erfol- gen, d. h. dieselbe Lichtquelle 1 oder Detektoreinheit 2 ist Bestandteil von zwei oder mehr Winkelmesssystemen. Wird eine Lichtquelle 1 in mehreren Winkelmesssystemen benutzt, ist dies unproblematisch.

Im Fall einer Mehrfachnutzung von Detektoren 2, kann eine zeitliche Tren- nung der Beiträge von den verschiedenen Lichtquellen 1 sinnvoll sein. Dies kann derart realisiert werden, dass die Lichtquellen 1 unterschiedlicher Win- kelmesssysteme in unterschiedlichen Zeitschlitzen eines Zeitmultiplex betrie- ben werden und in der Auswerteelektronik des gemeinsamen Detektors 2 das Zeitmultiplex-Schema der Lichtquellen 1 bekannt ist. Bei den Lichtquel- len 1 besteht weiterhin die Möglichkeit, dass sie mit unterschiedlichen Trä- gerfrequenzen in ihrer Intensität moduliert werden, so dass durch entspre- chende Demodulatoren oder Bandpassfilter in der Auswerteeinheit des De- tektors 2 die Signalanteile einzelnen Lichtquellen zugeordnet werden kön- nen.

In manchen Fällen wird es sinnvoll sein, die Anzahl der Winkelmesssysteme größer zu wählen, als theoretisch erforderlich, da Redundanz die Störsicher- heit und Genauigkeit des Messsystems erhöht. Außerdem könnte die Situa- tion auftreten, dass an bestimmten räumlichen Positionen einzelne der Win- kelmesssysteme nur ungenügende Ergebnisse liefern, z. B. zwischen Talbotebenen oder aufgrund geometrischer Abschattung.

Weiterhin können an unterschiedlichen Stellen Einzellichtquellen positioniert werden, um die Lichtquelle 1 zu realisieren und um Messsignale verschiede- ner Phasenlage zu erzeugen. Dann ist ein einzelnes Photoelement im De- tektor 2 ausreichend, wie zu Fig. 2 im folgenden näher ausgeführt wird. Al- lerdings müssen dann die Signalbeiträge der verschiedenen Einzellicht- quellen voneinander getrennt werden, was geometrisch, zeitlich oder durch Farb-bzw. Polarisationscodierung erfolgen kann.

Fig. 2 zeigt ein zweites, alternatives Ausführungsbeispiel des erfindungsge- mäßen Winkelmesssystems. Dieses unterscheidet sich im wesentlichen von dem ersten Ausführungsbeispiel dadurch, dass im Vergleich hierzu Licht- quelle 1 und Photodetektor 2.2 gegeneinander vertauscht sind. Ein am be- weglichen Objekt befindlicher Photodetektor 2.2 detektiert jetzt das von einer Lichtquelleneinheit 1 in den Raum gestrahlte Licht. Die Lichtquelleneinheit 1 besteht hierbei analog zur Detektionseinheit 2 im ersten Ausführungsbeispiel aus mehreren, z. T. getrennt ansteuerbaren Einzellichtquellen und einem Gitter 2.1 der Gitterkonstante dG.

Das Gitter 2.1 weist dabei zu den Einzellichtquellen eine feste räumliche Zu- ordnung auf. Die Ansteuerung einer bestimmten Einzellichtquelle führt nun zur Ausbildung eines Intensitätsstreifenmusters 3 mit der (vom Abstand u abhängigen) Periode SP im Raum. Indem man die Einzellichtquellen der Lichtquelleneinheit 1 so anordnet und ansteuert, dass die von ihnen jeweils unmittelbar nacheinander in den Raum projizierten Intensitätsstreifensy- steme 3 eine bestimmte, bekannte Phasenbeziehung zueinander besitzen, kann dann aus den am Photodetektor 2.2 ermittelten Lichtintensitäten der verschiedenen Einzellichtquellen die momentane Winkelposition des De- tektors 2 relativ zur Lichtquelleneinheit 1 ermittelt werden.

Die Lichtquelleneinheit 1 kann beispielsweise vier äquidistant angeordnete Laserdioden oder Leuchtdioden beinhalten, deren Intensitätsstreifensysteme 3 im Raum gerade um eine Phase von 90° relativ zueinander verschoben sind. Werden einzelne Leuchtdioden unmittelbar nacheinander angesteuert und die am Photodetektor 2.2 auftreffenden Lichtleistungen gemessen, so kann aus den verstärkten und analog/digital gewandelten Abtastsignalen mittels eines Arcustangens-Rechners oder einer entsprechenden Tabelle zur Umrechnung wieder die Winkellage des Photoelements 2.2 relativ zur Lichtquelle1 ermittelt werden.

Zur Erhöhung der Strahlungsleistung der Lichtquelleneinheit 1 können groß- ftächige Leuchtdioden benutzt werden, auf die unmittelbar ein Gitter 2.1 auf- gebracht ist. Alternativ können auch strukturierte Leuchtdioden oder ein-

zelne längliche Leuchtdioden, die parallel zum Gitter 2.1 ausgerichtet sind, benutzt werden.

Eine günstige Konfiguration für dieses alternative Winkelmesssystem ist bei- spielsweise durch folgende Dimensionierung gegeben : Abtastabstand u von Photoelement zur Sendeeinheit 0,5-1,5 m Abstand v von Gitter zu den Einzellichtquellen 80 mm Gitterkonstante dG des Gitters 148 m/296 lim (geometrisches Bild bzw. Beugungsbild) Abstand der Einzellichtquellen 40 pm Ausdehnung des Photoelements 400 pm Signalperiode SPo im Abtastabstand us=1 m 2 mm Zahl der Einzellichtquellen 4 oder 8 Phasenwinkel zwischen den Einzellichtquellen 90° Ausdehnung der Einzellichtquellen < 100 pLm Zur Ausgestaltung dieses zweiten Ausführungsbeispiels lassen sich alle im Zusammenhang mit dem ersten Ausführungsbeispiels beschriebenen Aus- gestaltungsmöglichkeiten sinngemäß übertragen. Insbesondere gilt das für den Einsatz verschiedener Lichtquelleneinheit 1, Gitter 2.1 und Photodetek- toren 2.2.

Bei diesem zweiten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Winkel- messsystems ist es nicht zwingend erforderlich, dass die Einzellichtquellen tatsächlich zeitlich nacheinander betrieben bzw. die Signale der Einzellicht- quellen zeitlich nacheinander detektiert werden. Stattdessen können sich die von ihnen ausgestrahlten bzw. vom Photoelement 2.2 detektierten Intensi- tätsstreifenmuster 3 auch zeitlich überlappen. In diesem Fall werden die ver- schiedenen Einzellichtquellen in ihren Intensitäten zeitlich beispielsweise sinusförmig moduliert, wobei die Ansteuerung der einzelnen Lichtquellen jeweils zeitlich phasenverschoben erfolgt. Dies hat zur Folge, dass das vom Photoelement 2.2 detektierte Signal ebenfalls zeitlich moduliert ist, wobei die

Phasenverschiebung relativ zur Ansteuerung der einzelnen Lichtquellen wiederum ein Maß für den Winkel des Photoelements 2.2 relativ zur Licht- quelle 1 ist.

Können in bestimmten Anwendungsfällen keine Drehungen des Detektors 2 um die Verbindungsachse zur Lichtquelle 1 auftreten, so muss das Photo- element 2.2 nicht die andernfalls erforderliche hohe Symmetrie besitzen.

Dann kann der Photodetektor 2 sich wiederum aus Einzelelementen zu- sammensetzen, von denen jedes (z. B. durch Farbfilter etc.) dafür ausgelegt ist, das Licht einer bestimmten Einzellichtquelle zu detektieren. In diesem Fall muss dann natürlich die Messung der den Photodetektor 2 erreichenden Strahlungsintensität nicht für jede Einzellichtquelle zeitlich nacheinander er- folgen, sondern kann gleichzeitig geschehen, was den Vorteil hat, dass die Einzellichtquellen kontinuierlich betrieben werden können.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung werden Lichtquelle 1 und Detektor 2 unmittelbar benachbart an einem ersten Objekt angeordnet. An dem zweiten Objekt, zu dem die relative Winkeländerung gemessen werden soll, wird ein retroreflektierendes Element angeordnet, das die Lichtstrahlung geringfügig versetzt in Richtung der Lichtquelle reflektiert. Als retroreflektie- rendes Element kann beispielsweise ein Tripelspiegel, ein Tripelprisma, ein Retroreflektor, ein Dachkantprisma oder eine Linse kombiniert mit einem in der Brennebene angeordneten Spiegel benutzt werden. Dies weist den Vorteil auf, dass nur die an einem Objekt angeordneten Baugruppen Licht- quelle 1 und Detektor 2 elektrische Verbindungsleitungen erfordern, das re- troreflektierende Element diese aber nicht benötigt.