Geschwindigkeits-oder Beschleunigungssensoren, die auf dem Prinzip der Wirbelstrommessung beruhen, werden auch Ferraris-Sensoren genannt.

Äußere Magnetfelder erzeugen in einem bewegten, elektrisch leitenden, nicht ferromagnetischen Körper Wirbelströme, deren Stärke abhängig von der relativen Geschwindigkeit zwischen äußerem Magnetfeld und bewegtem Körper ist. Mit diesen Wirbelströmen sind innere Magnetfelder verknüpft, die den äußeren Magnetfeldern überlagert sind. Detektiert man die Größe die- ser inneren Magnetfelder, etwa mittels Hall-Sensoren, erhält man ein Signal, daß zur Geschwindigkeit des bewegten Körpers proportional ist.

Beschleunigungen, also Geschwindigkeitsänderungen des bewegten Kör- pers, verändern das mit den Wirbelströmen verknüpfte innere Magnetfeld, wodurch in Detektorspulen Spannungen induziert werden, die proportional zur Beschleunigung sind.

Nach dem Ferraris-Prinzip arbeitende Detektoren erlauben also die direkte Messung einer Geschwindigkeit oder einer Beschleunigung.

Aus der DE 37 30 841 A1 ist ein derartiger Wirbelstrom-Detektor bekannt, der als Tachometer oder Beschleunigungsmesser benutzt werden kann.

Dieser enthält einen nicht magnetischen, elektrisch leitfähigen Körper, des- sen Geschwindigkeit oder Geschwindigkeitsänderung gemessen werden soll. Ein konstantes Magnetfeld wird im wesentlichen senkrecht zur Bewe- gungsrichtung erzeugt und führt zu Wirbelströmen im bewegten Körper, die ihrerseits ein Wirbelstrom-Magnetfeld verursachen. Bei einer Realisierung als Tachometer wird die Flußdichte des Wirbelstromfeldes mit einem Hall- effekt-Sensor gemessen, dessen Ausgangssignal proportional zur Ge- schwindigkeit ist. Bei einer Realisierung als Beschleunigungsmesser wird die

zeitliche Änderung der Flußdichte des Wirbelstromfeldes mit einer Spule gemessen, deren Ausgangsspannung proportional zur Beschleunigung ist.

Nachteilig ist der große Platzbedarf, der durch die Verwendung einer um- greifenden Jochstruktur entsteht. Zusätzlich verhindert das Joch auch den Einsatz des Sensors für Messungen an einem in einer Ebene frei verschieb- baren Körper, da durch das Joch eine Richtung zumindest eingeschränkt wird.

In der JP 61223564 wird ein Wirbelstrom-Detektor vorgeschlagen, der auf ein umgreifendes Joch verzichtet. Mittels zweier Spulen, die gegensinnig von Gleichstrom durchflossen sind, werden drei Magnetpole erzeugt, von denen aus ein äußeres Magnetfeld eine Wirbelstromscheibe durchsetzt. Die Magnetpole sind dabei in Richtung der zu erfassenden Bewegung hinterein- ander angeordnet. Die Anordnung der Detektorspulen erlaubt aber keine optimale Erfassung der erzeugten Wirbelströme, somit erhält man keine gu- ten Signale.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Ferraris-Sensor anzugeben, der kom- pakt aufgebaut ist und möglichst gute Signale liefert.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 1. Vorteilhafte Ausführungsformen ergeben sich aus den Merk- malen, die in den von Anspruch 1 abhängigen Ansprüchen aufgeführt sind.

Nunmehr werden in einem Abtastkopf eines Ferraris-Sensors die Detek- torspulen zur Detektion eines mit den Wirbelströmen verknüpften inneren Magnetfeldes zwischen bzw. neben den zur Erzeugung eines äußeren Mag- netfeldes verwendeten Permanentmagneten angebracht. Magnete und De- tektorspulen werden dabei lediglich auf einer Seite eines flächigen Wirbel- stromkörpers und abwechselnd nebeneinander in Richtung der zu messen- den Beschleunigung angeordnet. Auf ein umgreifendes Joch wird verzichtet, was zu einem kompakten Aufbau des Sensors führt. Um dennoch optimale Signale zu bekommen, werden die Detektorspulen mit ihrer Spulenachse senkrecht zur Oberfläche des Wirbelstromkörpers angeordnet. Die optimale Erfassung des inneren Magnetfeldes wird so ermöglicht, da sich die Achsen

der Detektorspulen annähernd mit den Rotationsachsen der Wirbelströme decken. In einer bevorzugten Ausführungsform kommen Detektorspulen ohne Eisenkern zum Einsatz, da dies die Detektion der Beschleunigung mit hoher Zeitauflösung erlaubt. Es wird außerdem eine weitere Ausführungs- form vorgeschlagen, in der die Detektorspulen durch Leiterbahnen auf einer Platine ausgebildet sind. Dies führt zu einer weiteren Miniaturisierung des Abtastkopfes im Ferraris-Sensor.

Weitere Vorteile sowie Einzelheiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung verschiedener Ausführungsformen anhand der Figuren. Dabei zeigt Figur 1 einen Ferraris-Sensor in einer Seitenansicht Figur 2 den Ferraris-Sensor aus Fig. 1 in einer Daraufsicht Figur 3 einen Ferraris-Sensor mit Gegenstruktur Figur 4 eine Leiterplatte mit Detektorspulen Figur 5 einen Ferraris-Sensor mit Detektorspulen nach Fig. 4 Figur 1 zeigt in einer Seitenansicht einen Ferraris-Sensor zur Messung von Beschleunigungen eines bewegten Objektes. Ein flächiger Wirbelstromkör- per 1 ist dabei entweder am bewegten Objekt befestigt, oder das bewegte Objekt selbst eignet sich als Wirbelstromkörper 1. Das Material des Wirbel- stromkörpers 1 muß elektrisch leitend und sollte nicht magnetisch sein.

Kupfer und Aluminium sind Beispiele für geeignete Materialien. Ein Abtast- kopf 6 ist so aufgebaut, daß er ausschließlich auf einer Seite des Wirbel- stromkörpers 1 angeordnet ist. Natürlich kann auch der Abtastkopf 6 am be- wegten Objekt befestigt sein und einem ortsfesten Wirbelstromkörper ge- genüber liegen.

In Figur 1 erkennt man weiter drei Magnete 2, die in abwechselnder magne- tischer Ausrichtung entlang der zu erfassenden Beschleunigung in Richtung X angeordnet sind. Da der Abstand zwischen den Magneten 2 und dem Wirbelstromkörper 1 möglichst klein (ca. 0,5mm oder weniger) gehalten wird,

durchsetzt das äußere Magnetfeld 2a die Oberfläche 1a des Wirbelstrom- körpers 1 annähernd senkrecht. Neben den Magneten 2 erkennt man vier Detektorspulen 3, deren Spulenachsen 3a ebenfalls senkrecht zur Oberflä- che 1a des Wirbelstromkörpers 1 stehen. Solche Anordnungen mit drei Magneten 2 und vier Détektorspulen 3 haben sich in der Praxis als beson- ders vorteilhafter Kompromiß zwischen Baugröße und Signalstärke erwie- sen. Es sind jedoch Anordnungen mit anderen Magnet-und Detektorspulen- zahlen möglich. In jedem Fall werden aber Magnete 2 und Detektorspulen 3 abwechselnd in einer Richtung X der zu messenden Beschleunigung ange- ordnet. Der dem Wirbelstromkörper 1 zugewandte magnetische Pol wechselt dabei jeweils von einem Magnet 2 zum nächsten Magnet 2.

Figur 2 zeigt die Anordnung aus Figur 1 in Daraufsicht. Durch die Bewegung zwischen Abtastkopf 6 und Wirbelstromkörper 1 werden Wirbelströme 4 er- zeugt. Die Wirbelströme 4 sind in Figur 2 vereinfachend kreisförmig darge- stellt. In Bewegungsrichtung X hinter einem Nordpol eines Magneten 2 ent- steht also ein Wirbelstrom 4, der das äußere Magnetfeld 2a durch ein inne- res Magnetfeld 4a gleicher Richtung ersetzt. Dazu muß der Wirbelstrom 4 in der Daraufsicht gegen den Uhrzeigersinn kreisen. Entsprechendes gilt für den Bereich vor einem Nordpol, bzw. für die Bereiche vor und hinter einem Südpol eines Magneten 2. Vor dem ersten bzw. nach dem letzten Magnet 2 bildet sich ein schwächerer Wirbelstrom 4 aus als zwischen zwei Magneten 2, da die lokalen Änderungen des äußeren Magnetfeldes jeweils nur halb so groß sind. Die Richtungen aller äußeren Magnetfelder 2a, Wirbelströme 4 und inneren Magnetfelder 4a sind den Figuren 1 und 2 zu entnehmen.

Bei einer konstanten Bewegung sind nun auch die Wirbelströme 4 und damit die inneren Magnetfelder 4a konstant, in den Detektorspulen 3 wird keine Spannung induziert. Eine Beschleunigung der Bewegung in Richtung X be- wirkt aber eine Änderung der Wirbelströme 4, und damit auch der inneren Magnetfelder 4a. Da die Detektorspulen 3 vom inneren Magnetfeld 4a durchsetzt werden, werden nun der Beschleunigung proportionale Span- nungen in den Detektorspulen 3 induziert. Durch Auswertung der Spannun- gen in einer Folgeelektronik läßt sich die Beschleunigung bestimmen.

Die Detektorspulen 3 erfassen dank ihrer erfindungsgemäßen Anordnung die inneren Magnetfelder 4a besonders gut, da ihre Spulenachsen 3a an- nähernd Deckungsgleich mit den jeweiligen Rotationsachsen der Wirbel- ströme 4a liegen. Dies wird erreicht, indem die Detektorspulen 3 wie in Figur 1 gezeigt in einer Reihe mit und jeweils neben den Magneten 2 angeordnet werden. Dabei sollten zunächst die Plätze zwischen zwei Magneten 2 mit Detektorspulen 3 besetzt werden, da hier stärkere innere Magnetfelder 4a wirken und somit bessere Signale aus den einzelnen Detektorspulen 3 ge- wonnen werden können. Bei Bedarf können aber auch die beiden Positionen vor dem ersten und nach dem letzten Magnet 2 mit Detektorspulen 3 belegt werden. Allgemein liefern Ferraris-Sensoren mit N Magneten 2 maximale Signale mit N+1 Detektorspulen 3. N ist dabei eine ganze Zahl größer oder gleich 1.

Stärkere Ausgangssignale liefern die Detektorspulen 3, wenn ihr Kern mit einem ferromagnetische Material zur Bündelung der inneren magnetischen Felder 4a gefüllt wird. Bevorzugt werden aber Detektorspulen 3 ohne ferro- magnetischen Kern, da diese. eine bessere zeitliche Auflösung der Be- schleunigung erlauben. Realisiert werden können hierfür Spulen mit einem Kern aus nicht ferromagnetischem Material, oder Luftspulen ohne Kern.

Weiter ist es vorteilhaft, die Magnete 2 und Detektorspulen 3 auf einer fer- romagnetischen Trägerstruktur 5 anzuordnen. Es können dabei die Magnete 2 auf Vorsprüngen 5a dieser Trägerstruktur 5 angebracht werden. Da die Oberkanten der Detektorspulen 3 und Magnete 2 sinnvollerweise gleich hoch liegen, um einen möglichst kleinen Abstand beider Elemente vom Wir- belstromkörper 1 zu ermöglichen, erlauben die Vorsprünge 5a die Verwen- dung von flacheren und damit billigeren Magneten 2. Durch den erwähnten möglichst kleinen Abstand wird das äußere Magnetfeld 2a besonders wirk- sam in den Wirbelstromkörper 1 eingeprägt und das innere Magnetfeld 4a zum größten Teil erfaßt. Dies trägt entscheidend zur Signalqualität des Ab- tastkopfes 6 bei.

Einzelne Magnete 2 können in nicht gezeichneter Weise durch Vorsprünge 5a ersetzt werden, etwa der mittlere Magnet 2 oder alternativ auch die bei-

den äußeren Magnete 2 aus Figur 1. Der Vorsprung 5a sollte dann aus den oben erwähnten Gründen mit seiner Oberkante mit den Magneten 2 und Detektorspulen 3 abschließen. Die Einsparung eines Magneten 2 führt zu einer Schwächung des äußeren Magnetfeldes 2a und damit letztlich zu schwächeren Signalen.

In Figur 3 ist gezeigt, wie sich im Bedarfsfall die Signalqualität des Abtast- kopfes 6 weiter erhöhen läßt. Erlaubt es nämlich die jeweilige Anwendung, kann gegenüber des Abtastkopfes 6 eine Gegenstruktur 7 aus ferromagneti- schem Material etwa in Form einer Platte angebracht werden. Vorteilhaft können auch Vorsprünge 7a vorgesehen werden, die den Magneten 2 ge- genüberliegen und damit das äußere Magnetfeld 2a gezielt bündeln, oder sogar weitere Magnete 2 statt lediglich der Vorsprünge 7a zum Einsatz kommen, die das äußere Magnetfeld 2a verstärken. Im Extremfall kann als Gegenstruktur 7 ein zweiter Abtastkopf 6 eingesetzt werden, inklusive der Detektorspulen 3. Dabei ist natürlich darauf zu achten, daß sich bei gegen- überliegenden Magneten 2 jeweils unterschiedliche Pole gegenüberliegen.

Ein magnetischer Schluß zwischen Abtastkopf 6 und Gegenstruktur 7 ist aber nicht notwendig, die konstruktive Ausführung des Ferraris-Sensors kann in dieser Hinsicht völlig frei erfolgen.

Bei der Herstellung von nach dieser Erfindung arbeitenden Beschleuni- gungsmessern mit Ferraris-Sensoren ist vorteilhaft, daß die Gegenstruktur 7 je nach Anwendungsfall in einer Art Baukastensystem ausgewählt werden kann, wenn sie zwar jeweils gleiche äußere Form aufweist, aber unter- schiedliche Zusammensetzungen aufweist : eine Gegenstruktur 7 aus ferro- magnetischem Material mit Vorsprüngen 7a bringt bessere Signale als ein Beschleunigungsmesser ohne Gegenstruktur, wird aber übertroffen von ei- ner Gegenstruktur 7 mit Magneten 2.

Abtastköpfe 6 der beschriebenen Art eignen sich in der in den Figuren 1-3 gezeichneten gestreckten Version besonders als Sensoren für lineare Be- wegungen. Bei einer Anordnung der Magnete 2 und Detektorspulen 3 auf Kreissegmenten wird die Erfassung von entsprechenden rotatorischen Be- wegungen verbessert.

Die Detektorspulen 3 des erfindungsgemäßen Ferraris-Sensors können auf verschiedenste Weisen hergestellt werden. Umwickelte Spulenkörper, deren Geometrie den jeweiligen Gegebenheiten angepaßt ist können ebenso An- wendung finden wie selbsttragende Spulen, die z. B. durch einen Verguß gehalten werden.

Eine besonders vorteilhafte Ausbildung der Detektorspulen 3 soll im Folgen- den beschrieben werden. Der Zusammenbau und die Verschalung der oben erwähnten Detektorspulen 3 kann wegen der verwendeten kleinen Draht- durchmesser Probleme bereiten. Einfacher ist es, die Detektorspulen 3 wie in Figur 4 gezeigt als spiralförmige Leiterbahnen 9 auf einer Leiterplatte 8 mit einer gedruckten Schaltung zu realisieren. Um hohe Windungszahlen zu erreichen, können auch mehrlagige Leiterplatten 8 Anwendung finden, deren Windungen zwischen den Lagen verbunden werden. Die Leiterplatte 8 weist Öffnungen 8a zur Aufnahme von Magneten 2 auf. Dabei werden wie in Figur 5 gezeigt die Magnete 2 so in die Öffnungen 8a der Leiterplatte 8 geklebt, daß deren Oberfläche bündig mit der Oberfläche der Magnete 2 abschließt.

Dies erlaubt wiederum den Anbau des Abtastkopfes 6 mit minimalem Ab- stand der Detektorspuien 3 (hier der spiralförmigen Leiterbahnen 9) und Magneten 2 vom Wirbelstromkörper 1. Auf der Rückseite dieses Abtastkop- fes 6 mit Detektorspulen 3 tragender Leiterplatte 8 kann wiederum eine fer- romagnetische Trägerstruktur 5 zur Bündelung der Magnetfelder vorgese- hen werden.

In dieser Variante kann auch die Verschaltung der Detektorspulen 3 unter- einander (in allen bisher beschriebenen Varianten etwa zur Bildung eines differentiellen Signales nützlich, um von äußeren Störfeldern unabhängig zu werden) durch Leiterbahnen 11 auf der Leiterplatte 8 realisiert werden. Es ist sogar möglich, die zur Auswertung der Signale der Detektorspulen 3 nötige Folgeelektronik 10 ganz oder teilweise auf der Leiterplatte 8 unterzubringen.

Es ist für den Fachmann klar, daß die Idee, die Detektorspulen 3 als spiral- förmige Leiterbahnen 9 auszubilden, auch in anderen Anordnungen als den hier beschriebenen in einem Ferraris-Sensors Anwendung finden kann.