Halbleiterlaser werden heutzutage für unterschiedlichste Anwendungen in der Technik eingesetzt.

Eines dieser Einsatzgebiete liegt in der Kommunikationstechnologie.

Dabei werden Informationen wie Sprache, bewegte und unbewegte Bilder oder Computerdaten zunächst in elektrische Signale umgewandelt, soweit sie nicht bereits als solche vorliegen. Die elektrischen Signale werden anschließend zur Modulation der Helligkeit einer Lichtquelle verwendet.

Die so erhaltenen Lichtsignale können anschließend beispielsweise durch Glasfasern an ein Empfangsgerät übermittelt werden. Das Empfangsgerät wandelt die empfangenen Lichtsignale in elektrische Signale um. Gege- benenfalls werden die so erhaltenen elektrischen Signale weiter umge- wandelt.

Bei einer Übertragung über längere Wegstrecken sind gegebenenfalls : auch zwischengeschaltete Verstärker erforderlich. Diese wandeln nach dem heutigen Stand der Technik die Lichtsignale üblicherweise zunächst in elektrische Signale um, die verstärkt werden und anschließend von einer modulierten Lichtquelle erneut ausgesandt werden.

Die beschriebene Datenübertragung mittels Lichtsignalen wird nicht nur für die Überbrückung größerer Entfernungen eingesetzt, sondern findet mittlerweile auch für den Einsatz bei lokalen Computernetzwerken (LAN - Local Area Network) Anwendung, und zwar nicht zuletzt aufgrund der großen erreichbaren Übertragungsraten.

Um einen möglichst großen Datendurchsatz bei der Übertragungsstrecke erzielen zu können, ist es naturgemäß von Vorteil, wenn die verwendeten modulierbaren Lichtquellen eine möglichst große Modulationsbandbreite aufweisen. Im Übrigen ist unter dem Begriff Licht nicht nur das sichtba- re Spektrum zu verstehen, sondern insbesondere auch der Infrarotbe- reich.

Aufgrund ihrer Eigenschaften eignen sich Halbleiterlaser hervorragend für den Einsatz als modulierbare Lichtquelle bei Kommunikationsanwen- dungen. So weisen Halbleiterlaser eine kleine Baugröße auf, sind relativ kostengünstig in der Herstellung und weitgehend unempfindlich gegen- über Umwelteinflüssen (insbesondere gegenüber Stößen).

Die Modulationsbandbreite von Halbleiterlasern ist jedoch nach wie vor ein Problem. So weisen übliche Halbleiterlaser eine maximale Modulati- onsbandbreite im Bereich von lediglich 10 GHz, und damit eine maxima- le Übertragungsrate im Bereich von 10 GBit/s auf.

Die genannten Übertragungsraten resultieren aus den intrinsischen Hochfrequenzeigenschaften von Halbleiterlasern, die im Wesentlichen

von dem Material-und Schichtstruktureigenschaften bzw. durch Be- triebsparameter, wie z. B. dem Injektionsstrom bestimmt werden.

Eine wesentliche Begrenzung der Modulationsbandbreite eines Halblei- terlasers beruht auf der Rekombinationszeit der Ladungsträger in der aktiven Schicht. Diese Rekombinationszeit hängt ab von den Materialei- genschaften und der Wechselwirkungsstärke des Elektronen-Loch- Übergangs mit dem elektromagnetischen Strahlungsfeld in der Laserkavi- tät. Die entsprechende Zeitkonstante gibt an, wie schnell die ausgekop- pelte Lichtleistung auf Änderungen der induzierten Ladungsträgerdichte, also dem Modulationsstrom, reagiert. Da die Rekombinationszeit der Ladungsträger vor allem von den Materialien in der aktiven Schicht abhängt, ist eine Erhöhung der maximalen Modulationsbandbreite nur bedingt möglich.

So, konnten teilweise Verbesserungen bei der Modulationsbandbreite dadurch erzielt werden, dass die Laserfacetten der Halbleiterlaser antire- flex vergütet, bzw. hochreflex vergütet wurden, oder dass sehr kurze Bauelementlängen, durch die man die Photonenlebensdauer in der Kavi- tät reduziert, vorgesehen wurden. Diese Maßnahmen haben jedoch ihrerseits zum Nachteil, dass die Schwellenstromdichte erheblich zu- nimmt, und die Ausgangsleistung stark begrenzt ist. Um die Ausgangs- leistung nicht zu stark abfallen zu lassen, wurde wiederum versucht, die differenzielle Verstärkung (dg/dN mit g als Materialverstärkung und N als Ladungsträgerdichte) zu erhöhen, indem man beispielsweise das aktive Volumen durch einen Stapel von Quantenfilmschichten erheblich erhöht. Weiterhin kann die Rekombinationszeit der Ladungsträger z. B. durch eine p-Dotierung der aktiven Zone reduziert werden.

In jedem Fall wird bei den beschriebenen Maßnahmen die Schwellen- stromdichte erheblich erhöht und die Lasereigenschaften verschlechtern sich deutlich. Die mit den beschriebenen Maßn'ahmen bislang erzielten

Rekordwerte liegen bei ca. 33 GHz für Laser mit einer Emissionswellen- länge im Bereich von 1,5 u. m.

Aufgrund der ungünstigen Randbedingungen werden daher direkt modu- lierte Halbleiterlaser momentan nur für Übertragungsraten von bis zu ca.

10 GBit/s eingesetzt.

Um höhere Bitraten zu ermöglichen, wurde bereits versucht, das Problem der begrenzten intrinsischen Bandbreite von Halbleiterlasern dadurch zu umgehen, dass externe Modulatoren verwendet werden. Damit wurden bereits Bandbreiten von bis zu 40 GHz erzielt. Diese Technologie ist jedoch sehr aufwändig (es werden mehrere hybrid aufgebaute opto- elektronische Komponenten benötigt) und dementsprechend kosteninten- siv.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Halbleiterlaser vorzuschlagen, der eine hohe Modulationsbandbreite aufweist, ohne dass sich die Betriebsparameter wesentlich verschlechtern, und der dennoch relativ einfach und kostengünstig in der Herstellung ist.

Der vorgeschlagene Halbleiterlaser sowie das vorgeschlagene Verfahren zum Betrieb von Halbleiterlasern gemäß der unabhängigen Ansprüche lösen die Aufgabe.

Vorteilhafte Weiterbildungen des Halbleiterlasers bzw. des Verfahrens sind in den abhängigen Ansprüchen beschrieben.

Um einen Halbleiterlaser mit hoher Modulationsbandbreite zu erhalten, wird vorgeschlagen, dass ein Halbleiterlaser mit einem Substrat und beim Substrat drei voneinander unabhängige Funktionssektionen in Richtung der Lichtwellenausbreitungsrichtung vorgesehen sind. Als Funktionssektionen kommen dabei insbesondere eine Verstärkungszone

(Besetzungszahlinversion durch pumpen), eine Gitterzone und eine Phasenanpassungszone in Betracht. Es wird darauf hingewiesen, dass unter Lichtwellen nicht nur Licht mit Wellenlängen im sichtbaren Teil des Spektrums zu verstehen ist. Insbesondere kommen auch Infrarotwel- len in Betracht.

Durch die voneinander unabhängigen Sektionen, die jeweils einer unter- schiedlichen Funktion dienen, ist es möglich, die einzelnen Aufgaben jeweils optimal einzustellen, ohne dass die optimale Einstellung der einen Aufgabe einen negativen Einfluss auf die Anpassung einer anderen Aufgabe mit sich zöge. Somit sind nicht nur die einzelnen Anpassungs- aufgaben jeweils für sich optimal lösbar, sondern es ist insbesondere auch möglich, dass die einzelnen Aufgaben derart angepasst werden, dass sich ein weitgehend optimaler synergetischer Effekt ergibt. Insbe- sondere kann durch eine entsprechende Einstellung einer Gitterzone, bzw. einer Kopplungszone eine hinsichtlich der Bandbreite des Halblei- terlasers optimale Kopplung der verbliebenen Sektionen miteinander erreicht werden, sodass eine weitgehend optimale Kopplung zwischen Elektron-Photon-Resonanz (Wechselwirkung des Elektron-Loch- Übergangs mit dem elektromagnetischen Strahlungsfeld in der Laserkavi- tät) und der Photon-Photon-Resonanz (konstruktive Überlagerung von hin-und rücklaufender Welle im Resonator) erzielbar ist. Durch dieses neue Designkonzept kann die Dämpfung der Elektron-Photon-Resonanz erheblich reduziert werden, und die Bandbreite des Halbleiterlasers (-3 dB-Bandbreite) zu wesentlich höheren Werten verschoben werden.

Trotz der erzielbaren, besonders hohen Modulationsbandbreite weist der vorgeschlagene Halbleiterlaser nicht notwendigerweise die bislang mit einer Modulationsbandbreitenerhöhung einhergehenden negativen Effek- te wie Erhöhung der Schwellenstromdichte und Verringerung der Aus- gangsleistung aus.

Das genannte Designkonzept schließt im Übrigen nicht aus, dass eine Funktionssektion zwei Funktionen übernehmen kann. So kann insbeson- dere die Gitterzone, die der Wellenlängenselektion dient, gleichzeitig als Kopplungselement zwischen Verstärkungszone und Phasenanpassungszo- ne dienen.

Wenn das Substrat des Halbleiterlasers als Monolith ausgebildet ist, kann ein besonders einfacher Herstellungsprozess ermöglicht werden.

Darüber hinaus kommt es in der Regel zu keinen unerwünschten Reflek- tionen oder Phasensprüngen beim Übergang zwischen unterschiedlichen Substratbereichen. Gegebenenfalls sind entsprechende Impedanzanpas- sungsübergänge vorzusehen.

Von Vorteil ist es, wenn bei dem Halbleiterlaser wenigstens ein Wellen- leiterbereich vorgesehen ist. Dadurch kann eine definierte Ausbreitung der Lichtwelle im Halbleitersubstrat ermöglicht werden. Gegebenenfalls können unterschiedliche Bereiche des Wellenleiters mit einer unter- schiedlichen Wellenlängendispersion (auch bezüglich des Vorzeichens) versehen werden, sodass Wellenpakete über die Gesamtlänge des Halb- leiterlasers hin eine möglichst geringe Dispersion zeigen.

Wenn die einzelnen Funktionssektionen im Wesentlichen jeweils nur eine Funktion ausüben, kann die Anpassung der einzelnen Funktionen nochmals verbessert werden.

Wenn bei dem Halbleiterlaser eine Gitterzone, eine Kopplungszone, oder beides (wobei es sich auch um eine kombinierte Gitter-und Kopplungs- zone handeln kann) zwischen einer Verstärkungszone und einer Phasen- anpassungszone liegend angeordnet sind, kann eine vorteilhafte Kopp- lung zwischen Verstärkungszone und Phasenanpassungszone gefördert werden. Dies resultiert üblicherweise in einer besonders großen Modula- tionsbandbreite.

Als besonders vorteilhaft erweist es sich, wenn die Gitterzone eine nur schwache Kopplung zwischen Lichtwelle A und Gitterstruktur aufweist.

Dabei wird insbesondere ein Kopplungskoeffizient K von x < 60 cm- vorzugsweise zwischen x = 10 cm-1 und K = 50 cm 1, besonders vorzugs- weise zwischen K = 20 cm~ und K-40 cm~l vorgeschlagen. Durch die nur schwache Kopplung bleibt die Durchlässigkeit der Lichtwelle durch die Gitterzone gewahrt, was insbesondere dann von Bedeutung ist, wenn die Gitterzone wie oben beschrieben der Verstärku. ngszone und der Phasenanpassungszone zwischenliegend angeordnet ist. Weiterhin ist es durch die nur schwache Kopplung möglich, dass durch das Vorsehen einer entsprechenden Anzahl von Gitterstrukturelementen auf einfache Weise die Filterkurve der Gitterzone ausreichend selektiv, jedoch auch nicht zu selektiv gewählt werden kann.

Wenn eine aktive Gitterzone, eine aktive Kopplungszone oder beides vorgesehen sind, also die Kopplung zwischen Lichtwelle und Gitterstruk- tur, die Dämpfungs-bzw. die Kopplungseigenschaften (Kopplung durch die betreffende Sektion hindurch) der betreffenden Zone veränderlich sind, kann eine optimale Anpassung der einzelnen Funktionssektionen aufeinander nochmals gefördert werden. Dabei kann es vorkommen, dass bei Anpassung einer aktiven Zone die Veränderung der einen Eigenschaft (z. B. der Kopplung zwischen Lichtwelle und Gitterstruktur) eine Verän- derung einer anderen Eigenschaft (z. B. der Dämpfung der Lichtwelle beim Durchlaufen des Gitters) mitbedingt.

Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn das Gitter so ausgebildet wird, dass die Gitterstrukturen lateral zum Wellenleiterbereich ausgebildet sind. Damit lässt sich insbesondere eine nur schwache Kopplung zwi- schen Lichtwelle und Gitterstruktur besonders leicht erzielen.

Vorteilhaft ist es auch, wenn der Halbleiterlaser eine bei konventionellen

Halbleiterlasern übliche Bauteillänge aufweist, insbesondere eine Baü- teillänge von mehr als 0,5 mm, vorzugsweise von mehr als 0,8 mm, besonders vorzugsweise von mehr als 1,0 mm. Dadurch kann es vermie- den werden, eine übermäßig hohe differentielle Stromverstärkung dg/dN vorsehen zu müssen, was zu entsprechend nachteiligen Betriebsparame- tern führen könnte. Insbesondere können übermäßige Injektionsstrom- stärken sowie eine nur begrenzte Laserausgangsleistung vermieden werden.

Dem Erfindungsgedanken folgend wird weiterhin ein Verfahren zum Betrieb eines Halbleiterlasers vorgeschlagen, mit dem eine besonders hohe Modulationsbandbreite erzielt werden kann. Dazu wird vorgeschla- gen, dass unterschiedliche Aufgaben, wie insbesondere Verstärkung (Besetzungszahlinversion durch Pumpen), Phasenanpassung, Wellenlän- genselektion und/oder Dämpfung, in wenigstens drei voneinander unab- hängigen Sektionen längs des Substratmaterials des Halbleiterlasers durchgeführt werden. Das Verfahren weist die im Zusammenhang mit dem vorgeschlagenen Halbleiterlaser genannten Vorteile in analoger Weise auf.

Das vorgeschlagene Verfahren lässt sich besonders vorteilhaft weiterbil- den, wenn eine Anpassung der einzelnen Sektionen dahingehend durch- geführt wird, dass eine weitgehend optimale Kopplung zwischen Elekt- ron-Photon-Resonanz und Photon-Photon-Resonanz des Halbleiterlasers erfolgt. Eine besonders große Modulationsbandbreite des Halbleiterlasers kann somit nochmals gefördert werden.

Von Vorteil ist es auch, wenn der Halbleiterlaser auf der langwelligen Seite des Reflexionspeaks betrieben wird. Dadurch lässt sich insbesonde- re auch ein Chirp (also eine Frequenzmodulation des Halbleiterlasers infolge einer veränderten Amplitude) auf einfache Weise vermindern, da in diesem Fall die Modulation des optischen Brechungsindexes norma-

lerweise am geringsten ist. Da ein Frequenz-Chirp aufgrund der Disper- sion einer anschließenden Glasfaser zu einer zeitlichen Überlagerung der Pulse nach einer bestimmten Übertragungsstrecke führt, kann durch die vorgeschlagene Weiterbildung eine nochmals erhöhte Übertragungsrate realisiert werden.

Ein zu bevorzugendes Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im Fol- genden unter Bezugnahme auf die Figur näher beschrieben.

Es zeigen : Fig. 1 einen Designvorschlag für einen Halbleiterlaser mit 3 Sektionen von der Seite aus gesehen ; Fig. 2 einen Querschnitt durch den in Fig. 1 gezeigten Halbleiterla- ser längs der Achse II-II ; Fig. 3 die Gitterstruktur des in Fig. 1 gezeigten Halbleiterlasers in schematischer Darstellung in Draufsicht von oben ; Fig. 4 ein typisches Leistungsverhalten für einen Halbleiterlaser in Abhängigkeit von der Modulationsfrequenz ; Fig. 5 typische Messergebnisse für einen Prototyp eines vorge- schlagenen Halbleiterlasers mit 3 Sektionen.

In Fig. 1 ist ein möglicher Designvorschlag einer Halbleiterlaserdiode 10 dargestellt, bei der die Halbleiterlaserdiode 10 eine hohe Modulations- bandbreite 28 aufweist. Das vorgeschlagene Strukturprinzip stellt einen sogenannten CCIG-Laser (für coupled cavity injection grating") dar.

Die Grundstruktur der vorliegend dargestellten'Halbleiterlaserdiode 10

besteht in üblicher Weise aus einem dotierten Mehrschichtsystem auf Substratmaterial 11 und einem entgegengesetzt dotierten Mehrschicht- system als Deckschicht 31. Im Übergangsbereich des Dotierwechsels ist eine Ladungsträger-Rekombinationszone aus einer oder mehreren Schich- ten 30 eingebettet, die für die optische Verstärkung der Halbleiterlaser- diode 10 sorgt. Diese Schichten können aus Volumenhalbleitermaterial, Quantenfilmstrukturen, Quantendrahtstrukturen oder Quantenpunktstruk- turen bestehen. Als Halbleitermaterialien kommen üblicherweise III/V- bzw. II/VI-Halbleitermaterialien zum Einsatz, wie bspw. Galliumarsenid (GaAs), Indiumphosphid (InP) oder komplexere Verbindungshalbleiter wie z. B. GalnAsP, GaInAs oder AlGaAs. Als Dotierstoffe werden häufig Dotiermaterialien wie Beryllium (Be), Kohlenstoff (C) oder Silizium (Si) verwendet.

Beim vorliegend beschriebenen Bauteil ist ein Streifenwellenleiter 13 vorgesehen, der seitlich durch ein anorganisches oder organisches Isolationsmaterial 12 umgeben ist. In der Regel werden ein Polymer oder dielektrische Materialien mit geringer Dielektrizitätskonstante einge- setzt, um die Kontaktkapazitäten gering zu halten. Die in Fig. 1 einge- zeichnete gestrichelte Linie soll die Längserstreckung des Wellenleiter- bereichs 13 verdeutlichen.

An den beiden Stirnflächen der Halbleiterlaserdiode 10 sind Laserfacet- ten 26 und 27 angeordnet, die in üblicher Weise verspiegelt bzw. teilver- spiegelt sind. Zwischen den beiden Laserfacetten 26 und 27 wird somit eine Laserkavität gebildet. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist die erste Laserfacette 26 vollverspiegelt, während die zweite Laserfacette 27 teilverspiegelt ist, sodass an der zweiten Laserfacette 27 optische Ener- gie, wie insbesondere Licht, in Richtung des Pfeils B ausgekoppelt wird.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel der Halbleiterlaserdiode 10 ist weiterhin ein Wellenleiterbereich 13 vorgesehen, längs dem die elektro-

magnetische Welle in der Laserkavität verläuft. Dies ist durch den Doppelpfeil A angedeutet.

Dem Erfindungsgedanken folgend ist die in den Figuren exemplarisch dargestellte Halbleiterlaserdiode 10 in drei Sektionen 17, 20,23 aufge- teilt. In jeder Sektion ist eine eigene, von den anderen Elektroden elekt- risch isolierte Elektrode 15, 18, 21 mit jeweils einer eigenen Zuleitung 16, 19, 22 vorgesehen. Auf der den Elektroden I5, 18, 21 gegenüberlie- genden Seite befindet sich eine einzelne, flächig aufgebrachte Masse- elektrode 24 mit einer dieser zugeordneten Masseleitung 25. Selbstver- ständlich ist es ebenso möglich, dass auch die Masseelektrode 24 in zwei oder mehrere Teilbereiche unterteilt wird. Weiterhin kann die Masse- elektrode 24 auch auf ein anderes, geeignetes Potential gesetzt werden.

Bei der dargestellten Halbleiterlaserdiode 10 dienen die unterschiedli- chen Sektionen 17,20, 23 jeweils unterschiedlichen Aufgaben.

So dient die erste Sektion 17 als Verstärkungs-und Modulationszone 17.

Über die erste Zuleitung 16 wird der ersten Elektrode 15 der Injektions- strom It sowie der Modulationsstrom Imod zugeführt. Der Injektionsstrom I1 bewirkt die Besetzungszahlinversion (Pumpen der Besetzungszustän- de). It ist dabei ein Gleichstrom, der derart gewählt wird, dass er in beiden Richtungen variiert werden kann, ohne dass die Laserstrahlung abbricht. Der Laser kann also stärker und schwächer strahlen. Zur Variation der Laserausgangsleistung P dient der Modulationsstrom Imod.

Imod wird entsprechend dem zu übertragenden Kommunikationssignal gewählt und kann beispielsweise digital in Form von unterschiedlich langen Impulsen oder aber auch als Analogsignal mit unterschiedlich hoher Amplitude vorliegen. Der der ersten Elektrode 15 zugeführte Gesamtstrom I1 + Imod ist somit in der Regel ein Gleichstrom mit einem aufgelagerten Wechselstromanteil.

Insbesondere beim Vorliegen digitaler Signale ist es selbstverständlich auch möglich, dass I knapp unterhalb der Laserschwelle gewählt wird, sodass Imod die Halbleiterlaserdiode 10 entsprechend seiner Taktung über die Laserschwelle bringt.

Die zweite Sektion 20 dient als Gitterzone 20, wobei in vorliegendem Ausführungsbeispiel das Gitter 29 als aktives Gitter 29 ausgeführt ist.

Zur Steuerung des Gitters 29 ist im Bereich der Gitterzone 20 eine zweite Elektrode 18 mit einer entsprechenden Zuleitung 19 vorgesehen.

Das Gitter 29, das der Wellenlängenselektion der Halbleiterlaserdiode 10 dient, ist im vorliegenden Ausführungsbeispiel als sogenanntes DBR- Gitter (für"distributed bragg reflector") ausgebildet, wobei die einzel- nen Gitterstrukturelemente 14 als lateral zum Wellenleiterbereich 13 ausgebildete Gitterstrukturelemente 14 ausgebildet sind (siehe auch Fig.

2 und Fig. 3). Der Aufbau hat den Vorteil, dass die Kopplung zwischen Lichtwelle und Gitter 29 schwach ist, sodass eine Vielzahl von Gitter- strukturelementen 14 zur Interferenz beiträgt, und das Gitter nach wie vor für die optische Strahlung durchlässig ist. Das Gitter 29 kann somit, wie im vorliegenden Ausführungsbeispiel, in der Mitte zwischen Ver- stärkungszone 17 und Phasenanpassungszone 23 (dritte Sektion) ausge- bildet werden. Die Gitterstrukturelemente 14 können in beliebiger Weise, wie durch Materialauftrag, Materialabtrag oder Dotierung, ausge- bildet werden. Im vorliegend beschriebenen Ausführungsbeispiel wurde die Gitterstruktur durch einen fokussierten Ionenstrahl eingeprägt. Die Kopplungsstärke K sollte im Bereich von K : 60 cm'', vorzugsweise zwischen K = 10 cm~l und K = 50 cm-', besonders vorzugsweise zwischen K = 20 cm~l und K-40 cm~l gewählt werden. Als Mindestwert sollten in jedem Fall einige cm''als Mindestkopplungsstärke K vorgesehen werden.

Durch den der Gitterzone 20 über die zweite Elektrode 18 zugeführten Gitterstrom Gitter können die Dämpfungseigenschaften der Gitterzone 20

verändert werden, und damit die Gitterzone 20 als anpassbares Koppel- element zwischen Verstärkungszone 17 und P. hasenanpassungszone 23 dienen. Dadurch ist es möglich, die Kopplung zwischen diesen beiden Sektionen, und damit die Kopplungsstärke zwischen Elektron-Photon- Resonanz und Photon-Photon-Resonanz optimal anzupassen.

Die dritte Sektion 23 dient als Phasenanpassungszone 23. Dazu kann über die dritte Zuleitung 22 und die dritte Elektrode 21 der Phasenanpas- sungszone 23 der Halbleiterlaserdiode 10 ein Phasenanpassungsstrom I2 zugeführt werden. Durch den Strom Iz kann durch eine Erhöhung bzw.

Absenkung der freien Ladungsträger die optische Dichte in der dritten Sektion 23 erhöht bzw. abgesenkt werden und so die geometrische Länge der Kavität für die Lichtwelle verlängert bzw. verkürzt werden. Dadurch kann die Phasenlage für die Photon-Photon-Resonanz optimal angepasst werden.

Bei optimaler Einstellung der Phase liegt die Emissionswellenlänge auf der langwelligen Seite des Reflexionspeaks. Dieses Verfahren der Ver- stellung der Emissionswellenlänge auf die langwellige Seite des Reflexi- onspeaks des Gitters wird auch als"detuned loading"bezeichnet. Die Elektron-Photon-Resonanz ist dann mit der schnelleren Photon-Photon- Resonanz gekoppelt.

Durch das Vorsehen von vorliegend drei Sektionen 17,20, 23, die jeweils unterschiedlichen Anpassungsaufgaben dienen, können die einzelnen Anpassungen (hier Pumpen/Verstärkung, Dämpfung/Wellen- längenselektion und Phasenanpassung) unabhängig von den anderen Anpassungsaufgaben gewählt werden und damit optimal aufeinander angepasst werden. Dies wäre bei einem Zweisektions-Design-oder gar bei einem Einsektions-Design-nur eingeschränkt möglich, da die Phasenlage nicht getrennt von Kopplungs-, Dämpfungs-und Pumpeigen- schaften eingestellt werden könnte. Die optimale Anpassung der einzel-

neu Größen ermöglicht es jedoch, die Photon-Photon-Resonanz optimal auszunutzen und ebenfalls die Kopplungsstärke zwischen Elektron- Photon-Resonanz und Photon-Photon-Resonanz optimal einzustellen.

Die dargestellte Halbleiterlaserdiode 10 kann selbstverständlich auch mit diversen Variationen aufgebaut werden. So können beispielsweise größere passive Bereiche (ohne Elektroden) zwischen den Sektionen 17, 20,23 vorgesehen werden. Auch kann ein zusätzlicher Dämpfungs-bzw.

Kopplungsbereich vorgesehen werden.

Die Fig. 2 und 3 zeigen unterschiedliche Ansichten der in Fig. 1 darge- stellten Halbleiterlaserdiode 10. Diese sollen insbesondere die laterale Ausbildung der Gitterstrukturelemente 14 verdeutlichen.

In Fig. 4 ist ein typischer Verlauf der Ausgangsleistung P eines Halblei- terlasers bei Kleinsignalmodulation in Abhängigkeit von der Frequenz f des Modulationssignals schematisch dargestellt. Die maximale Modulai- onsfrequenz wird im Wesentlichen von der Rekombinationszeit der Ladungsträger in der aktiven Schicht bestimmt. Diese Rekombinations- zeit hängt von den Materialeigenschaften und der Wechselwirkungsstärke des Elektron-Lochübergangs mit dem elektromagnetischen Strahlungs- feld in der Laserkavität ab. Die entsprechende Resonanzfrequenz wird als Elektron-Photon-Resonanz bezeichnet und gibt an, mit welcher Zeitkonstante die ausgekoppelte Lichtleistung auf Änderungen der induzierten Ladungsträgerdichte, also dem Modulationsstrom Imod, reagiert. Aufgrund von elektrischen und optischen Verlusten ist die Amplitude der Eigenfrequenz gedämpft. Oberhalb der Resonanzfrequenz fres fällt die Ausgangsleistung P stark ab.

Die Modulationsbandbreite wird definiert über die maximale Frequenz, bei der die Amplitude der modulierten Lichtausgangsleistung P auf die Hälfte des Wertes im Dauerstrichbetrieb (continuous wave") abgefallen

ist (-3 dB Grenzfrequenz).

Neben der Elektron-Photon-Resonanz tritt aber in optischen Kavitäten auch eine sogenannte Photon-Photon-Resonanz auf, die durch die Kon- struktivüberlagerung von hin-und rücklaufender Welle im Resonanzkör- per entsteht. Diese Photon-Photon-Resonanz hängt im Wesentlichen nur von der Umlaufzeit eines Photons in der Laserkavität ab und ist im Wesentlichen unabhängig von den Betriebsparametern. Sie kann über die Bauelementlänge eingestellt werden. Die typische Umlauffrequenz bei einem I mm langen Laser liegt bei ca. 44 GHz. Eine Restabhängigkeit verbleibt jedoch, da z. B. die Resonanzfrequenz geringfügig vom Injek- tionsstrom abhängt, was jedoch an der Größenordnung der Resonanzfre- quenz nichts ändert. Durch diesen üblicherweise im Promillebereich liegenden Effekt kann z. B. die Phasenlage eingestellt werden.

In Fig. 5 sind Messungen für einen Prototyp der beschriebenen Halblei- terlaserdiode 10 dargestellt. Die Halbleiterlaserdiode 10 wurde basierend auf Indiumphosphid (InP) mit einer Länge von 1,1 mm gefertigt. Die Halbleiterlaserdiode 10 wurde mit einem Injektionsstrom It = 150 mA und einer Modulationsstromamplitude Imod = 12,5 mA bei Raumtempera- tur betrieben. Die Emissionswellenlänge betrug 1,5 um.

In Fig. 5 sind jeweils die-3 dB-Grenzfrequenz, die Resonanzfrequenz fres und die Dämpfung in Abhängigkeit vom Gitterstrom IGitter darge- stellt. Dabei wurden jeweils drei unterschiedliche Phasenanpassungs- ströme 12 mit Is = 14 mA, I2= 16 mA und 12 = 18 mA verwendet.

Generell nimmt mit zunehmendem Gitterstrom IG ; tter für alle dargestell- ten Phasenanpassungsströme 12 die Resonanzfrequenz und die Bandbreite (-3 dB-Grenzfrequenz) der Halbleiterlaserdiode 10 kontinuierlich zu.

Durch Reduktion des Anpassungsstroms I2 wurde vorliegend eine verbes- serte Phasenanpassung erreicht, die bereits eine ca. 10% ige Erhöhung der

Resonanzfrequenz bewirkte. Gleichzeitig wurde durch Erhöhung der beiden Ströme 12 und Litter die Dämpfung reduziert. Bei dem gemessenen Prototyp kann man die-3 dB-Bandbreite auf 34 GHz abschätzen, was um ca. einen Faktor 4 größer ist als bei einem vergleichbar langen konventi- onellen Laser mit den gleichen Schichteigenschaften.

Es ist zu erwähnen, dass der verwendete Messaufbau nur eine begrenzte Bandbreite auflösen konnte und daher die Werte der-3 dB-Grenz- frequenz oberhalb von 20 GHz nur über Anpassungskurven ermittelt werden konnten. Die scheinbare Sättigung der Bandbreite für einen Phasenanpassungsstrom von I2 = 18 mA ist ein Artefakt, der auf Proble- me mit der Anpassung zurückzuführen ist.

Neueste Messungen an vergleichbaren Mehrsektionslasern mit einem Versuchsaufbau größerer Bandbreite (Bandbreite von 40 GHz) ergaben für einen 1,5 mm langen InP-basierten Halbleiterlaser eine tatsächliche Modulationsbandbreite von 37 GHz. Dieser Wert übertrifft den Wert für einen vergleichbaren herkömmlichen Streifenwellenleiterlaser um ca. das 4,5-fache und stellt einen Rekordwert für InP-basierte Laser dar.