La présente invention concerne un procédé • d'allégement de cellules solaires (appelées aussi photo- piles ou cellules photovoltaïques) par amincissement sélectif du substrat, ainsi que les cellules solaires allégées ainsi produites.

La fabrication des cellules solaires actuelles, telles que les cellules au silicium ou à l'arséniure de gallium, est basée sur la création d ¹ une homo jonction ou d'une hétéro jonction par des techniques de diffusion ou ° d ¹ épitaxie sur un substrat de base. Ces substrats ont une épaisseur d'environ 150 à Zj.0O_/um qui est très supérieure pour certains matériaux à l'épaisseur correspondant à l'absorption du spectre solaire, qui est typiquement d'une à quelques dizaineCs) de micromètres. Par conséquent une grande partie de l'épaisseur du substrat de base est inutil dans le processus de création de courant électrique ^' par effet photovoltaïque dans ce type de matériaux. Comme un des domaines d'application des cellules solaires se trouve dans les satellites et autres véhicules spatiaux, on a cherché depuis longtemps à réduire la masse des cellules solaires en amincissant les substrats des cellules. II existe actuellement deux principaux types de procédés d'amincissement des substrats, à savoir un procédé par polissage mécanique, mécano- chimique ou chimique, et un procédé dénommé CLEFT développé par le M.I.T. aux Etats-Unis, pour la fabrication de cellules solaires à l'arséniure de gallium.

Ces deux procédés permettent effectivement de réduire l'épaisseur du substrat après fabrication de la cellule solaire, mais présentent le défaut de réaliser un amincissement uniforme du substrat, ce qui rend critique le procédé de fabrication.

La présente invention vise à remédier à ce défaut en fournissant un procédé d'allégement d'une cellule solaire par amincissement sélectif du substrat , qui permet de conserver une bonne tenue mécanique à la cellule , de réduire le nombre d'opérations de fabrication et leur difficulté d'exécution.

Plus précisément, l'invention concerne un procédé d'allégement d'une ce'llule solaire pouvant être mis en oeuvre au cours du processus de fabrication de cette cellule, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes :

(a) application sur la face arrière nue du substrat de base de la cellule d'une couche d'une composition de réserve photosensible, le substrat ayant une épaisseur d'au moins 150jum,

(b) exposition sélective de la face arrière revêtue du substrat obtenue dans l'étape (a) de façon à former un motif de composition de réserve de configuration appropriée adhérant à cette face arrière, ledit mςtif comprenant une pluralité de zones ^" discrètes non durcies séparées les unes des autres par des zones durcies, le rapport de la surface des zones non durcies à la surface des zones durcies étant d'au moins 1:1,

(c) éliminer les zones non durcies de la composition de réserve de façon à mettre à nu le substrat dans ces zones,

(d) attaquer chimiquement et isotropique ent les zones dénudées du substrat jusqu'à ce que l'épaisseur du substrat dans ces zones soit réduite sensiblement uniformément à une valeur comprise entre 10 et 100 um, les zones ainsi amincies étant séparées les unes des autres par des nervures ayant l'épaisseur initiale du substrat, et

(e) élimination des zones durcies de la composition de réserve.

Le motif de composition de réserve photosensible durcie que l'on forme sur le substrat dans l'étape (b) peut avoir diverses configurations. La configuration dudit motif devra être choisie pour atteindre un compromis optimum entre le gain en masse et la conservation d'une bonne tenue

mécanique. A titre indicatif on peut utiliser des motifs géométriques à mailles répétées, par exemple à mailles carrées ou rectangulaires (configuration en forme de grilles), pentagonales, hexagonales (configuration en nid d'abeilles, circulaires, etc..., mais d'autres types de motifs pourraient être conçus, ainsi que cela sera évident pour l'homme de l'art.

Le gain en masse, pour être significatif, doit être d'au moins 30 %, de préférence d'au moins 50 # et peut même dépasser 60 %. Le gain en masse est le rapport masse initiale du substrat - masse finale du substrat masse initiale du substrat Pour conserver au substrat allégé une bonne tenue mécanique, il faut que les nervures séparant les zones amincies forment un réseau suffisamment dense et soient suffisamment épaisses pour présenter une résistance mécanique correcte. Il faut veiller en particulier à ce que les zones durcies du motif de réserve qui définissent les nervures, soient suffisamment larges pour que le phénomène de * sous-gravure ^* qui tend normalement à se produire lorsqu'on procède à l'attaque chimique (d) ne "mine" pas complètement les nervures par en-dessous. L'ampleur de ce phénomène de sous-gravure dépend de la profondeur d'attaque. Elle devient sensible pour une profondeur d'attaque supé- rieure à 100 Jim et est plus importante pour une profondeur d'attaque de 300 jam, par exemple, que de 100 um. Elle varie aussi beaucoup en fonction des conditions d'agitation du bain d'attaque chimique. Il est donc assez difficile de définir une largeur minimale pour les zones durcies du motif de réserve. A titre indicatif, il est recommandé de prévoir des zones durcies d'une largeur minimale au moins égale à la profondeur d'attaque à réaliser, voire de 1 ,5 ou même 2 fois cette profondeur.

Il faut aussi que le réseau de nervures soit assez dense, c'est-à-dire que les zones amincies n'aient pas une surface unitaire trop importante. Bien qu'il n'y ait pas de valeur critique pour cette surface unitaire, il n'est pas souhaitable qu'elle excède 2 cm , de préférence

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1 cm . Elle sera habituellement comprise entre 0,25 et

2 1 cm environ.

Comme composition de réserve photosensible, on peut utiliser toutes compositions de réserve de type positif ou négatif, sensible à un rayonnement électromagné¬ tique, par exemple la lumière visible ou ultra-violette. L'exposition sélective peut se faire à travers un élément transparent portant un motif semblable ou complémentaire (selon le type de composition de réserve utilisé) de celui que l'on veut former dans l'étape (b), ou encore en apposant un masque de configuration approprié sur le substrat. De nombreuses compositions de réserve photo¬ sensibles sont décrites dans la littérature des brevets et sont disponibles dans le commerce en provenance de divers fabricants, leur usage étant très répandu dans le domaine de la fabrication de circuits imprimés. Des exemples dé¬ telles compositions sont les produits vendus sous les désignations commerciales AZ 1350J et AZ 1350H par la Société américaine SHIPLEY.- L'invention concerne aussi les cellules solaires allégées obtenues par le procédé de l'invention.

La description qui va suivre faite en se référant aux dessins annexés fera bien comprendre la présente invention. Sur ces dessins : La figure 1 est une vue schématique en coupe d'une cellule solaire à l'arséniure de gallium avant métallisation de la face arrière du substrat ;

Les figures 2 à 5 sont des vues schématiques en coupe (figures 2, et 5) ou vue de dessous (figure 3) illustrant diverses étapes du procédé de l'invention ; et

Les figures 6 A et 6B sont des vues schématiques en coupe montrant respectivement , de façon comparative , une cellule classique non allégée et une cellule allégée selon l'invention. La description détaillée du procédé de l'invention va être faite ci-dessous à propos d'une photopile à l'arséniure de gallium, mais il va de soi que

que l'invention n'est pas limitée à ce genre de photopiles et peut être appliquée à des cellules solaires de tous types.

La figure 1 montre une photopile à l'arséniure de gallium typique avant metallisation de la face arrière du substrat. Cette photopile comprend typiquement un substrat 1 en arséniure de gallium de type N, une couche active 2 de type N, une couche avant 3 de type P consti¬ tuant avec la couche 2 une jonction P N, une couche dite "fenêtre" en GaAIAs de type P qui crée un champ électrique repoussant les photoporteurs vers la jonction, une metallisation en forme de "peigne" 5 et une couche anti-reflet 6 constituée d'un oxyde métallique tel que a ₂ 0 ₅ , SiO- etc.... Les épaisseurs des différentes couches semi- conductrices sont typiquement de 1 0 à iOO jxm pour le substrat 1, d'environ 5 à 10 _^ ^îm pour la couche 2, de 0,3 à 5 m pour la couche 3 et de 0,1 à 1 αm pour la couche . La majeure partie de la masse de la phottfpile est donc attribuable au substrat 1.

Selon le procédé de l'invention, on commence (figure 2) par appliquer sur les faces exposées du substrat 1. (d'une épaisseur de 220 um), d'une part, et de la metallisation 5 e de la couche 6, d'autre part, une composition de réserve photosensible de type positif, vendue sous la désignation commerciale AZ 1350J par la Société SHIPLEY. Cette composition durcit en température en formant des couches protectrices 7 et 8 sur la metallisa¬ tion 5 et la couche 6, d'une part, et sur le substrat 1 , d'autre part. Ces couches protectrices ont une bonne résistance aux agents chimiques et une bonne adhérence sur l'arséniure de gallium.

Ensuite, on expose la couche 8 appliquée sur le substrat pendant environ 5 secondes à un rayonnement ultra- violet provenant d'une source constituée par une lampe à vapeur de mercure et d'un système optique permettant un éclaire ent en faisceau parallèle du substrat, après avoir apposé sur cette couche un masque en forme de quadrillage.

Cette exposition a pour effet de dégrader la couche 8 dans les zones exposées et de les rendre solubles dans un bain de lavage ou révélateur. Après l'exposition, on lave ou développe la couche exposée dans un bain de lavage (révélateur) constitué d'une solution aqueuse basique

(produit AZ 50 ou AZ 351 vendu par la Société SHIPLEY) pendant 1 minute environ pour éliminer les parties exposées de la couche. On obtient ainsi sur le substrat un motif de réserve en forme de quadrillage 9 comme illustré par les figures 3 et i . La surface de chaque carré unitaire p du quadrillage est d'environ 1 cm . La largeur de chaque ligne du quadrillage est d'environ 200 jαm.

Ensuite, on procède à l'attaque chimique du substrat 1 dans les zones laissées nues par le quadrillage 9 en mettant en contact ces zones avec une composition d'attaque constituée d'eau désionisée , d'eau oxygénée à- 30 volumes et d'acide sulfurique concentré dans un rapport en volume de 3/1/1. La vitesse d'attaque est de l'ordre de ip On poursuit l'attaque jusqu'à ce que l'épaisseur ^" résiduelle du substrat dans les zones attaquées soit de 50 jtim environ. Il est à noter que, dès que la profondeur d'attaque- atteint ou dépasse 100jum environ, il se produit un certain effet de sous-gravure non négligeable. Ceci fait qu'il faut prévoir pour les lignes du quadrillage (ou pour les éléments constitutifs de tout autre motif protecteur choisi) une largeur suffisante pour éviter que les cavités générées par l'attaque ne se rejoignent par en-dessous le motif protecteur ou n'affaiblissent exagérément les nervures 10 qui subsistent après l'attaque. Une fois l'attaque terminée, on lave la cellule dans de l'eau désionisée , puis on la sèche , par exemple sous un jet d'azote. La composition de réserve durcie qui subsiste sur la cellule est alors éliminée, par exemple dans un bain de solvant approprié, tel que l'acétone. On obtient ainsi la cellule représentée sur la figure 5.

La fabrication de la cellule peut alors être achevée en effectuant une metallisation de la face arrière des nervures 10. Cette metallisation 11 peut être réalisée en procédant d'abord à un mince dépôt de métal par évaporation, puis en épaississant la couche mince de métal résultante par voie électrochimique, de manière connue.

Les figures 6 A et βB illustrent comparativement une cellule solaire conventionnelle (figure 61 ) et une cellule allégée selon l'invention (figure 6B). Grâce à l'invention, on peut obtenir un gain de masse de 50 % et plus. Il est à noter que l'invention permet également de réduire la masse de metallisation nécessaire.

Bien que l'invention ait été décrite plus particulièrement à propos d'une cellule solaire à l'arsé- niure de gallium, elle pourrait être mise en oeuvre tout aussi bien avec d'autres types de cellules solaires, par exemple les cellules au silicium, comme cela sera évident pour l'homme de l'art.

Egalement, la mise en oeuvre du procédé de l'invention pourrait s'insérer dans le processus de fabrication de la cellule à un moment autre que celui précédant la metallisation de la face arrière du substrat, comme cela sera évident pour l'homme de l'art.

Il va de soi que le mode de réalisation décrit n'est qu'un exemple et qu'on pourrait le modifier, notamment par substitution d'équivalents techniques, sans sortir pour cela du cadre de l'invention.