Title:
ナノ構造を型押しする方法及び装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017516302
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、基板（７）上に施与された硬化可能材料（８）のスタンプ面（１４）に、ナノ構造スタンプ（５）によってナノ構造（１３）を型押しする方法に関する。この方法は、特に次の順序で、・スタンプ面（１４）に対してナノ構造（１３）を配向するステップと、・Ａ）ナノ構造スタンプ（５）の変形によってナノ構造スタンプ（５）に応力を印加し、及び／又は、基板（７）の変形によって基板（７）に応力を印加し、Ｂ）スタンプ面（１４）の部分面（１５）をナノ構造スタンプ（５）に接触させ、Ｃ）少なくとも一部、特に大部分での、ナノ構造スタンプ（５）への応力印加及び／又は基板（７）への応力印加によって、残余面（１６）を自動的に接触させることにより、スタンプ面（１４）の型押しを行うステップとを含む。
Inventors:
Geralt Kleindle
Application Number:
JP2016563848A
Publication Date:
June 15, 2017
Filing Date:
April 22, 2014
Export Citation:
Assignee:
Afau Group A Tarner Gamebehr
International Classes:
H01L21/027; B29C59/02; H01L21/683
Domestic Patent References:
| JP2011211157A | 2011-10-20 | |||
| JP2012099790A | 2012-05-24 | |||
| JP2014027075A | 2014-02-06 |
Foreign References:
| WO2012133840A1 | 2012-10-04 | |||
| WO2013023708A1 | 2013-02-21 |
Attorney, Agent or Firm:
Einzel Felix-Reinhard
Morita Taku
Junichi Maekawa
Hiroyasu Ninomiya
Ueshima
Morita Taku
Junichi Maekawa
Hiroyasu Ninomiya
Ueshima