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Title:
レーザスキャン順序及びガス流れに対する方向
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018527190
Kind Code:
A
Abstract:
優勢ガス流れ方向（25）に対して斜めでこれに相対するレーザスキャニング方向（20）を用いることにより、レーザスキャンにより形成された直交スクライブライン（26）の品質とうねり特性が均一化される。フィーチャのエッジの品質とうねり特性を向上するために、スクライブライン（26）の幅よりも広いフィーチャを形成するための複数のスキャンパスの位置決めと順序を制御することができる。

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Inventors:
Fins and cod
Ferguson, Robert A.
Application Number:
JP2018510393A
Publication Date:
September 20, 2018
Filing Date:
August 10, 2016
Export Citation:
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Assignee:
Electro Scientific Industries, Inc.
International Classes:
B23K26/14; B23K26/00; B23K26/082; B23K26/16; B23K26/38
Domestic Patent References:
JP2010075996A2010-04-08
JP2014504804A2014-02-24
JP2003285175A2003-10-07
JP2004512690A2004-04-22
JP2006289441A2006-10-26
Foreign References:
WO2014125280A22014-08-21
Attorney, Agent or Firm:
Tomohiro Mori



 
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