Title:
積層型イメージセンサ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024065043
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】積層型イメージセンサを提供する。【解決手段】上部にカラーフィルタアレイ及びマイクロレンズが配され、光電変換領域、及び光電変換領域から転送される電荷を保存するフローティングディフュージョン領域を含む第１半導体基板；第１半導体基板の下部に配され、光電変換領域内の電荷を転送するための転送トランジスタのゲートを含む第１絶縁層；第１絶縁層の下部に配され、第１導電型にドーピングされる第２半導体基板；並びに第２半導体基板の下部に配され、フローティングディフュージョンノードのメタルパッド、及びソースフォロワトランジスタのゲートを含む第２絶縁層；を含み、フローティングディフュージョン領域と、フローティングディフュージョンノードのメタルパッドは、第１絶縁層と第２半導体基板とを貫通するディープコンタクトを介して電気的に連結され、第２半導体基板は、ディープコンタクトを取り囲むウェル領域をさらに含む積層型イメージセンサを含む積層型イメージセンサである。【選択図】図２
Inventors:
Zhao Dongxi
Park Jong Eun
Jungjun Kang
Park Gyunha
Lee Kwi-deok
Park Jong Eun
Jungjun Kang
Park Gyunha
Lee Kwi-deok
Application Number:
JP2023182003A
Publication Date:
May 14, 2024
Filing Date:
October 23, 2023
Export Citation:
Assignee:
Samsung Electronics Co.,Ltd.
International Classes:
H01L27/146; H04N25/70; H04N25/79
Attorney, Agent or Firm:
Tadashige Ito
Tadahiko Ito
Osamu Miyazaki
Tadahiko Ito
Osamu Miyazaki