マスクブランクス、フォトマスクの製造方法及びフォトマスク

Title:

マスクブランクス、フォトマスクの製造方法及びフォトマスク

Document Type and Number:

Japanese Patent JP5646869

Kind Code:

B2

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Inventors:

江成雄一
影山景弘
原拓也

Application Number:

JP2010091987A

Publication Date:

December 24, 2014

Filing Date:

April 13, 2010

Export Citation:

Assignee:

アルバック成膜株式会社

International Classes:

G03F1/50; C03C15/00; C03C17/36; G03F1/60

Attorney, Agent or Firm:

Omori Junichi
折居 Chapter

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