基板吸着装置及び基板吸着方法

Title:

基板吸着装置及び基板吸着方法

Document Type and Number:

Japanese Patent JP5878269

Kind Code:

B1

Abstract:

内部ガスを吸引して当接した基板（３１）を吸着する基板吸着装置（１）であって、前記基板に当接し、複数の吸引孔を備える吸着部（２）と、前記複数の吸引孔のそれぞれと連結する内部共有空間を前記吸着部と協働して形成し、前記内部共有空間から前記内部ガスを吸引するための吸引口（１５ｂ）を備える吸引孔連結部（３）と、前記吸着部に内設され、前記吸引孔の開閉を行う複数の弁体（２１）を備える板状の吸引孔開閉部（４）と、前記弁体は、前記吸引孔によって露出した前記吸着部の内側表面（８ａ）に当接して前記吸引孔を閉塞する閉塞板（２２）、前記閉塞板を前記吸引孔の延在方向に変位可能に支持する弾性支持板（２３）を備えること。

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Inventors:

Noboru Shinkai
Shigeru Kawada
Nobuyuki Takahashi

Application Number:

JP2015541356A

Publication Date:

March 08, 2016

Filing Date:

March 31, 2015

Export Citation:

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