Title:
外観検査装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6570211
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】検査対象物の表面及び内部に露出する欠陥を同時に検査可能な外観検査装置において、装置構成の大型化を抑えつつ、より多くの欠陥を認識可能とする。【解決手段】外観検査装置１０は、同じ直線偏光特性を有する赤色光、緑色光及び青色光を検査対象物Ｗにそれぞれ異なる角度で照射する照明１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂと、反射光３０を所定の直線偏光特性を有する反射光３１と所定の直線偏光特性が除去された反射光３２に分離する偏光ビームスプリッタ１３と、平行な反射光３１，３２を同時に撮影するカラーカメラ１５と、カラーカメラ１５の画像から赤色、緑色及び青色成分を抽出する画像処理装置１６とを備える。これにより、検査対象物に応じて各照明の照射角度を最適化することにより、より多くの欠陥を顕在化させることが可能となる。しかも、反射光３１，３２が同じカラーカメラ１５に入射することから、装置構成の大型化も抑えられる。【選択図】図１
Inventors:
Yasuyoshi Suzuki
Junichi Sugano
Junichi Sugano
Application Number:
JP2019100101A
Publication Date:
September 04, 2019
Filing Date:
May 29, 2019
Export Citation:
Assignee:
ViSCO Technologies Corporation
International Classes:
G01N21/88
Domestic Patent References:
| JP2014142339A | ||||
| JP200942202A | ||||
| JP261610A | ||||
| JP201872075A | ||||
| JP2011164061A | ||||
| JP2017531787A |
Foreign References:
| US20100059657 |
Attorney, Agent or Firm:
Mitsuhiro Washito
Ogata Japanese
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