Title:
マルチスリット型アクチュエータ，インクジェットヘッド及びマルチスリット型アクチュエータの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2002084752
Kind Code:
A1
Abstract:
洗浄〜乾燥工程が不要で、直線形状以外のスリットであっても、また５０μｍ以下の幅のスリットであっても形成可能とするマルチスリット型アクチュエータの製造方法である。所定枚数の圧電材料グリーンシート１を用意し、ストリッパ１０を周囲に配置したパンチ８とダイ９とで、最初の圧電材料グリーンシート１ａにスリット孔を開け、パンチ８を圧電材料グリーンシート１ａから抜くことなくストリッパ１０により圧電材料グリーンシート１ａを引き上げる。そして、二枚目の圧電材料グリーンシート１ｂにパンチ８によりスリット孔を開け、同様にパンチ８を圧電材料グリーンシート１ｂから抜くことなくストリッパ１０により打ち抜いた２枚の圧電材料グリーンシート１ａ，１ｂを引き上げて打ち抜きと同時に圧電材料グリーンシートを積層する。この操作を所定枚数繰り返した後、基板に重ね合わせて焼成一体化した。
Inventors:
武内 幸久
辻 裕之
北村 和正
高橋 伸夫
辻 裕之
北村 和正
高橋 伸夫
Application Number:
JP2002581594A
Publication Date:
August 05, 2004
Filing Date:
April 05, 2002
Export Citation:
Assignee:
日本碍子株式会社
International Classes:
H01L41/09; B41J2/045; B41J2/055; B41J2/14; B41J2/16; H01L27/20; H01L41/08; H01L41/22; H01L41/339