Title:
Ｘ線顕微鏡
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017051890
Kind Code:
A1
Abstract:
路長を短縮し、室内搬入サイズのＸ線顕微鏡を提供するため、Ｘ線源１と、試料保持部３と、凹面ＫＢミラー４と、凸面ＫＢミラー５と、試料保持部３の位置と結像関係の位置にある受光部８とを、光軸に沿って順に、少なくとも一つずつ有するＸ線顕微鏡を作製する。
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Inventors:
Satoshi Matsuyama
Junpei Yamada
Junpei Yamada
Application Number:
JP2017540926A
Publication Date:
July 19, 2018
Filing Date:
September 23, 2016
Export Citation:
Assignee:
National University Corporation Osaka University
International Classes:
G21K7/00; G21K1/00; G21K1/06
Domestic Patent References:
| JP2014013169A | 2014-01-23 | |||
| JP2013221874A | 2013-10-28 | |||
| JPH09145899A | 1997-06-06 |
Other References:
松山智至 他: "Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた高分解能かつ色収差のない硬Ｘ線顕微鏡の開発", ２０１４年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, JPN6016046248, 1 March 2014 (2014-03-01), JP, ISSN: 0003949611
永井宏明 他: "極端紫外光と結像光学系", 光学, vol. 第２８巻第１２号, JPN6016046250, 2 August 1999 (1999-08-02), JP, pages 16 - 21, ISSN: 0003949612
株式会社ジェイテック: "平成２２年度戦略的基板技術高度化支援事業 「放射光用ミラーに関する加工技術の高精度化」", 近畿経済産業局 研究開発成果報告書, JPN6016046253, 30 September 2011 (2011-09-30), JP, ISSN: 0003949613
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Attorney, Agent or Firm:
Kyuichi Ueki
Hisahiko Ueki
Tadashi Sugakawa
Hiroaki Ito
Hisahiko Ueki
Tadashi Sugakawa
Hiroaki Ito