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Title:
インプリント用硬化性組成物、硬化物、パターン形成方法およびリソグラフィー方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018025739
Kind Code:
A1
Abstract:
２０ｎｍ以下の微細パターンを作製した場合の解像性、インプリント用硬化性組成物のモールドへの充填性およびモールドからの離型性に優れたインプリント用硬化性組成物、ならびに、上記インプリント用硬化性組成物を用いた、硬化物、パターン形成方法、およびリソグラフィー方法の提供。単官能重合性化合物と、２官能重合性化合物と、光重合開始剤とを含むインプリント用硬化性組成物であって、単官能重合性化合物の含有量は、全重合性化合物の５〜３０質量％であり、２官能重合性化合物の含有量は、全重合性化合物の７０質量％以上であり、２官能重合性化合物の少なくとも１種が、２つの重合性基を連結する原子の数が２以下である２官能重合性化合物であり、かつ、脂環構造および芳香環構造を含まず、２つの重合性基を連結する原子の数が３以上である２官能重合性化合物の含有量が、全重合性化合物の３０質量％以下である、インプリント用硬化性組成物。

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Inventors:
Yuichiro Goto
Application Number:
JP2018531858A
Publication Date:
April 18, 2019
Filing Date:
July 27, 2017
Export Citation:
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Assignee:
FUJIFILM Corporation
International Classes:
H01L21/027; C08F2/48; C08F220/20
Domestic Patent References:
JP2011060818A2011-03-24
JP2009073078A2009-04-09
JP2013170227A2013-09-02
JP2012186356A2012-09-27
JP2011057565A2011-03-24
Attorney, Agent or Firm:
Patent Service Corporation Patent Office Sykes



 
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