Title:
含フッ素化合物、含フッ素ポリマー、レジスト組成物、およびレジスト保護膜組成物
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2006011427
Kind Code:
A1
Abstract:
官能基を有し、幅広い波長領域で高い透明性を有する含フッ素ポリマーならびに該含フッ素ポリマーからなるレジスト用組成物およびレジスト保護膜組成物の提供。下記式（１）で表される含フッ素ジエンを環化重合してなるモノマー単位を有する含フッ素ポリマー。ＣＦ2＝ＣＦＣＦ2Ｃ（ＣＦ3）（ＯＲ1）−（ＣＨ2）nＣＲ2＝ＣＨＲ3・・・（１）（ただし、式（１）中、Ｒ1は、水素原子、炭素数２０以下のアルキル基、または（ＣＨ2）aＣＯＯＲ4（ａは０または１であり、Ｒ4は水素原子または炭素数２０以下のアルキル基）を表す。Ｒ2およびＲ3は、それぞれ独立に水素原子または炭素数１２以下のアルキル基を表す。ｎは０または２を表す。但し、ｎ＝０の場合、Ｒ1、Ｒ2およびＲ3のうち少なくとも１つは水素原子以外である。）
Inventors:
Yoko Takebe
Masataka Eda
Yokokoji Osamu
Takashi Sasaki
Masataka Eda
Yokokoji Osamu
Takashi Sasaki
Application Number:
JP2006529303A
Publication Date:
May 01, 2008
Filing Date:
July 22, 2005
Export Citation:
Assignee:
Asahi Glass Co., Ltd.
International Classes:
C08F36/20; C07C33/42; C07C43/17; G03F7/039; G03F7/11; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
Nozomi Watanabe
Haruko Sanwa
Haruko Sanwa
Previous Patent: CONDUCTIVE ROLL
Next Patent: LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR DRIVING THEREOF
Next Patent: LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR DRIVING THEREOF