Title:
導波路の表面を研磨する方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024059636
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】導波路のターゲット表面と、少なくとも１つの他の、基準表面との間の正確な垂直性を達成するために、導波路の外表面を研磨する方法を提供する。【解決手段】基準面を規定する平坦面を有する研磨プレートと、研磨中に複数の角度方向にて導波路１００を保持するように構成された調整可能な取り付け装置とを有する研磨装置を提供することと、第１のコリメート光ビーム６０５が基準面に平行な表面６０９から反射され、第２の垂直なコリメート光ビーム６０５が基準表面から反射されるように、光学アライメントセンサ６０１および光反射装置６０３を配置することと、光学アライメントセンサ６０１によって受け取られた反射が光学アライメントセンサ６０１内で位置合わせされ、それによって基準面と基準表面との間の垂直性が示されるように、研磨装置内で導波路１００を位置合わせすることと、位置合わせされた導波路１００のターゲット表面を研磨する。【選択図】図６
Inventors:
Magir, Amit
Levin, Naamar
Robaczynski, Lilia
Danziger, Yochai
Levin, Naamar
Robaczynski, Lilia
Danziger, Yochai
Application Number:
JP2024013343A
Publication Date:
May 01, 2024
Filing Date:
January 31, 2024
Export Citation:
Assignee:
Lumus Ltd.
International Classes:
B24B19/00; B24B41/06; B24B47/22; B24B49/12; G02B5/04; G02B5/08; G02B5/10
Attorney, Agent or Firm:
Kiyohara International Patent Office