Title:
リフターピンの制御方法及び搬送アーム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024048171
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】基板処理装置において多段エフェクタが搭載された搬送アームによる基板授受での高さの調整を適切に行う。【解決手段】基板処理装置の処理モジュール内において、多段エフェクタが搭載された搬送アームとステージとの間での基板授受を行うためのリフターピンの制御方法であって、前記多段エフェクタは、前記リフターピンの高さの判定を行う複数のセンサを有し、前記複数のセンサを用いて前記リフターピンの高さ位置を判定し、その判定結果に基づき前記リフターピンの高さ調整を行う。【選択図】図４
Inventors:
Yuichi Nishimori
Toshiki Kawamura
Junya Miyamatsu
Toshiki Kawamura
Junya Miyamatsu
Application Number:
JP2022154063A
Publication Date:
April 08, 2024
Filing Date:
September 27, 2022
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
H01L21/677
Attorney, Agent or Firm:
Tetsuo Kanemoto
Koji Hagiwara
Naoki Ogita
Takashi Saito
Takuya Mine
Koji Hagiwara
Naoki Ogita
Takashi Saito
Takuya Mine
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