Title:
被加工物の加工方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024067754
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】研削ホイールの研削砥石の調子を安定させた状態で研削することができる被加工物の加工方法を提供すること。【解決手段】被加工物の加工方法は、板状の被加工物に透過性を有するレーザ光を照射することによって被加工物の研削面から所定の仕上げ厚さに至る領域に変質層を形成する変質層形成ステップ１と、変質層形成ステップ１の後に、被加工物を研削面から研削して変質層を除去するとともに所定の仕上げ厚さに形成する研削ステップ２と、を備え、変質層形成ステップ１では、研削面に平行な面において、変質層が形成される部分と変質層が形成されない部分とがいずれも存在するように変質層を形成する。【選択図】図１
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Inventors:
Keiichi Suzuki
Masaki Kakefuda
Yuu Nagami
Masaki Kakefuda
Yuu Nagami
Application Number:
JP2022178071A
Publication Date:
May 17, 2024
Filing Date:
November 07, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/304; B23K26/53; B24B7/04
Attorney, Agent or Firm:
Sakai International Patent Office
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