Title:
SCANNING NEAR-FIELD OPTICAL MICROSCOPE UTILIZING OPTICAL RESONATOR
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3535356
Kind Code:
B2
Abstract:
PROBLEM TO BE SOLVED: To perform observation in good reproducibility and at spacial resolu tion up to nano-meter order.
SOLUTION: Minute projections 11 smaller than the wavelength of light are disposed on the light wave-guide of an traveling wave type optical ring resonator using the light wave-guide or an optical fiber, on the side of the optical fiber or on a mirror face opposite to the specimen of the travelling wave type optical ring resonator using three or more mirrors. When the minute projection 11 is opposed to the specimen as a probe, which is approached, feed- back control of a distance between the probe and the specimen is performed so that back-scattering occurring in the optical ring resonator is made constant or the resonant frequency of the optical ring resonator or the shape of a resonant curve is made constant.
Inventors:
Kataoka, Toshihiko
Application Number:
JP25341197A
Publication Date:
June 07, 2004
Filing Date:
September 18, 1997
Export Citation:
Assignee:
Kataoka, Toshihiko
JEOL LTD
JEOL LTD
International Classes:
G01N37/00; G01Q60/18; G01Q60/22; (IPC1-7): G01N13/14; G12B21/06
Other References:
片岡俊彦，“微小突起型近接場光学顕微鏡システム”，超解像の近接場光学顕微鏡法の理論的基礎と局所計測・極微物質操作技術の確立，日本，１９９６年 ３月１１日，ｐ．２５−２７
片岡俊彦，“特集 ナノ・フォトニクスの夜明け−近接場工学が与える各分野へのインパクト−光学顕微技術への応用”，ＯＰＴＲＯＮＩＣＳ，日本，１９９４年１２月１０日，第１５６号，ｐ．９８−１０３
片岡俊彦，“走査型近接場光学顕微鏡”，生産と技術，日本，社団法人生産技術振興協会，１９９６年 ４月２５日，第４８巻、第２号，ｐ．３８−４１
片岡俊彦、遠藤勝義、井上晴行、稲垣耕司、森勇蔵、広瀬喜久治、高田和政，“球状微小突起をプローブとした走査型近接場光学顕微鏡の開発”，精密工学会誌，日本，社団法人精密工学会，１９９４年 ８月 ５日，第６０巻、第８号，ｐ．１１２２−１１２６
片岡俊彦、遠藤勝義、押鐘寧、井上晴行、重信安志、平井隆之，“微小共振球をプローブとした近接場光学顕微鏡の開発−微小共振球プローブの開発−”，精密工学会大会学術講演会講演論文集，日本，社団法人精密工学会，１９９７年 ９月１８日，１９９７年度秋季、Ｆ６３，ｐ．２６９
片岡俊彦、遠藤勝義、高田和政，“走査型近接場光学顕微鏡の開発”，レーザー研シンポジウム共同研究成果報告書，日本，大阪大学レーザー核融合研究センター，１９９３年１１月，’９３、８．３，ｐ．１１９−１２０
片岡俊彦，“特集 ナノ・フォトニクスの夜明け−近接場工学が与える各分野へのインパクト−光学顕微技術への応用”，ＯＰＴＲＯＮＩＣＳ，日本，１９９４年１２月１０日，第１５６号，ｐ．９８−１０３
片岡俊彦，“走査型近接場光学顕微鏡”，生産と技術，日本，社団法人生産技術振興協会，１９９６年 ４月２５日，第４８巻、第２号，ｐ．３８−４１
片岡俊彦、遠藤勝義、井上晴行、稲垣耕司、森勇蔵、広瀬喜久治、高田和政，“球状微小突起をプローブとした走査型近接場光学顕微鏡の開発”，精密工学会誌，日本，社団法人精密工学会，１９９４年 ８月 ５日，第６０巻、第８号，ｐ．１１２２−１１２６
片岡俊彦、遠藤勝義、押鐘寧、井上晴行、重信安志、平井隆之，“微小共振球をプローブとした近接場光学顕微鏡の開発−微小共振球プローブの開発−”，精密工学会大会学術講演会講演論文集，日本，社団法人精密工学会，１９９７年 ９月１８日，１９９７年度秋季、Ｆ６３，ｐ．２６９
片岡俊彦、遠藤勝義、高田和政，“走査型近接場光学顕微鏡の開発”，レーザー研シンポジウム共同研究成果報告書，日本，大阪大学レーザー核融合研究センター，１９９３年１１月，’９３、８．３，ｐ．１１９−１２０
Attorney, Agent or Firm:
蛭川 昌信 （外７名）
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