図5(a)、(b)の符号5は、本発明のステージ装� �を示している。同図(a)は平面図、同図(b)は� �面図である。
 このステージ装置5は、主載置台10と、複数� ��副載置台20a~20dを有している。

 主載置台10と副載置台20a~20dは、表面が平� ��な主ベース板11と副ベース板21をそれぞれ有 している。主ベース板11と副ベース板21の表� �は、それぞれ同じ高さで水平になるように� �置されている。

 主ベース板11の平面形状は矩形であり、そ� �四辺のうち、互いに平行な二辺に沿って主� �ール17a,17bが敷設されている。
 副ベース板21上には、副レール18が配置され ている。

 主レール17a,17bの両端部は、副レール18の端� ��に接続されており、二本の副レール18と、� �の間に挟まれた主レール17a又は17bによって� �連続する一本のレール19a又は19bが形成され� �。
 レール19a,19b上には移動可能な移動部材(こ� �ではガントリ)が設置され、ガントリに吐出� ��置13が乗せられている。

 この吐出装置13の底面部分には、印刷ヘッ� �(不図示)が設けられている。吐出装置13には� ��出液が配置されたタンク29が接続されてお� �、タンク29から吐出液を供給しながら、印刷 ヘッドを動作させると、印刷ヘッドから吐出 液が吐出されるように構成されている。
 主ベース板11の主レール17a,17bの間に位置す� ��部分の上には、基板7が配置されている。

 吐出装置13はレール19a,19b上を走行できる� ��うに構成されており、図6(a)、(b)に示すよう に、吐出装置13が基板7上に位置する状態で、 印刷ヘッドから吐出液が吐出されると、吐出 液は基板7表面に着弾する。吐出装置13を移動 させると、基板7表面の所望位置に吐出液を� �弾させることができる。

 このステージ装置5は、基板7への吐出作� �が行なわれる本設置場所に配置されるが、� �ベース板11が大きいため、図5、6に示したよ� ��に、副載置台20a~20dを主載置台10に連結し、� ��ベース板11と副ベース板21を組み立てた状態 では、ステージ装置5を製造する際に組み立� �た仮設置場所から本設置場所に搬送するこ� �ができない。

 本発明のステージ装置5は、主載置台10に� ��して副載置台20a~20dが着脱可能に構成されて おり、下記のように、仮設置場所で位置合わ せをした後分離させ、仮設置場所から本設置 場所に搬送し、本設置場所にて位置合わせを した状態を復元し、主ベース板11と副ベース� ��21とを接続する。

 図1(a)は、本設置場所ではなく、仮設置場所 に置かれた状態の主載置台10の平面図を示し� ��おり、同図(b)はその主載置台10の側面図を� �している。
 主ベース板11の裏面の四隅付近には脚部12a~1 2dが配置されている。

 同図(a)(及び後述する図3(a)、図4(a))では、 主ベース板11と主レール17a,17bを二点鎖線で示 し、脚部12a~12dを実線で示している。脚部12a~1 2dは主ベース板11の裏面に固定されている。

 次に、図2(a)は副載置台20a~20dの平面図、同� �(b)はその側面図である。
 副載置台20a~20dはそれぞれ台車22を有してお� ��、副ベース板21は台車22上に乗せられている 。
 台車22には複数の搬送車輪23が設けられてい る。ここでは、台車22は台座27を有しており� �搬送車輪23は、台座27の底面の四カ所に設け� ��れている。

 主ベース板11と副ベース板21は、長方形又 は正方形形状である。副ベース板21は主ベー� ��板11の半分以下の大きさにされており、副� �ース板21は、主ベース板11の両脇に、片側二� ��ずつ接続できる。

 搬送車輪23は、副ベース板21が主ベース板 11に接続される部分を先頭にして少なくとも� ��進と後進ができる向きに設けられており、� ��送車輪23を床に接地し、前進方向、又は後� �方向に向けて力を加えると、搬送車輪23が回 転して副載置台20a~20dは力を加えた方向に床� �を走行する。

 台座27上には、ローラと回転軸から成る副� �置決め部材24 ₁ ,24 ₂ が一乃至複数個設けられている。
 ここでは副位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ は二個設けられており、台座27上の、副載置� ��20a~20dの前進方向先頭には、進行する向きの 両側位置に互いに離間して配置されている。

 脚部12a~12dは、床面に接触し、主ベース板 11を支持する支持部15と、支持部15の外周側面 に設けられた板状の主位置決め部材16とを有� ��ている。主位置決め部材16は床面から一定� �離だけ上方に配置されており、主位置決め� �材16と床面との間には隙間が形成されている 。

 副位置決め部材は24 ₁ ,24 ₂ は、台座27に対して移動と固定が可能に構成� ��れており、予め、副位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ 間の距離を大きくしておき、図3の副載置台20 bのように、主レール17a又は17bと副レール18が 一直線になるように、副載置台20bの先頭の部 分を脚部12bに向け、前進させると、同図の副 載置台20aのように、台座27は主位置決め部材1 6と床面との間に挿入される。

 主位置決め部材16は、脚部12a~12dの側面のう� ��、主レール17a,17bと平行な側面に配置されて いる。
 主位置決め部材16は、副位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ と同じ高さに配置されているが、副位置決め 部材24 ₁ ,24 ₂ の間隔は、予め、主位置決め部材16の幅より� ��広くされており、台座27は、副位置決め部� �24 ₁ ,24 ₂ と主位置決め部材16が接触せずに、主位置決� ��部材16の下に挿入され、同図の副載置台20b� �ように、副ベース板21と主ベース板11とが接� ��される。
 この状態では、主ベース板11と副ベース板21 の間の理想的な位置関係からの誤差は大きい 。

 副載置台20a~20dには、副ベース板21の高さと� ��傾きと、水平方向の位置と向きを変更でき� ��調整機構30が設けられている。
 この調整機構30は、副ベース板21の高さ、傾 き、水平面内の位置、及び向きを、概略変更 できる粗調整機構31と、粗調整機構31よりも� �密に変更できる微調整機構32を有している。

 粗調整機構31は、微調整機構32よりも、副 ベース板21の高さと、傾きと、水平方向の位� ��を大きく変更できるように構成されており� ��先ず、副載置台20a~20d毎に、粗調整機構31に� ��って主ベース板11に対する副ベース板21の概 略の位置合わせを行なう。

 仮設置場所の床面は水平であり、主ベー� ��板11は、主載置台10に設けられた主調整機構 (不図示)によって予め表面が水平にされてい� ��ものとすると、粗調整機構31により、副ベ� �ス板21は、主ベース板11の表面と略同じ高さ� ��水平にされると共に、主ベース板11との相� �的な位置と向きが粗調整され、概略の位置� �わせがされる。

 次に、粗調整機構31(の粗調整ネジ等)を固定 し、粗調整がされた副ベース板21と主ベース� ��11の相対位置が変化しないようにしながら� �副位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ を移動させ、主位置決め部材16に接触させた� ��態で、台座27に固定すると、副位置決め部� �24 ₁ ,24 ₂ によって、主位置決め部材16は挟まれる。
 これにより、粗調整がされた状態での主載� ��台10と副載置台20a~20dとの間の位置関係が決� ��される。

 支持部15は、主ベース板11の外周よりも内側 に位置しており、主位置決め部材16は、主ベ� ��ス板11の外周から遠い部分が幅広で、主ベ� �ス板11の外周に近い方が幅狭に形成されてお り、副位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ で主位置決め部材16を挟んだ状態では、副載� ��台20a~20dは、主ベース板11の外側方向に移動� ��きるが(後退方向)、脚部12a~12dに対して前進� ��左右方向にも移動できなくなる。

 このため、粗調整機構31の固定や、副位置� �め部材24 ₁ 、24 ₂ の台座27に対する固定を解除しなければ、副� ��置台20a~20dを主載置台10から分離しても、副� ��置決め部材24 ₁ 、24 ₂ によって主位置決め部材16が分離前と同様に� ��まれるように、副載置台20a~20dを移動させる と粗調整された状態を容易に再現することが できる。

 台座27と副ベース板21の間には、架台25が� ��置されている。副ベース板21は、架台25に固 定されている。この架台25には連結部材33が� �けられており、この連結部材33によって架台 25を脚部12a~12dに固定すると、主ベース板11と� ��ベース板21とは、粗調整がされた状態で、� �台25と脚部12a~12dを介して、相対的な位置が� �定される。

 次いで、微調整機構32によって、副ベー� �板21の高さ、傾き、水平方向の位置と向きを 調整し、副ベース板21の主ベース板11に対す� �位置を、副載置台20a~20d毎に微調整する。

 以上の手順により、副ベース板21と主ベ� �ス板11とは位置合わせがされた状態になり、 主レール17a,17bの両端に、副レール18が真っ直 ぐに接続され、直線状のレール19a,19bが得ら� �る。

 このような仮組立を仮設置場所で行なっ� ��後、連結部材33を取り外し、主載置台10と副 載置台20a~20dの間の連結を解除し、副載置台20 a~20dを後退させ、主載置台10と副載置台20a~20d� ��分離すると、別々に搬送できる状態になる� ��

 このとき、副位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ の台座27への固定は解除せず、副位置決め部� ��24 ₁ ,24 ₂ 間の距離は変更しない。また、粗調整機構31� ��微調整機構32の粗動ネジや微動ネジも固定� �、粗調整と微調整がされた状態が変化しな� �ようにしておく。
 主載置台10と副載置台20a~20dはそれぞれ車両� ��に搭載し、陸路や海路等によって本設置場� ��まで搬送し、先ず、主載置台10を本設置場� �の所定位置に配置する。

 次いで、副載置台20a~20dを脚部12a~12dに向� �て配置し、図7に示すように、各副載置台20a~ 20dを、仮設置場所で組み立てられた状態が復 元できるようにして副載置台20a~20dを脚部12a~1 2dに向けてそれぞれ前進させる。

 主位置決め部材16の幅は、副載置台20a~20dの� ��行方向の奥方向に向かって拡がっているか� ��、各副載置台20a~20dの台座27が主位置決め部� ��16の下に入ると、副位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ の間に主位置決め部材16が挿入され、副位置� ��め部材24 ₁ ,24 ₂ と主位置決め部材16とが接触すると、副載置� ��20a~20dの前進が停止する。

 この状態は、図4に示した状態と同じであ り、副載置台20a~20dの架台25と主載置台10の脚� ��12a~12dとの間を連結部材33で連結固定し、脚� ��12a~12dに対して台座27を固定する。

 仮設置場所と本設置場所の床面が水平であ� ��、副位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ と主位置決め部材16とが、仮設置場所で接触� ��ていた位置と同じ位置で接触している場合� ��は、副載置台20a~20dと主載置台10との仮組立� ��所での位置関係が復元される。
 即ち、副ベース板21と主ベース板11は、粗調 整と微調整がされた状態と同じになる。

 しかし、副載置台20a~20dと主載置台10との間� ��連結を一旦解除し、副載置台20a~20dと主載置 台10を分離して搬送したため、搬送時の振動� ��温度変化等により、小さな位置合わせ誤差� ��発生している場合がある。また、設置場所� ��誤差がある場合があるし、本設置場所で主� ��ース板11表面を水平に設定し直した場合も� �位置合わせ誤差が発生する。
 この位置合わせ誤差は、微調整誤差と同程� ��の大きさであり、粗調整がされた状態は維� ��されている。この為、再度調整する場合で� ��調整量が少なく迅速に調整できる。

 従って、主ベース板11の表面を水平にした� �、微調整機構32によって、副載置台20a~20dの� �下方向の高さ、傾きと、水平方向の位置と� �きを微調整すると、副ベース板21の主ベース 板11に対する位置が変更され、位置合わせ誤� ��E ₄ が小さくなり、主ベース板11と副ベース板21� �位置合わせ誤差を、搬送前の微調整誤差E ₃ と同程度の大きさにすることができる。

 図5(a)、(b)は、以上の手順によって本設置 場所に組み立てたステージ装置5の平面図と� �面図であり、主ベース板11上の主レール17a,17 bと副ベース板21上の副レール18とが直線状に� ��続され、レール19a,19bが真っ直ぐに敷設され る。

 同図では、吐出装置13は主載置台10の外側 位置の副載置台20b,20c上に位置しており、こ� �位置では、印刷ヘッドのクリーニング等を� �なうことができる。また吐出装置13が基板上 にないので、主載置台10上の基板7を交換する ことができる。

 主ベース板11と副ベース板21との間の位置 合わせの精度が高いため、図6(a)、(b)に示す� �うに、吐出装置13を、副載置台20a~20d上と、� �載置台10上の間で移動させても、振動が発生 することはない。

 架台25は台車22から分離可能であり、架台 25が連結部材33によって脚部12a~12dに固定され� ��いると、同図(b)に示すように、台車22を架� �25の下から抜き去っても、副ベース板21は、� ��ベース板11に対して固定された状態である� �

 以上説明したように、本発明によれば、� ��設置場所で副載置台20a~20dと主載置台10を組� ��立てる前に、予め、当該ステージ装置5を製 造した工場内等の仮設置場所に於いて、副ベ ース板21と主ベース板11とを位置合わせをし� �後、その状態が復元できるように分離させ� �搬送し、本設置場所で組み立てることがで� �る。

 なお、組み立てに用いる連結部材33は、� �載置台20a~20dに設けてもよいし、主載置台10� �設けてもよい。また、副載置台20a~20dと主載� ��台10の両方から取り外せるようにしてもよ� �。

 上記実施例では、主位置決め部材16を板状� �部材で構成し、副位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ を、その側面に接触するローラで構成したが 、それに限定されるものではなく、副ベース 板21と主ベース板11との相対的な位置関係を� �現できる部材であればよい。主位置決め部� �をロールで構成し、副位置決め部材を板状� �材で構成することもできる。

 また、上記実施例では、主位置決め部材16� �、脚部12a~12d内で固定されており、主位置決� ��部材16と主ベース板11の間の位置関係は固定 されており、他方、副位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ が台座27に対して移動及び固定が可能に構成� ��れていたが、それとは逆に、副位置決め部� ��24 ₁ ,24 ₂ と副ベース板21の位置関係が固定され、主位� ��決め部材16と主ベース板11との間の相対位置 を変更及び固定が可能にしてもよい。この場 合、粗調整後、連結部材33で固定した後、主� ��置決め部材16を移動させて副位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ と接触させ、主位置決め部材16の主ベース板1 1に対する位置を固定してもよい。

 更にまた、上記実施例では、副ベース板21� �それぞれ有する4台の副載置台20a~20dを、4台� �脚部12a~12dにそれぞれ1台ずつ連結したが、図 8に示すように、二本の副レール18 ₁ 、18 ₂ が設けられた幅広の副ベース板41を有する副� ��置台20e,20fと、当該副載置台20e,20fが二個の� �部12a~12dに対して連結される主載置台10とで� �み立てられるステージ装置も本発明に含ま� �る。

 この場合も、予め仮設置場所で副載置台2 0e,20fの副ベース板41と主載置台10の主ベース� �11とを調整機構30によって位置合わせしてお� ��、その状態が維持されるようにして分離し� ��搬送した後、本設置場所で位置合わせを復� ��することができる。本設置場所で、調整機� ��30によって微調整してもよい。

 また、上記実施例では、本発明のステージ� ��置5の主及び副載置台10、20a~20d上には、吐出 装置13が配置され、インクジェット装置とし� ��用いられていたが、本発明はそれに限定さ� ��るものではなく、本発明のステージ装置5に レーザ照射装置を配置し、加熱装置、検査装 置、又は露光装置として用いることもできる し、基板位置合わせ装置を配置し、アライナ ーとして用いることもできる。
 要するに、本発明のステージ装置5は、イン クジェット装置に限定されるものではない。
 また、レール19a,19b上には移動可能な移動部 材はガントリに限定されず、例えば、基板等 の処理対象物が載置される載置台であっても よい。