図5(a)、(b)の符号5は、本発明のステージ装� �を示している。同図(a)は平面図、同図(b)は� �面図である。
 このステージ装置5は、主載置台10と、複数� ��副載置台20a~20dを有している。

 主載置台10と副載置台20a~20dは、表面が平坦� ��主ベース板11と副ベース板21をそれぞれ有し ている。主ベース板11と副ベース板21の表面� �、それぞれ同じ高さで水平になるように配� �されている。
 主ベース板11の平面形状は矩形であり、そ� �四辺のうち、互いに平行な二辺に沿ってレ� �ル14a,14bが敷設されている。

 各レール14a,14bの両端は主ベース板11より� ��外側にはみ出して配置されており、はみ出� ��た部分の下には、副載置台20a~20dが有する副 ベース板21がそれぞれ配置されている。従っ� ��各レール14a,14bは両端が副載置台20a~20dの上� �位置し、その間の部分が主載置台10の上に位 置している。

 レール14a,14b上には移動可能な移動部材(こ� �ではガントリ)が設置され、ガントリ上には� ��出装置13が乗せられている。
 この吐出装置13の底面部分には、印刷ヘッ� �(不図示)が設けられている。吐出装置13には� ��出液が配置されたタンク19が接続されてお� �、タンク19から吐出液を供給しながら、印刷 ヘッドを動作させると、印刷ヘッドから吐出 液が吐出されるように構成されている。
 レール14aとレール14bの間の主載置台10上に� �基板7が配置されている。

 吐出装置13はレール14a,14b上を走行できる� ��うに構成されており、図6に示すように、吐 出装置13が基板7上に位置する状態で、印刷ヘ ッドから吐出液が吐出されると、吐出液は基 板7表面に着弾する。吐出装置13を移動させる と、基板7表面の所望位置に吐出液を着弾さ� �ることができる。

 このステージ装置5は、基板7への吐出作� �が行なわれる本設置場所に配置されるが、� �ベース板11が大きいため、図5、6に示したよ� ��に、副載置台20a~20dを主載置台10に連結し、� ��ベース板11と副ベース板21を組み立てた状態 では、組み立場所から本設置場所に搬送する ことができない。

 従って、本発明のステージ装置5は、主載 置台10と副載置台20a~20dが分離した状態で本設 置場所に搬入し、本設置場所にて正確且つ迅 速に主ベース板11と副ベース板21とを位置合� �せし、連結するのが望ましい。そのため、� �設置場所での作業をできるだけ少なくする� �めに、本設置場所に搬入する前の作業が必� �となる。

 図1(a)は、本設置場所ではなく、仮設置場所 に置かれた状態の主載置台10の平面図を示し� ��おり、同図(b)はその主載置台10の側面図を� �している。
 主ベース板11の裏面の四隅付近には、脚部12 a~12dが配置されている。
 同図(a)では、主ベース板11を二点鎖線で示� �、脚部12a~12dを実線で示している。脚部12a~12d は主ベース板11の裏面に固定されている。

 次に、図2(a)は副載置台20a~20dの平面図、同� �(b)はその側面図である。
 副載置台20a~20dは、車部22を有しており、副� ��ース板21は車部22上に乗せられている。
 車部22には複数の搬送車輪23が設けられてい る。ここでは搬送車輪23は、車部22の台座27の 底面の四カ所に設けられている。

 主ベース板11と副ベース板21は、長方形又 は正方形形状であり、副ベース板21の幅は、� ��ベース板11の幅の半分以下の大きさにされ� �主ベース板11からレール14a,14bがはみ出る二� �に、それぞれ二個ずつ接続できるようにさ� �ている。

 搬送車輪23は、副ベース板21が主ベース板 11に接続される部分を先頭にして前進と後進� ��できる向きに設けられており、搬送車輪23� �床に接地し、前進方向、又は後進方向に向� �て力を加えると、搬送車輪23が回転し、副載 置台20a~20dは床上を力を加えた方向に走行す� �。

 車部22には台座27が設けられており、副載置 台20a~20dの前進方向先頭には、進行する向き� �両側位置に、ローラから成る位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ が互いに離間して配置されている。

 脚部12a~12dは床面に接触し、主ベース板11� ��支持する支持部15と、支持部15の外周側面に 設けられた板状のガイド部16とを有している� ��ガイド部16は床面から一定距離だけ上方に� �置されており、ガイド部16と床面との間には 隙間が形成されている。

 位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ は、台座27上での位置を変更できるように構� ��されており、予め位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ 間の距離を大きくしておき、図3の副載置台20 bのように、その先頭を主ベース板11に副ベー ス板21が接続される部分に向け、前進させ、� ��図の副載置台20aのように、台座27をガイド� �16と床面との間に挿入する。
 ガイド部16は、脚部12a~12dの側面のうち、副� ��置台20a~20dの前進方向と平行な部分に沿って 配置されている。

 位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ はガイド部16と同じ高さに配置されているが� ��両位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ は、予め、ガイド部16の幅よりも離間されて� ��り、位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ はガイド部16と接触しなくても、台座27をガ� �ド部16の下に挿入することができる。

 同図の副載置台20bのように、副ベース板21� �主ベース板11とが互いに接続されるべき辺が 接触するまで前進される。
 この状態では、主ベース板11と副ベース板21 の間の理想的な位置関係からの誤差は大きい 。

 副載置台20a~20d、又は主載置台10には、副� ��ース板21の高さ方向の位置、傾きと、副ベ� �ス板21の主ベース板11に対する水平面内の位� ��と向きを調節できる粗調整機構31と微調整� �構32が設けられている。

 粗調整機構31の調整精度よりも微調整機� �32の調整精度の方が精密であるが、粗調整機 構31の調整量の方が、微調整機構32の調整量� �りも大きいため、先ず、副載置台20a~20d毎に� ��粗調整機構31によって主ベース板11に対する 副ベース板21の位置合わせを行なう。

 仮設置場所の床面は水平であり、主ベー� ��板11は、主載置台10に設けられた主調整機構 (不図示)によって、予め表面が水平にされて� ��るものとすると、粗調整機構31により、副� �ース板21は、主ベース板11の表面と略同じ高� ��で水平にされると共に、主ベース板11との� �対的な位置と向きが粗調整され、概略の位� �合わせがされる。

 この状態では、理想的に位置合わせされた� ��態からの誤差を含んでいるが、粗調整前の� ��差量(絶対値)を開始誤差E ₁ とし、粗調整後の誤差量(絶対値)を粗調整誤� ��E ₂ とすると、粗調整された分、粗調整誤差E ₂ は開始誤差E ₁ よりも小さくなっている。
 粗調整がされた状態では、副ベース板21は� �ベース板11と接触しており、副載置台20a~20d� �、前進はできなくても左右方向と後進方向� �は移動することができる。

 次に、粗調整機構31を固定することで、副� �ース板21と主ベース板11の粗調整がされ、副� ��ース板21と主ベース板11との間の誤差が、粗 調整誤差E ₂ よりも大きくならないようにしておき、その 状態が変化しないようにしながら位置決め部 材24 ₁ ,24 ₂ 同士を近接させ、両位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ をガイド部16の側面に接触させる、位置決め� ��材24 ₁ ,24 ₂ によって、脚部12a~12dはガイド部16の部分を挟 む。

 支持部15は、主ベース板11の外周よりも内側 に位置しており、ガイド部16は、支持部15に� �く主ベース板11の外周から遠い部分が幅広で 、主ベース板11の外周に近い方が幅狭に形成� ��れている。位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ でガイド部16を挟んだ状態で位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ を台座27に固定すると、副載置台20a~20dは、後 退(後進)はできるが、脚部12a~12dに対して前進 も左右方向にも移動できなくなる。即ち、副 ベース板21は、主ベース板11に対し、前進方� �と左右方向の粗い位置合わせがされた状態� �なる。高さ方向も粗い位置合わせがされた� �態である。

 次いで、微調整機構32によって、副ベース� �21の高さ、傾き、主ベース板11に対する位置� ��向きを副載置台20a~20d毎に精密に調整する。
 微調整がされた状態での副ベース板21の主� �ース板11に対する理想的な位置からの誤差量 (絶対値)を微調整誤差E ₃ とすると、微調整誤差E ₃ はゼロに近く、E ₁ >E ₂ >E ₃ ≒0である。

 微調整機構32を固定し、微調整がされた� �態が変化しないようにした後、副載置台20a~2 0dの部材と、主載置台10の脚部12a~12dとの間に� ��結板(不図示)をネジ止め固定する等により� �図4に示すように、一旦副載置台20a~20dを主載 置台10に固定し、組み立てる。組み立てがで� ��ることが確認されると仮組立工程は終了す� ��。

 このような仮組立工程を仮設置場所で行� ��った後、仮組立場所に於いて主載置台10と� �載置台20a~20dの間の連結を解除する。この状� ��でも副ベース板21と主ベース板11とは位置合 わせがされた状態であるが、副載置台20a~20d� �後退させ、主載置台10と副載置台20a~20dを分� �すると、別々に搬送できる状態になる。

 このとき、位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ の台座27に対する固定は解除せず、位置決め� ��材24 ₁ ,24 ₂ 間の距離は変更されないようにし、また、粗 調整機構31や微調整機構32の(粗動ネジや微動� ��ジの)固定も維持し、粗調整と微調整がされ た状態が変化しないようにしておく。
 主載置台10と副載置台20a~20dはそれぞれ車両� ��に搭載し、陸路や海路等によって本設置場� ��まで搬送し、先ず、主載置台10を本設置場� �の所定位置に配置する。

 次いで、副載置台20a~20dを脚部12a~12dに向� �て配置し、図7に示すように、各副載置台20a~ 20dを、仮設置場所で組み立てられた状態が復 元できるように主載置台10に向け、各副載置� ��20a~20dの台座27をガイド部16の下に挿入しな� �ら副載置台20a~20dを前進させ、主載置台10に� �づける。

 ガイド部16の幅は、副載置台20a~20dの進行方� ��の奥方向に向かって拡がっているから、各� ��載置台20a~20dの台座27がガイド部16の下に入� �と、位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ の間にガイド部16が挿入され、位置決め部材2 4 ₁ ,24 ₂ とガイド部16とが接触すると、副載置台20a~20d の前進が停止する。

 仮設置場所と本設置場所の床面が水平であ� ��、位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ とガイド部16とが、仮設置場所で接触してい� ��位置と同じ位置で接触している場合には、� ��載置台20a~20dと主載置台10との仮組立場所で� ��位置関係が復元される。

 即ち、副ベース板21と主ベース板11は、粗 調整と微調整がされた状態と同じになり、副 載置台20a~20dの部材と、主載置台10の脚部12a~12 dとの間に連結板をネジ止め固定する等によ� �、副載置台20a~20dを主載置台10に連結固定す� �と、図4に示したのと同じく、組み立てられ� ��。

 但し、副載置台20a~20dと主載置台10との間の� ��結を一旦解除し、副載置台20a~20dと主載置台 10を分離して搬送したため、小さな位置合わ� ��誤差E ₄ が発生している場合がある。
 この位置合わせ誤差E ₄ は、搬送時の振動や温度変化と、主ベース板 11の表面を本設置場所で水平に再設定したこ� ��に起因しており、微調整誤差E ₃ と同程度の大きさである。

 位置合わせ誤差E ₄ を解消するためには、副載置台20a~20dを主載� �台10に連結固定する前に、先ず、主調整機構 によって主ベース板11の表面を水平にし、次� ��で、微調整機構32によって、副載置台20a~20d� ��上下方向の高さ、傾きと、主ベース板11に� �する位置と向きを微調整し、連結固定する� �、位置合わせ誤差E ₄ が小さくなり、主ベース板11と副ベース板21� �位置合わせ誤差を、搬送前の微調整誤差E ₃ と同程度の大きさにすることができる。

 図5(a)、(b)は、以上の手順によって本設置 場所に組み立てたステージ装置5の平面図と� �面図であり、主載置台10と副載置台20a~20d上� �亘って、レール14a,14bを真っ直ぐに敷設され� ��いる。

 同図では、吐出装置13は主載置台10の外側 位置の副載置台20b,20c上に位置している。こ� �位置では、印刷ヘッドのクリーニング等を� �なうことができる。また吐出装置13が基板上 にないので主載置台10上の基板7を交換するこ とができる。位置合わせの精度が高いため、 図6(a)、(b)に示すように、吐出装置13を、副載 置台20a~20d上と、主載置台10上の間で移動させ ても、振動が発生することはない。

 以上説明したように、本発明では、本設置� ��所で副載置台20a~20dと主載置台10を組み立て� ��前に、予め、当該ステージ装置5を製造した 工場内等の仮設置場所に於いて、副ベース板 21と主ベース板11とを位置合わせした状態で� �位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ とガイド部16との相対的な位置関係を固定し� ��副ベース板21と主ベース板11とを位置合わせ 状態を復元できるようにしている。

 従って、主載置台10と副載置台20a~20dを分離� ��て運搬しても、位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ とガイド部16との位置関係を復元すると、副� ��ース板21と主ベース板11との位置関係も復元 され、位置合わせの状態を再現することがで きる。

 上記実施例では、ガイド部16を板状の部材� �構成し、位置決め部材24 ₁ ,24 ₂ を、その側面に接触するローラで構成したが 、それに限定されるものではなく、副ベース 板21と主ベース板11との相対的な位置関係を� �現できる部材であればよい。ガイド部をロ� �ルで構成し、位置決め部材を板状部材で構� �することもできる。この場合、主載置台側� �ガイド部を、主載置台に対して移動可能に� �成し、副載置台の位置決め部材に接触させ� �固定しても良い。

 以上は、副ベース板21をそれぞれ有する4� ��の副載置台20a~20dを、4台の脚部12a~12dにそれ� ��れ1台ずつ連結したが、図8に示すように、� �本のレール14a,14bの一端部を一枚の副ベース� ��21で支持するように、幅広の副ベース板21を 、2台の副載置台20e,20fに設け、各副載置台20e, 20fを二個の脚部12a~12dに対して連結してもよ� �。この場合も、予め仮設置場所で副載置台20 e,20fの副ベース板21と主載置台10の主ベース板 11とを位置合わせしておき、本設置場所で位� ��合わせを復元する。

 また、上記実施例では、本発明のステージ� ��置5の主及び副載置台10、20a~20d上には、吐出 装置13が配置され、インクジェット装置とし� ��用いられていたが、本発明はそれに限定さ� ��るものではなく、本発明のステージ装置5に レーザ照射装置を配置し、加熱装置、検査装 置、又は露光装置として用いることもできる し、基板位置合わせ装置を配置し、アライナ ーとして用いることもできる。
 要するに、本発明のステージ装置5は、イン クジェット装置に限定されるものではない。
 また、 レール14a,14b上を移動可能な部材は� ��ントリに限定されず、例えば、基板等の処� ��対象物が載置される載置台であってもよい� ��