Title:
アライメントシステム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018517933
Kind Code:
A
Abstract:
アライメントマークの位置を決定するアライメントシステム、方法、及びリソグラフィ装置が提供される。アライメントシステムは、互いに対して約１８０度回転されたアライメントマークの２つの重なり合った画像を産出するように構成された第１のシステムと、これらの２つの重なり合った画像の強度照度の空間分布からアライメントマークの位置を決定するように構成された第２のシステムと、を備えている。【選択図】図２
Inventors:
Matthewsen, Simon, Geisbert, Josephus
Den bouff, allie, jeffrey
Polo, Alessandro
Tinemans, Patriceus, Aloysius, Jacobs
Sherekens, Adrianis, Johannes, Hendrickas
Willow onion Dust Gerdi, Ellahe
Corne, Willem, Marie, Julia, Marcel
Bogart, eric, willem
Whisman, Simon, Reynaldo
Den bouff, allie, jeffrey
Polo, Alessandro
Tinemans, Patriceus, Aloysius, Jacobs
Sherekens, Adrianis, Johannes, Hendrickas
Willow onion Dust Gerdi, Ellahe
Corne, Willem, Marie, Julia, Marcel
Bogart, eric, willem
Whisman, Simon, Reynaldo
Application Number:
JP2017559825A
Publication Date:
July 05, 2018
Filing Date:
March 14, 2016
Export Citation:
Assignee:
AS M Netherlands B.V.
International Classes:
G03F7/20; G01B11/00
Domestic Patent References:
| JPH07142328A | 1995-06-02 | |||
| JP2008532320A | 2008-08-14 | |||
| JPH08288197A | 1996-11-01 | |||
| JP2004148814A | 2004-05-27 | |||
| JP2005268237A | 2005-09-29 | |||
| JP2009177159A | 2009-08-06 |
Foreign References:
| WO2013152878A2 | 2013-10-17 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
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