Title:
Spectrometer
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6353999
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】検出精度の低下を抑制しつつ小型化を図ることができる分光器を提供する。【解決手段】分光器は、半導体材料からなる基板、基板に設けられた光通過部、及び基板に作り込まれた光検出部を有する光検出素子と、光検出素子と対向するベース壁部、及び、ベース壁部と一体的に形成された側壁部を有し、光検出部に電気的に接続された配線が設けられた支持体と、ベース壁部における空間側の表面に設けられた分光部と、を備える。光検出素子の少なくとも一部と側壁部の端面の少なくとも一部とは、ベース壁部の厚さ方向から見た場合に、互いに重なっている。光検出素子は、ベース壁部における空間側の表面と対向するように側壁部に固定されている。配線の第１端部は、側壁部に設けられ、光検出素子の端子に電気的に接続されている。配線の第２端部は、支持体における空間側とは反対側の表面に位置している。【選択図】図１
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Inventors:
Takafumi Nono
Katsumi Shibayama
Katsumi Shibayama
Application Number:
JP2018077029A
Publication Date:
July 04, 2018
Filing Date:
April 12, 2018
Export Citation:
Assignee:
Hamamatsu Photonics Co., Ltd.
International Classes:
G01J3/18
Domestic Patent References:
| JP2009210416A | ||||
| JP2012173208A | ||||
| JP2006145501A | ||||
| JP2006245359A |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiki Hasegawa
Yoshiki Kuroki
Kenichi Shibayama
Yoshiki Kuroki
Kenichi Shibayama