(第1実施形態)
 (情報記録再生装置)
 以下、本発明に係る第1実施形態を、図1か� �図7を参照して説明する。図1は、本発明に係 る情報記録再生装置1の第1実施形態を示す構� ��図である。なお、本実施形態の情報記録再� ��装置1は、垂直記録層を有するディスク(磁� �記録媒体)Dに対して、垂直記録方式で書き込 みを行う装置である。

 本実施形態の情報記録再生装置1は、図1� �示すように、キャリッジ11と、キャリッジ11� ��基端側から光電気複合配線33を介して光束� �供給するレーザ光源20と、キャリッジ11の先� ��側に支持されたヘッドジンバル(HGA)12と、ヘ ッドジンバルアセンブリ12をディスク面D1(デ� ��スクDの表面)に平行なXY方向に向けてスキャ ン移動させるアクチュエータ6と、ディスクD� ��所定の方向に向けて回転させるスピンドル� ��ータ7と、情報に応じて変調した電流をヘッ ドジンバルアセンブリ12のスライダ2に対して 供給する制御部5と、これら各構成品を内部� �収容するハウジング9とを備えている。

 ハウジング9は、アルミニウム等の金属材 料からなる上部開口部を有する箱型形状のも のであり、上面視四角形状の底部9aと、底部9 aの周縁において底部9aに対して鉛直方向立設 する周壁(不図示)とで構成されている。そし� ��、周壁に囲まれた内側には、上述した各構� ��品等を収容する凹部が形成される。なお、� ��1においては、説明を分かりやすくするため 、ハウジング9の周囲を取り囲む周壁を省略� �る。

 また、このハウジング9には、ハウジング 9の開口を塞ぐように図示しない蓋が着脱可� �に固定されるようになっている。底部9aの略 中心には、上記スピンドルモータ7が取り付� �られており、該スピンドルモータ7に中心孔� ��嵌め込むことでディスクDが着脱自在に固定 される。

 ディスクDの外側、つまり底部9aの隅角部� ��は、上記アクチュエータ6が取り付けられて いる。このアクチュエータ6には、ピボット� �10を中心にXY方向に対して回動可能なキャリ� ��ジ11が取り付けられている。

 このキャリッジ11は、基端部から先端部� �向けてディスク面D1に沿って延設されたアー ム部14と、アーム部14を基端部を介して片持� �状に支持する基部15とが、削り出し加工等に より一体形成されたものである。

 基部15は、直方体形状に形成されたもの� �あり、ピボット軸10まわりを回動可能に支持 されている。つまり、基部15はピボット軸10� �介してアクチュエータ6に連結されており、� ��のピボット軸10がキャリッジ11の回転中心と なっている。

 アーム部14は、基部15におけるアクチュエ ータ6が取り付けられた側面15aと反対側の側� �(隅角部の反対側の側面)15bにおいて、基部15� ��上面の面方向(XY方向)と平行に延出する平板 状のものであり、基部15の高さ方向(Z方向)に� ��って3枚延出している。具体的には、アーム 部14は、基端部から先端部に向かうにつれ先� ��るテーパ形状に形成されており、各アーム� ��14間に、ディスクDが挟み込まれるように配� ��されている。つまり、アーム部14とディス� �Dとが、互い違いになるように配されており� ��アクチュエータ6の駆動によってアーム部14� ��ディスクDの表面に平行な方向(XY方向)に移� �可能とされている。なお、キャリッジ11及び ヘッドジンバルアセンブリ12は、ディスクDの 回転停止時にアクチュエータ6の駆動によっ� �、ディスクD上から退避するようになってい� ��。

 ヘッドジンバルアセンブリ12は、図示し� �い近接場光発生素子(スポット光発生素子)を 有する近接場光ヘッドであるスライダ2に、� �ーザ光源20からの光束を導いて近接場光(ス� �ット光)を発生させ、該近接場光を利用して� ��ィスクDに各種情報を記録再生させるもので ある。なお、近接場光発生素子は、例えば、 光学的微小開口や、ナノメートルサイズに形 成された突起部等により構成されている。

 図2は、スライダ2を上向きにした状態で� �スペンション3をスライダ2側から見た斜視図 である。図3は、スライダ2を上向きにした状� ��でジンバル17を見た平面図である。図4は、� ��3のE-E’線に沿う断面図であり、スライダ2� �上向きにした状態におけるサスペンション3� ��端の断面図である。

 図2から図4に示すように、本実施形態の� �ッドジンバルアセンブリ12は、上記スライダ 2をディスクDから浮上させるサスペンション� ��して機能するものであり、スライダ2と、金 属性材料により薄い板状に形成され、ディス ク面D1に平行なXY方向に移動可能なサスペン� �ョン3と、スライダ2を、ディスク面D1に平行� ��且つ互いに直交する2軸(X軸、Y軸)回りに回� �自在な状態、即ち、2軸を中心として捻れる� ��とができるようにサスペンション3の下面に 固定させるジンバル手段16とを備えている。

 まず上記スライダ2は、ディスクDとサス� �ンション3との間に配置された状態で、サス� ��ンション3の下面に後述するジンバル17を挟� ��で支持されている。スライダ2は、先端側に 固定された再生素子(不図示)と、該再生素子� ��隣接して固定された記録素子(不図示)とを� �えている。また、スライダ2は、記録素子を� ��に挟んで再生素子の反対側に、レーザ光源2 0から出射された光束を集光させる図示しな� �集光レンズ(光学系)と、該集光レンズによっ て集光された光束から近接場光を発生させる 上記近接場光発生素子とを有している。つま り、スライダ2には、先端部に再生素子、記� �素子、近接場光発生素子が並んだ状態で配� �されている。

 また、スライダ2の下面は、ディスク面D1� ��対向する浮上面2aとなっている。この浮上� �2aは、回転するディスクDによって生じた空� �流の粘性から、浮上するための圧力を発生� �せる面であり、ABS(Air Bearing Surface)と呼ばれ ている。具体的には、スライダ2をディスク� �D1から離そうとする正圧とスライダ2をディ� �ク面D1に引き付けようとする負圧とを調整し て、スライダ2を最適な状態で浮上させるよ� �に設計されている。

 スライダ2は、この浮上面2aによってディ� ��ク面D1から浮上する力を受けているととも� �、サスペンション3によってディスクD側に押 さえ付けられる力を受けている。そしてスラ イダ2は、この両者の力のバランスによって� �ディスク面D1から浮上するようになっている 。

 上記サスペンション3は、上面視略四角状 に形成されたベースプレート22と、ベースプ� ��ート22の先端側にヒンジ板23を介して連結さ れた上面視略三角状のロードビーム24とで構� ��されている。

 ベースプレート22は、ステンレス等の厚� �の薄い金属材料によって構成されており、� �端側には厚さ方向に貫通する開口22aが形成� �れている。そして、この開口22aを介してベ� �スプレート22がアーム部14の先端に固定され� ��ようになっている。ベースプレート22の下� �には、ステンレス等の金属材料により構成� �れたシート状のヒンジ板23が配置されている 。このヒンジ板23は、ベースプレート22の下� �の全面に亘って形成された平板状のもので� �り、その先端部分はベースプレート22の先端 からベースプレート22の長手方向に沿って延� ��する延出部23aとして形成されている。延出� ��23aは、ヒンジ板23の幅方向両端部から2本延� ��しており、その先端部分には幅方向内側、� ��まり互いの延出部23aに向かう方向に幅が拡� ��する拡大部23bが形成されている。この拡大� ��23bの上面には、ロードビーム24が連結され� �いる。

 ロードビーム24は、ベースプレート22と同 様にステンレス等の厚みの薄い金属材料によ って構成されており、その基端がベースプレ ート22の先端との間に間隙を有した状態でヒ� ��ジ板23に連結されている。これにより、サ� �ペンション3はベースプレート22とロードビ� �ム24との間を中心に屈曲して、ディスク面D1� ��垂直なZ方向に向けて撓み易くなっている。

 サスペンション3上には、フレクシャ25が� ��けられている。フレクシャ25は、ステンレ� �等の金属材料により構成されたシート状の� �のであり、シート状に形成されることで厚� �方向に撓み変形可能に構成されている。フ� �クシャ25は、ロードビーム24の先端側に固定� ��れ、外形が上面視略五角形状に形成された� ��ンバル17と、ジンバル17より幅狭に形成され 、ジンバル17の基端からサスペンション3上に 沿って延在する支持体18とで構成されている� ��

 図3,4に示すように、ジンバル17は、中間� �近から先端にかけてディスク面D1に向けて厚 さ方向に僅かながら反るように形成されてい る。そして、この反りが加わった先端側がロ ードビーム24に接触しないように、基端側か� ��略中間付近にかけてロードビーム24に固定� �れている。

 また、この浮いた状態のジンバル17の先� �側には、周囲がコ形状に刳り貫かれた切欠� �部26が形成されており、この切欠き部26に囲� ��れた部分には連結部17aによって片持ち状に� ��持されたパッド部(舌片部)17bが形成されて� �る。つまり、このパッド部17bは、連結部17a� �よってジンバル17の先端側から基端側に向け て張出し形成されており、その周囲に切欠き 部26を備えている。これにより、パッド部17b� ��ジンバル17の厚さ方向に撓みやすくなって� �り、このパッド部17bのみがサスペンション3� ��下面と平行になるように角度調整されてい� ��。そして、このパッド部17b上に上記スライ� ��2が載置固定されている。つまり、スライダ 2は、パッド部17bを介してロードビーム24にぶ ら下がった状態となっている。

 また、ロードビーム24の先端には、パッ� �部17b及びスライダ2の略中心に向かって突出� ��る突起部19が形成されている。この突起部19 の先端は、丸みを帯びた状態となっている。 そして突起部19は、スライダ2がディスクDか� �受ける風圧によりロードビーム24側に浮上し たときに、パッド部17bの表面(上面)に点接触� ��るようになっている。この浮上する力は、� ��起部19からロードビーム24に伝わって、該ロ ードビーム24を撓ませるように作用する。ま� ��、ディスクDのうねり等により、スライダ2� �XY方向に向かう風圧が加わったときに、スラ イダ2及びパッド部17bは、突起部19を中心とし てX軸及びY軸の2軸回りに捩じれるようになっ ている。これにより、ディスクDのうねりに� �るZ方向の変位(ディスク面D1に略直交する方� ��への変位)を吸収することができ、スライダ 2の姿勢が安定するようになっている。なお� �これら突起部19とパッド部17bを有するジンバ ル17とが、ジンバル手段16を構成している。

 図2に示す支持体18は、ジンバル17に一体� �成されたシート状のものであり、サスペン� �ョン3上をアーム部14に向かって延設されて� �る。つまり、支持体18は、サスペンション3� �変形した際にサスペンション3の変形に追従� ��るように構成されている。支持体18は、ア� �ム部14上から側面に回りこんで、アーム部14� ��基部15に至るまで引き回されている。

 図5は、キャリッジ11の基部15に取り付け� �れたターミナル基板30の平面図である。

 図1,5に示すように、キャリッジ11の基部15 における側面15cには、ターミナル基板30が配� ��されている。このターミナル基板30は、ハ� �ジング9に設けられた制御部5とスライダ2と� �電気的に接続する際の中継点となるもので� �り、その表面には、各種制御回路(不図示)が 形成されている。制御部5とターミナル基板30 とは可撓性を有するフラットケーブル4によ� �電気的に接続されている一方、ターミナル� �板30とスライダ2とは、電気配線31により接続 されている。電気配線31は、キャリッジ11毎� �設けられたスライダ2の数に対応して3組設け られており、フラットケーブル4を介して制� �部5から出力された信号が、電気配線31を介� �てスライダ2に出力されるようになっている� ��

 また、ターミナル基板30上には、スライ� �2の集光レンズに向けて光束を供給する上記� ��ーザ光源20が配置されている。レーザ光源20 は、フラットケーブル4を介して制御部5から� ��力された信号を受信し、この信号に基づい� ��光束を出射するものであり、各アーム部14� �設けられたスライダ2の数に対応して基部15� �高さ方向(Z方向)に沿って3個配列されている� ��各レーザ光源20の出射側には、各レーザ光� �20から出射された光束をスライダ2の集光レ� �ズまで導く光導波路32が接続されている。

 図6は、図3のA-A’線に沿う断面図であり� �図7は図3のB-B’線に沿う断面図である。

 図3及び図5から図7に示すように、各スラ� ��ダ2に対応する1本の光導波路32と1組の電気� �線31とは、レーザ光源20とスライダ2との間に おいて、その基端側から先端に至るまで一体 的に形成された光電気複合配線33として構成� ��れている。この光電気複合配線33は、ター� �ナル基板30の表面からアーム部14の側面を通� ��て、アーム部14上に引き回されている。具� �的には、光電気複合配線33は、アーム部14及� ��サスペンション3上において、フレクシャ25� ��上述した支持体18(図2参照)上に配置されて� �り、支持体18を間に挟んだ状態でサスペンシ ョン3の先端まで引き回されている。このよ� �に、光電気複合配線33が撓み変形可能な支持 体18上に配置されているため、スライダ2の姿 勢変化時やサスペンション3の変形時等には� �支持体18の姿勢変化に追従するように光電気 複合配線33も追従するように変形する。これ� ��より、光電気複合配線33の断線等を防ぐこ� �ができる。

 光電気複合配線33を構成する上記光導波� �32は、厚さが例えば3~10μmで形成され、レー� �光源20から出射された光束を全反射条件で導 くコア35と、厚さが例えば数十μmで形成され� ��コア35の屈折率より低い屈折率の材料から� �り、コア35に密着してコア35を封止するクラ� ��ド34とを有している。そして、レーザ光源20 から出射された光束はコア35とクラッド34と� �間の屈折率の違いにより全反射条件でスラ� �ダ2の集光レンズまで導かれるようになって� ��る。

 なお、クラッド34及びコア35として使用さ れる材料の組み合わせの一例を記載すると、 例えばPMMA(メタクリル酸メチル樹脂)により、 厚さが3~10μmでコア35を形成し、フッ素含有重 合体により、厚さが数十μmでクラッド34を形� ��する組み合わせが考えられる。また、コア3 5及びクラッド34をともにエポキシ樹脂(例え� �、コア屈折率1.522~1.523、クラッド屈折率1.518~ 1.519)で構成したり、フッ素化ポリイミドで構 成したりすることも可能である。また、コア 35とクラッド34との屈折率差が大きいほど、� �ア35内に光束を閉じ込める力が大きくなるの で、コア35とクラッド34とを構成する樹脂材� �の配合等を調整して、両者の屈折率差を大� �くすることが好ましい。例えば、フッ素化� �リイミドの場合、フッ素含有量を調整した� �、放射光等のエネルギー照射によって、屈� �率を制御することができる。

 また、電気配線31は、アルミニウムや銅� �からなり、クラッド34内にコア35とともに閉� ��込められている。

 図6及び図7に示すように、光電気複合配� �33は、クラッド34の幅方向(YZ平面)における断 面視中心に光導波路32のコア35が配置され、� �導波路32の両側方から光導波路32を挟むよう� ��電気配線31が2本ずつ配されている。つまり� ��光電気複合配線33は、コア35を中心にして対 称に構成されている。このように、コア35と� ��気配線31とが、ともにクラッド34により封止 されることで、光導波路32と電気配線31と一� �的に形成された光電気複合配線33として構成 されている。

 ここで、図3に示すように、光電気複合配 線33は、サスペンション3の先端、具体的には ジンバル17の中間位置において電気配線31と� �導波路32とに分岐しており、この分岐地点C� �らスライダ2に至るまでの光導波路32の曲率� �径が電気配線31の曲率半径よりも大きくなっ ている。

 具体的には、光導波路32は、光電気複合� �線33の先端側における分岐地点Cからジンバ� �17の長手方向に沿って延在しており、ジンバ ル17の切欠き部26を跨いでスライダ2の基端側� ��直接接続されている。光導波路32は、光電� �複合配線33の分岐地点Cにおいてジンバル17の 下面から離間されており、分岐地点Cからス� �イダ2の基端側に向かうにつれ、パッド部17b� ��ジンバル17との間を架け渡すように僅かな� �ら浮いた状態で延在している。つまり、ジ� �バル17の下面において、光導波路32は略直線� ��(曲率半径が略無限大)に延在した状態でス� �イダ2の基端面側に引き回されている。スラ� ��ダ2の基端面側に引き回された光導波路32は� ��スライダ2内で集光レンズを介してスライダ 2の先端面側に設けられた近接場光発生素子� �接続されている。

 一方、分岐地点Cにおいて、電気配線31は� ��ンバル17の外周部分に向けて屈曲されてお� �、ジンバル17の外周部分、つまり切欠き部26� ��外側から引き回されている。そして、切欠� ��部26の外側から引き回された電気配線31は、 連結部17a上を通ってスライダ2の先端面側に� �続されている。すなわち、電気配線31は、ス ライダ2の先端面側に設けられた上記再生素� �や記録素子に対して、スライダ2の外部から� ��接接続されている。

 ところで、上述したようにジンバル17の� �端側から基端側に向かってパッド部17bが張� �し形成されているので、ジンバル17上に沿っ てジンバル17の先端側、つまり切欠き部26の� �側からから回り込むように光導波路32をスラ イダ2に引き回すと、光導波路32の屈曲が大き くなる。

 これに対して本実施形態では、切欠き部2 6を跨いでジンバル17の基端側から光導波路32� ��スライダ2に引き回すことで、パッド部17b上 に設けられたスライダ2に光導波路32を直接接 続することができる。これにより、光電気複 合配線33の分岐地点Cからスライダ2まで最短� �離で引き回すことが可能になり、光導波路32 を可能な限り屈曲させずにスライダ2へ引き� �すことができる。一方、電気配線31は屈曲し ても問題ないので、切欠き部26の外側から電� ��配線31をスライダ2に引き回すことで、電気� ��線31をスライダ2の記録素子および再生素子� ��対して直接接続することができる。

 なお、光電気複合配線33のうち、光導波� �32の構成材料に上述したような樹脂材料を用 いることで、光電気複合配線33を半導体プロ� ��スにより製造することが可能である。その� ��電気複合配線33をフレクシャ25上に形成し、 フレクシャ25をサスペンション3及びキャリッ ジ11に取り付ける。

 半導体プロセスを利用した本実施形態の� ��電気複合配線33の製造方法について、より� �体的に説明する。まずスライダ2の配置領域� ��び切欠き部26の形成領域に、樹脂材料等か� �なる犠牲層を塗布しておく。次に、フレク� �ャ25となる板材上に犠牲層を覆うようにして クラッド34の構成材料を塗布した後、フォト� ��ソグラフィ技術等によりパターニングする� ��続いて、クラッド34上にスパッタ法、CVD法� �により電気配線31の構成材料を成膜し、複数 の電気配線31としてパターニングする。そし� ��、電気配線31の間、つまりクラッド34のYZ平� ��における中心にコア35の構成材料を塗布し� �後、パターニングし、再びクラッド34の構成 材料を塗布する。その後、パターニングする ことで、本実施形態の光電気複合配線33を形� ��することが可能である。

 そして、スライダ2の配置領域及び切欠き 部26の形成領域に形成された犠牲層をエッチ� ��グ等により除去した後、プレス加工等によ� ��フレクシャ25の形状に打ち抜く。この時、� �欠き部26の形成領域も打ち抜くことで、切欠 き部26とパッド部17bとの間で光導波路32が浮� �た状態となる。その後、光電気複合配線33が 形成されたフレクシャ25をサスペンション3及 びキャリッジ11に取り付ける。

 このように、光導波路32と電気配線31とを 樹脂材料からなるクラッド34により一体的に� ��成することで、これらを半導体プロセスに� ��一括して形成することができる。そして、� ��導体プロセスを利用して光電気複合配線33� �製造することで、光導波路32と電気配線31と� ��別体で形成する場合に比べて、量産の容易� ��から製造効率を向上させた上で、加工精度� ��向上させることができる。また、製造コス� ��の低下を図ることができる。

 次に、このように構成された情報記録再� ��装置1により、ディスクDに各種の情報を記� �再生する手順について以下に説明する。

 まず、スピンドルモータ7を駆動させてデ ィスクDを所定方向に回転させる。次いで、� �クチュエータ6を作動させて、ピボット軸10� �回転中心としてキャリッジ11を回動させ、キ ャリッジ11を介してヘッドジンバルアセンブ� ��12をXY方向にスキャンさせる。これにより、 ディスクD上の所望する位置にスライダ2を位� ��させることができる。

 ここで、キャリッジ11の基部15が、ピボッ ト軸10まわりを回動可能に構成されているた� ��、アーム部14は、ピボット軸10を回転中心と してディスク面D1に平行な方向に移動する。� ��の時、基部15のターミナル基板30上にレーザ 光源20を設けることで、スライダ2にレーザ光 源20搭載した場合に比べて、スライダ2の移動 時においてキャリッジ11に作用するモーメン� ��が小さい。したがって、トラッキングの精� ��を維持することができる。また、ターミナ� ��基板30は、制御部5とスライダ2とを電気的に 接続する際の中継点となるものであり、電気 配線31はターミナル基板30を基点としてスラ� �ダ2に引き回される。つまり、ターミナル基� ��30上にレーザ光源20を配置することで、光導 波路32と電気配線31との基端部同士が近接す� �ことになり、光電気複合配線33を容易に形成 することができる。

 次いで、レーザ光源20から光束を光導波� �32(光電気複合配線33)に入射させて、光束を� �ライダ2に導く。本実施形態の情報記録再生� ��置1にあっては、スライダ2の集光レンズに� �束を供給するレーザ光源20が、スライダ2の� �部15におけるターミナル基板30上に設けられ� ��いる。この場合、レーザ光源20から出射さ� �た光束は、光電気複合配線33におけるコア35� ��一端側からコア35内に導入され、コア35とク ラッド34との界面で全反射を繰り返しながら� ��ライダ2に向かって伝播される。この時、コ ア35の内部を伝播される光束は、スライダ2内 で集光レンズによって集光され、スポットサ イズが徐々に絞り込まれる。これにより、近 接場光発生素子の周囲には、近接場光が滲み 出るように発生する。また、コア35はクラッ� ��34が密着した状態で封止されているので、� �播している光束が途中でコア35の外部に漏れ ることがない。よって、導入された光束を無 駄にすることなく効率良く近接場光にするこ とができる。

 そして、近接場光が入射されたディスクD は、この近接場光によって局所的に加熱され て一時的に保磁力が低下する。一方、制御部 5によってスライダ2の記録素子に電流が供給� ��れると、電磁石の原理によりディスクDに対 して垂直方向の記録磁界を発生させることが できる。その結果、近接場光と記録素子で発 生した記録磁界とを協働させたハイブリッド 磁気記録方式により情報の記録を行うことが できる。

 これに対して、ディスクDに記録された情 報を再生する場合には、記録素子に隣接して 固定されている再生素子が、ディスクDから� �れ出ている磁界を受けて、その大きさに応� �て電気抵抗が変化する。よって、再生素子� �電圧が変化する。これにより制御部5は、デ� ��スクDから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化 として検出することができる。そして制御部 5は、この電圧の変化から信号の再生を行う� �とで、情報の再生を行うことができる。

 このように、スライダ2を利用してディス クDに対して各種の情報を記録再生すること� �できる。

 ここで、スライダ2は、サスペンション3� �よって支持されていると共に所定の力でデ� �スクD側に押さえ付けられている。また、こ� ��と同時にスライダ2は、浮上面2aがディスクD に対向しているので、回転するディスクDに� �って生じる風圧の影響を受けて浮上する力� �受けている。この両者の力のバランスによ� �て、スライダ2はディスクD上から離間した位 置に浮遊している状態となっている。

 この際スライダ2は、風圧を受けてサスペ ンション3側に押されるので、スライダ2を固� ��するジンバル17のパッド部17bとサスペンシ� �ン3に形成された突起部19とが、点接触した� �態となる。そして、この浮上する力は、突� �部19を介してサスペンション3に伝わり、該� �スペンション3をディスク面D1に垂直なZ方向� ��向けて撓ませるように作用する。これによ� ��、上述したようにスライダ2は浮上する。な お、サスペンション3には、ベースプレート22 とロードビーム24とがヒンジ板23を介して連� �されているため、ベースプレート22とロード ビーム24との間を中心に撓み易くなっている� ��

 またスライダ2は、ディスクDのうねりに� �因して発生する風圧(XY方向に向かう風圧)を� ��けたとしても、ジンバル手段16、即ち、突� �部19の先端に点接触したパッド部17bを介して XY軸回りに捩じれるようになっている。その� ��め、うねりによるZ方向への変位を吸収する ことができ、浮上している際のスライダ2の� �勢を安定にすることができる。

 このように、本実施形態の情報記録再生� ��置1では、光導波路32と電気配線31とが光電� �複合配線33として一体的に形成されている構 成とした。

 この構成によれば、光導波路32と電気配� �31とが光電気複合配線33として一体的に形成� ��れているため、光導波路32及び電気配線31を 同時に取り付けることができ、製造効率の低 下を防止することができる。つまり、スライ ダ2から離れた位置にレーザ光源20を配置した 場合でも、光電気複合配線33をスライダ2へ容 易に引き回すことができる。

 また、光導波路32と電気配線31とを一体的 に形成しているため、従来のように配線毎の 引き回しのレイアウトを考慮する必要がなく 、光電気複合配線33の取り付けの自由度を向� ��させることができる。よって、光電気複合� ��線33のレイアウト性を向上させることがで� �るため、スライダ2から離れた位置、上述し� ��ようにターミナル基板30上にレーザ光源20を 配置した場合でも、光電気複合配線33をスラ� ��ダ2へ容易に引き回すことができる。

 これにより、光束の供給時にレーザ光源2 0から発生する熱がスライダ2まで伝達する虞� ��極めて少なく、レーザ光源20から発生する� �の影響を抑えることができる。

 ところで、レーザ光源20を制御部5に配置� ��た場合には、フラットケーブル4に光導波路 を設けることになる。このフラットケーブル 4が屈曲変形すると、導光損失が大きくなる� �いう問題がある。本実施形態では、キャリ� �ジ11の基部15にレーザ光源20を設けるため、� �ラットケーブル4に光導波路を設ける必要が� ��いので、導光損失を抑制することができる� ��

 さらに、本実施形態においては、上述し� ��ように光電気複合配線33のレイアウト性を� �上することができるため、光電気複合配線33 の屈曲が小さい。これにより、光電気複合配 線33の光導波路32内を通過する光束の導光損� �を低減することができ、光伝搬効率を維持� �ることができる。

 特に、本実施形態の情報記録再生装置1で は、光電気複合配線33の先端側が、光導波路3 2と電気配線31とが分岐してスライダ2へ引き� �されている構成とした。

 この構成によれば、光電気複合配線33を� �端側で再び分岐させることで、光導波路32と 電気配線31とをそれぞれ異なる経路でスライ� ��2に引き回すことができるため、スライダ2� �の引き回し経路が制限されることがない。� �まり、光導波路32と電気配線31とを一体形成� ��た状態でスライダ2に引き回す構成に比べて 、光導波路32と電気配線31の引き回しの自由� �を向上させることができるため、各配線(光� ��波路32及び電気配線31)に対して最適な引き� �し経路を選択することができる。この場合� �光導波路32の曲率半径を電気配線31の曲率半� ��よりも大きく設定することで、光導波路32� �可能な限り屈曲させずにスライダ2へ引き回� ��ことができる。そのため、光導波路32内を� �過する光束の導光損失を低減することがで� �、光伝搬効率を維持することができる。

 したがって、製造効率の低下を防止した� ��で、レーザ光源20をスライダ2から離間配置� ��ることが可能になり、レーザ光源20から発� �する熱の影響を抑えるとともに、光の伝播� �率を向上させることができる。そして、ス� �イダ2の熱膨張、反り等の影響によりスライ� ��2が変形するのを防止することができる。ま た、スライダ2の再生素子の特性を維持する� �とができる。

 ここで、コア35と電気配線31とを同一のク ラッド34により封止することで、光導波路32� �電気配線31とを別体で形成する場合に比べて 、コア35と各電器配線31との間や各電器配線31 同士の間の間隔を縮小することができる。ま た、電器配線31毎に絶縁材等を被覆する必要� ��ないため、光電気複合配線33の小型軽量化� �図ることができる。また、クラッド34により 電気配線31間の絶縁性を確保することができ� ��ため、各電気配線31の引き回しが容易にな� �。

 さらに、クラッド34の断面における略中� �にコア35を配置するとともに、コア35を中心� ��して電気配線31を対称に配置することで、� �数の電気配線31がコア35の両側方に分散する� ��とになる。これにより、コア35の片側のみ� �電気配線31をまとめた場合に比べて、電気配 線31の引き回しスペースを確保することがで� ��るため、各電器配線31間のレイアウト性を� �上させることができる。したがって、コア35 と電気配線31とのスライダ2への接続が容易に なるとともに、光電気複合配線33からスライ� ��2に作用する力が均等になる。

 また、光導波路32と電気配線31とを分岐さ せてスライダ2に引き回すことで、光導波路32 と電気配線31とからスライダ2に作用する力が 集中しない。

 したがって、光電気複合配線33(光導波路32� �び電気配線31)がスライダ2の姿勢制御の妨げ� ��なることを防ぎ、スライダ2の浮上特性やト ラッキングの精度等に与える影響が少ない。
(第2実施形態)
 次に、本発明の第2実施形態について説明す る。本実施形態では、光電気複合配線の分岐 地点からスライダまでの間における光導波路 32の引き回し経路について、上述した第1実施 形態と相違している。なお、以下の説明では 、上述した第1実施形態と同一の構成には同� �の符号を付し、説明は省略する。

 図8は、第2実施形態におけるジンバルの� �面図であり、図9は図8のF-F’線に沿う断面図 である。

 図8に示すように、ジンバル17及びロード� ��ーム24には、ジンバル17及びロードビーム24� ��厚さ方向に貫通する貫通孔101が形成されて� ��る。この貫通孔101は、光電気複合配線33の� �岐地点Cよりジンバル117の先端側に形成され� ��おり、ジンバル17及びロードビーム24を重ね 合わせた状態で形成されている。また、ジン バル17における連結部17aとパッド部17bとの付� ��根部分には、ジンバル17の厚さ方向に貫通� �る貫通孔102が形成されている。

 ここで、光電気複合配線33の分岐地点Cか� ��分岐した光導波路132は、貫通孔101内を通っ� ��ジンバル17及びロードビーム24を挟んで、ス ライダ2の反対側に引き回されている。そし� �、貫通孔101内を通った光導波路132は、ロー� �ビーム124の長手方向に沿って延設され、貫� �孔102内に挿入されている。貫通孔102内に挿� �された光導波路132は、スライダ2の浮上面2a� �は反対側からスライダ2に直接接続されてい� ��。つまり、光電気複合配線33の分岐地点Cか� ��分岐した光導波路132は、貫通孔101,102内を通 って、スライダ2の浮上面2aの反対側の面から 回り込むようにしてスライダ2に接続されて� �る。

 このように、本実施形態によれば、貫通� ��101,102に光導波路132を通すことで、スライダ 2の先端側に光導波路132を直接引き回すこと� �可能になり、上述した第1実施形態と同様の� ��果を奏することができる。

 なお、本発明の技術範囲は、上述した実� ��形態に限定されるものではなく、本発明の� ��旨を逸脱しない範囲において、上述した実� ��形態に種々の変更を加えたものを含む。す� ��わち、上述した実施形態で挙げた構成等は� ��んの一例に過ぎず、適宜変更が可能である� ��

 例えば、図10に示すように、光電気複合� �線33とフレクシャ25との間に下地膜50を設け� �ような構成も可能である。この下地膜50は、 ポリイミド等の絶縁性を有する材料からなり 、これにより電気配線31とフレクシャ25との� �の絶縁性をより確実に確保することができ� �。

 また、上述の実施形態では、図11に示す� �うに、光導波路32を中心として電気配線31を� ��称に配置する場合について説明したが、電� ��配線31と光導波路32とのレイアウトは適宜設 計変更が可能である。例えば、図9に示すよ� �に、クラッド34の幅方向(YZ平面)における一� �側から光導波路32と電気配線31とが順に並ぶ� ��うに配置することも可能である。

 さらに、上述した実施形態では、図6に示 すように、光導波路32と電気配線31とを同一� �料のクラッド34により封止する構成について 説明したが、光導波路32と電気配線31とが一� �的に形成されていれば、コア35と電気配線31� ��をそれぞれ異なる構成材料により封止して� ��構わない。この構成によれば、コア35と電� �配線31とをそれぞれ異なる構成材料により封 止することができるため、コア35と電気配線3 1とを封止するための条件に最適な構成材料� �自由に選択することができる。

 また、上述した実施形態では、光電気複� ��配線33の分岐地点Cから2本の電気配線31を分� ��させる構成について説明したが、これに限� ��ず電気配線31を1本や3本以上分岐させてもよ い。

 また、上述の実施形態では、スライダを� ��上させた空気浮上タイプの情報記録再生装� ��を例に挙げて説明したが、この場合に限ら� ��ず、ディスク面に対向配置されていればデ� ��スクとスライダとが接触していても構わな� ��。つまり、本発明のスライダは、コンタク� ��スライダタイプのスライダであっても構わ� ��い。この場合であっても、同様の作用効果� ��奏することができる。

 また、上述の実施形態では、アーム部の� ��面側のみにヘッドジンバルアセンブリが設� ��られている構成について説明したが、各デ� ��スク間に差し入れられるアーム部の両面に� ��各ディスクに対向するようにそれぞれヘッ� ��ジンバルアセンブリを設けるような構成も� ��能である。この場合、アーム部の両面側に� ��けられたヘッドジンバルアセンブリの各ス� ��イダにより、各スライダに対向するディス� ��面の情報の記録再生を行うことができる。� ��まり、1つのアーム部により2枚のディスク� �情報を記録再生することができるため、情� �記録再生装置の記録容量の増加及び装置の� �型化を図ることができる。