以下、図面を参照し、本発明の実施の形態� ��ついて説明する。
(液体噴射記録装置)
 図1は、本発明の実施の形態に係るインクジ ェット記録装置(液体噴射記録装置)1を示す斜 視図であり、図2は、インクジェット記録装� �1の概略構成図である。このインクジェット� ��録装置1は、所定のパーソナルコンピュータ に接続されて、このパーソナルコンピュータ から送られた印刷データに基づいて、インク (液体)Iを吐出(噴射)して箱体Dに印刷を施すも のである。インクジェット記録装置1は、箱� �Dを一方向に搬送するベルトコンベア2と、複 数のインクジェットヘッド10を備えるインク� ��出部3と、図2に示すように、インクジェッ� �ヘッド10にインク(第一液体)I及びクリーニン グ用洗浄液(第二液体)Wを供給するインク供給 部5とを備えている。

 インク吐出部3は、箱体DにインクIを吐出� ��るものであり、図1に示すように、直方体形 状の筐体6を四つ有し、これら筐体6内にイン� ��ジェットヘッド10がそれぞれ内装されてい� �(図2参照)。各筐体6は、ベルトコンベア2の幅 方向両側にそれぞれインク吐出面6aをベルト� ��ンベア2側に向けた状態で二つずつ配設され ている。ベルトコンベア2の幅方向両側にそ� �ぞれ配置された二つの筐体6は上下方向に並� ��され、それぞれ支持部材7によって支持され ている。なお、筐体6のインク吐出面6aには、 開口部6bが形成されている。

(液体噴射ヘッド)
 図3は、インクジェットヘッド10の正面図で� ��り、図4は、右側面から見たインクジェット ヘッド10の概略構成図であり、図5は、図4のI- I線断面図である。
 インクジェットヘッド10は、図4に示すよう� ��、ケース11と、液体供給系12と、ヘッドチッ プ20と、駆動回路基板14と(図5参照)、吸引流� �15とを備えている。

 ケース11は、正面11aに露出孔11bが形成さ� �た薄箱形状のものであり、厚さ方向を水平� �向に向けて、また、露出孔11bを開口部6bに向 けて筐体6内に固定されている。このケース11 は、図4及び図5に示すように、背面11cにおい� ��内部空間に連通する貫通孔が形成されてお� ��、具体的には、高さ方向略中間の位置にイ� ��ク注入孔11dが、下部にインク吸引孔11eが形� ��されている。このケース11は、その内部空� �においてケース11に立設して固定されたベー スプレート11fを備えると共にインクジェット ヘッド10の各構成物品を収容している。

 液体供給系12は、インク注入孔11dを介して� �ンク供給部5と連通したものであり、ダンパ� ��17と、インク流路基板18とから概略構成され ている。
 ダンパー17は、図5に示すように、インクIの 圧力変動を調整するためのものであり、イン クIを貯留する貯留室17aを備えている。この� �ンパー17は、ベースプレート11fに固定されて おり、インク注入孔11dと管部材17dとを介して 接続されるインク取込孔17bと、インク流路基 板18と管部材17eを介して接続されるインク流� ��孔17cとを備えている。
 インク流路基板18は、図4に示すように、縦� ��に形成された部材であって、図5に示すよう に、その内部にダンパー17と連通してインクI が流通する流通路18aが形成された部材であり 、ヘッドチップ20に取り付けられている。

 駆動回路基板14は、図5に示すように、図� ��しない制御回路と、フレキシブル基板14aと� ��備えている。この駆動回路基板14は、フレ� �シブル基板14aの一端が後述の板状電極28に、 他端が駆動回路基板14上の図示しない制御回� ��に接合されることで、印刷パターンに応じ� ��セラミック圧電プレート21に電圧を印加す� �。この駆動回路基板14は、ベースプレート11f に固定されている。

 ヘッドチップ20は、図6に示すように、セ� ��ミック圧電プレート(アクチュエータ)21と、 インク室プレート22と、ノズル体23と、ノズ� �ガード24とを備えている。

 セラミック圧電プレート21は、PZT(チタン� ��ジルコン酸鉛)からなる略矩形板状の部材で あり、図6及び図7に示すように、二つの板面2 1a、21bのうち一方の板面21aに複数の長溝26が� �設されて、各長溝26が側壁27で隔離されてい� ��。

 長溝(圧力発生室)26は、図6に示すように、� �ラミック圧電プレート21の短手方向に延設さ れており、セラミック圧電プレート21の長手� ��向の全長にわたって複数並設されている。� ��長溝26は、図7に示すように、圧電アクチュ� ��ータの厚さ方向に沿った断面が矩形状に形� ��されている。また、各長溝26の底面は、セ� �ミック圧電プレート21の前側面21cから短手方 向の略中央部まで延びる前方平坦面26aと、こ の前方平坦面26aの後部から後側面側に向かっ て溝深さが漸次浅くなる傾斜面26bと、この傾 斜面26bの後部から後側面側に向かって延びる 後方平坦面26cとからなっている。
 各長溝26は、円盤状のダイスカッターによ� �形成されている。

 側壁27は、セラミック圧電プレート21の長 手方向に亘って複数並設されて、長溝26をそ� ��ぞれ区分けしている。これら各側壁27の両� �面における長溝26開口側(板面21a側)には、セ� ��ミック圧電プレート21の短手方向に亘って� �動電圧印加用の板状電極28が延設されている 。この板状電極28は、公知の斜め方向からの� ��着により形成されている。この板状電極28� �、上述したフレキシブル基板14aが接合され� �いる。

 このようなセラミック圧電プレート21は� �図5に示すように、板面21bのうち後側面側が� ��ースプレート11fの縁部に固定されており、� ��溝26の延在方向を露出孔11bに向けている。

 図6及び図7に戻って、インク室プレート22は 、セラミック圧電プレート21と同様に略矩形� ��状の部材であり、セラミック圧電プレート2 1の寸法と比較して、長手方向の寸法が略同� �に、短手方向の寸法が短く形成されている� �このインク室プレート22は、厚さ方向に貫通 し、かつ、インク室プレート22の長手方向に� ��って形成された開放孔22cを備えている。
 なお、このインク室プレート22は、セラミ� �クプレート、金属プレートなどで形成する� �とができるが、セラミック圧電プレート21と の接合後の変形を考えて、熱膨張率の近似し たセラミックプレートを用いている。

 このようなインク室プレート22は、図6に示� ��ように、前側面22aがセラミック圧電プレー� ��21の前側面21cと同一平面となる突合わせ面25 aを構成するように、板面21a側からセラミッ� �圧電プレート21に接合されている。この接合 状態においては、開放孔22cがセラミック圧電 プレート21の複数の長溝26を全体にわたって� �出させて、全ての長溝26を外方に開放し、各 長溝26がそれぞれ連通した状態になっている� ��
 インク室プレート22には、図5に示すように� ��開放孔22cを覆うようにしてインク流路基板1 8が装着され、インク流路基板18の流通路18aと 各長溝26とが連通している。

 ノズル体23は、図5に示すように、ノズルプ� ��ート31がノズルキャップ32に貼着されること により構成されている。
 ノズルプレート31は、図6に示すように、ポ� ��イミドからなる薄板状、かつ、細長状の部� ��であり、厚さ方向に貫通する複数のノズル� ��31aが列設してノズル列31cを構成している。� ��り具体的には、長溝26と同数のノズル孔31a� �、ノズルプレート31の短手方向中間の位置に おいて同一線上に、かつ、長溝26と同一の間� ��で形成されている。
 ノズルプレート31の二つの板面のうち、イ� �クIを吐出するノズル吐出口(ノズル噴出口)31 bが開口する板面には、インクの付着等を防� �するための撥水性を有する撥水膜が塗布さ� �ており、他方の板面は上記突合わせ面25a及� �ノズルキャップ32との接合面とされている。
 なお、ノズル孔31aは、エキシマレーザ装置� ��用いて形成されている。

 ノズルキャップ32は、枠板状の部材が有す� �二つの枠面のうち一方の枠面の外周縁を削� �取ったような形状の部材であって、薄板状� �なった外枠部32aと、外枠部32aよりも厚くな� �た中枠部32hと、中枠部32hよりも厚くなった� �枠部32bと、内枠部32bの短手方向中間部にお� �て厚さ方向に貫通すると共に長手方向に延� �する長孔32cと、外枠部32aの一端部において� �さ方向に貫通する排出孔32dとを備える部材� �ある。換言すれば、外枠部32aが有する外枠� �32eから中枠部32hと内枠部32bとが厚さ方向に� �状に突出しており、厚さ方向の断面輪郭が� �孔32cに向かって外枠部32a、中枠部32h、内枠� �32bの順に高くなる階段状となっている。
 外枠面32eと同方向に延在する内枠面32fには� ��長孔32cを塞ぐようにノズルプレート31が貼� �されており、外枠面32e及び外枠面32eの直交� �向に延在する中側面32iには、ノズルガード24 が当接している。

 このようなノズル体23は、ノズルキャップ32 の排出孔32dが下側に位置するように(図3参照) 、ケース11の内部空間に収容され、ケース11� �びベースプレート11fに固定されている(図5参 照)。
 この状態においては、長孔32cにセラミック� ��電プレート21及びインク室プレート22の一部 が挿入されて、ノズルプレート31に突合わせ� ��25aが突き合わされている。またノズルプレ� ��ト31は、内枠面32fに接着剤によって接着さ� �ているとともに、内枠面32fの面積と比較す� �と、ノズルプレート31の面積が大きく形成さ れており、ノズルプレート31が内枠面32fから� ��少はみ出て設置されている。

 このような構成により、ダンパー17内の� �留室17aから所定量のインクIがインク流路基� ��18に供給されると、この供給されたインクI� ��開放孔22cを介して、長溝26内に送り込まれ� �ようになっている。なお、長溝26の後方平坦 面26c側(図7参照)に生じたインク室プレート22� ��長溝26との間隙は、封止材によって封止さ� �ている。

(ノズルガード)
 ノズルガード24は、ステンレス鋼からなる� �箱型形状の部材でありプレス成形で形成さ� �たものある。このノズルガード24は、矩形板 状に形成された天板部24aと、この天板部24aの 周縁部から板面方向と略直交する方向に延出 した密閉部24bとを備えている。

 天板部24aは、内枠面32fと略同大の板面を有� ��ており、天板部24aの短手方向中間部におい� ��長手方向に延在したスリット24cを備えてい� ��。このスリット24cは、ノズル列31cの長さよ� ��も多少長く形成されており、両端部(上端部 24i、下端部24j)が円形に形成されたものであ� �。
 スリット24cの幅寸法は、ノズル孔31aのノズ� ��径40μmに対して幅寸法が略1.5mmに設定されて いる。このスリット24cの幅寸法は、吸引ポン プ16で負圧とすることができる幅寸法を上限� ��し、インクIの初期充填の際にインクIがス� �ット24cから溢れ出て垂れない幅寸法を下限� �した範囲で設定するのが望ましい。
 また、上端部24i、下端部24jは、上述した幅� ��法よりもやや大きい直径で円形に形成され� ��いる。

 このノズルガード24は、内方に面する内� �面24eにチタンコーティングによる親水膜24g� �形成されており、この内表面24eと背向する� �表面24fと、スリット24cの内面にフッ素樹脂� �ーティングやテフロン(登録商標)メッキによ る撥水膜24hが形成されている。

 このようなノズルガード24は、天板部24a� �内枠部32bと排出孔32dとを覆うように(図3参照 )、また、密閉部24bにおける内表面24eと中枠� �32hの中側面32iとが当接するように、環状端� �24dが外枠面32eと接着剤で接着されて、ノズ� �キャップ32に被着している(図5参照)。この状 態においては、スリット24cがノズル列31cと対 向すると共に排出孔32dと対向しないように、 空間(内側空間)Sを介してノズル列31cを覆って いる。換言すれば、スリット24cの開口方向に おいて、スリット24cからノズル列31cを臨むよ うに、かつ、排出孔32dを臨まないようにノズ ル吐出口31bを覆っている(図3参照)。

 このノズルガード24は、天板部24aとノズ� �プレート31との距離を、吸引ポンプ16で負圧� ��することができる距離を上限とし、インクI の初期充填の際にインクIがスリット24cから� �れ出ない距離を下限とした範囲で設定する� �が望ましい。

 吸引流路15は、図4に示すように、吸引口15a� ��なるチューブ管の一端が排出孔32dに嵌挿さ� ��て固定されており、他端がインク吸引孔11e� ��接続されて構成されている。上述したよう� ��、吸引口15aは、スリット24cと対向しない位� ��に開口している。
 吸引ポンプ16は、インク吸引孔11eにチュー� �を介して接続されている。この吸引ポンプ16 は、作動時に、空間S内の空気及びインクIを� ��引して、空間Sを負圧室Rとする。なお、こ� �吸引ポンプ16は、廃液タンクE(図2参照)に吸� �したインクIを貯留する。

 図2に戻って、インク供給部5は、インクIが� ��留されたインクタンク51と、洗浄液Wが貯留� ��れた洗浄液タンク52と、二つの流路を切替� �能な切替バルブ53と、インクI又は洗浄液Wを� ��ンクジェットヘッド10に加圧供給する加圧� �ンプ54と、流路を開閉可能な開閉バルブ55と� ��備えている。
 インクタンク51は、供給管57a、切替バルブ53 及び供給管57cを介して、洗浄液タンク52は、� ��給管57b、切替バルブ53及び供給管57cを介し� �それぞれ加圧ポンプ54に連通している。すな わち、切替バルブ53は、流入管として供給管5 7a,57bが、流出管として供給管57cが接続されて いる。

 加圧ポンプ54は、供給管57cが接続される� �共に供給管57dを介してインクジェットヘッ� �10に連通しており、供給管57cから流入したイ ンクI又は洗浄液Wをインクジェットヘッド10� �供給する。この加圧ポンプ54は、非作動時に は流体が流れないように構成されたものであ り、開閉弁的な機能を有するものである。

 開閉バルブ55は、供給管57cに連通し流入� �となる供給管57eと、供給管57dに連通し流出� �となる供給管57fとが接続されている。すな� �ち、この開閉バルブ55を開とすると供給管57e ,57fが加圧ポンプ54のバイパス管として機能す るようになっている。

 次に、上記構成からなるインクジェット� ��録装置1の動作について説明する。以下の説 明においては、インクIをインクジェットヘ� �ド10に初期充填した後に、箱体Dに印刷を施� �場合について説明し、さらに、インクジェ� �トヘッド10をクリーニングする場合について 説明する。

(インク初期充填)
 図8は、吸引ポンプ16と加圧ポンプ54との動� �タイミング及び空間S(負圧室R)との関係を示� ��た図であり、図9は初期充填時の動作を示し たヘッドチップ20の要部拡大断面図である。
まず、図4及び図8に示すように、吸引ポンプ1 6を作動させ(ON1)、この吸引ポンプ16が吸引流� ��15を介して吸引口15aから空間Sの空気を吸引� ��る(図8における時間T0)。この際、作動する� �引ポンプ16の出力は、空間S内を十分に負圧� �することができる程度に設定することが好� �しく、このときの出力を吸引ポンプ16の充填 出力とする。吸引ポンプ16を充填出力(第1出� �)で作動させると、外部の空気がスリット24c� ��ら空間Sに流入するが、この空気が空間Sを� �由してから吸引口15aに達した後に吸引され� �ことで空間Sを減圧する(液体充填モード)。� �して、所定時間T1経過後に、空間Sが大気圧� �りも十分に負圧となった負圧室Rとなる。

 空間Sが負圧室Rとなった後、インク供給� �5がインクIをインクジェットヘッド10に加圧� ��填する(図8における時間T2)。この際、イン� �供給部5は、以下のように設定されている。� ��なわち、図2に示すように、切替バルブ53に� ��り供給管57aと供給管57cとを連通させた状態� ��し、開閉バルブ55を閉塞させて供給管57eと� �給管57fとを遮断する。この状態において加� �ポンプ54を作動させる。加圧ポンプ54は、イ� ��クタンク51から供給管57a,57c,57dを介してイン クジェットヘッド10のインク注入孔11dにイン� ��Iを注入する。

 インク注入孔11dに注入されたインクIは、 図4及び図5に示すように、ダンパー17のイン� �取込孔17bを介して貯留室17aに流入した後に� �インク流出孔17cを介してインク流路基板18の 流通路18aに流出する。そして、流通路18aに流 入したインクIが開放孔22cを介して各長溝26内 に流入する。

 各長溝26に流入したインクIは、ノズル孔3 1a側に流れてノズル孔31aに達した後、図9(a)に 示すように、余剰インクYとなってノズル孔31 aから流出する。余剰インクYが流出し始めた� ��には、その量が少量であるため、余剰イン� ��Yは、ノズルプレート31上を下方に向かって� ��れる。負圧室Rの下部まで達したインクIは� �吸引口15aから吸引流路15に吸引されて、廃液 タンクEへと排出されていく(図9(b)参照)。

 余剰インクYは、その流出量が多量となる と、図9(b)に示すように、ノズルプレート31上 だけではなく、ノズルガード24の内表面24e上� ��も下方に流れるようになる。この際、スリ� ��ト24cから負圧室Rに継続して空気が流入して おり、余剰インクYがスリット24cから外部に� �出し難い。仮に、図9(c)に示すように、スリ� ��ト24c近傍の内表面24eを流れる余剰インクYの 量が局部的に多くなり、この余剰インクYの� �部がスリット24cから流入する空気に抗して� �表面24f近傍まで達しても、外表面24fに形成� �れた撥水膜24hに弾かれる。この弾かれたイ� �クIは、内表面24eに形成された親水膜24gに誘� ��されて再び負圧室Rに戻される。

 また、スリット24cの下端部24jにおいては、� ��形状の下端部24jの輪郭(外表面24fと下端部24j との境界)でインクIに表面張力が働く。下端� ��24jにおいては、インクIに強い表面張力が働 き、また、この表面張力の均衡が保たれてイ ンクIの表面が破壊されず、外部に漏出しな� �。さらに、上記と同様に、外表面24fに形成� �れた撥水膜24h及び内表面24eに形成された親� �膜24gに誘導されて負圧室Rに戻される。
 このようにして、ノズル孔31aから流出する� ��剰インクYを連続して廃液タンクEに排出す� �。

 図8に示すように、所定時間T3経過後に加� ��ポンプ54を停止して、インクIの加圧充填を� ��了する。加圧ポンプ54の停止に伴いノズル� �31aから余剰インクYが流出しなくなり、負圧� ��Rに残存している余剰インクYが吸引口15aを� �して廃液タンクEに排出される。

 そして、所定時間T4経過後に吸引ポンプ16 を停止させる。インクIの充填完了後には、� �9(d)に示すように、長溝26にインクIが充填さ� ��た状態となる。なお、空間Sは、復圧されて 再び大気圧と同圧となる(図8参照)。

(印刷時)
 続いて、箱体Dに印刷を施す場合の動作につ いて説明する。最初にインク供給部5の設定� �ついて説明する。すなわち、図2に示すよう� ��、切替バルブ53により供給管57aと供給管57c� �を連通させた状態とし、開閉バルブ55を開放 させて供給管57eと供給管57fとを連通させる。 この状態において加圧ポンプ54を非作動とし� ��、加圧ポンプ54を介して供給管57cと供給管57 dとを連通させないようになっている。この� �態においては、インクIが供給管57a,57c,57e,57f, 57dを介して、インクジェットヘッド10のイン� ��注入孔11dに注入されるようになっている。

 インク供給部5を上記のように設定した状態 でベルトコンベア2を駆動して(図1参照)、箱� �Dを一方向に搬送すると共に、搬送される箱� ��Dが筐体6の前を通過する際、つまり、ノズ� �プレート31(ノズル孔31a)の前を通過する際、� ��ンク吐出部3が箱体Dに向けてインク滴を吐� �する。
 具体的には、外部のパーソナルコンピュー� ��から入力された印刷データに基づいて、駆� ��回路基板14がこの印刷データに対応した所� �の板状電極28に選択的に電圧を印加する。こ れにより、この板状電極28に対応した長溝26� �容積が縮小し、長溝26内に充填されたインク Iがノズル吐出口31bから箱体Dに向かって吐出� ��れる。
 インクIを吐出すると長溝26が負圧になるた� ��、上述した供給管57a,57c,57e,57f,57dを介して、 インクIが長溝26に充填される。

このようにして、インクジェットヘッド10� ��セラミック圧電プレート21を画像データに� �じて駆動させ、ノズル孔31aからインク滴を� �出して箱体Dに着弾させる。このように、箱� ��Dを移動させつつインクジェットヘッド10か� ��インク滴を連続して吐出させることで箱体D の所望の位置に画像(文字)が印刷される。

ここで、本実施形態のインクジェットヘッド 10は、ノズル列31cの列設方向を重力方向に向� ��、また、ノズル孔31aの開口方向を水平方向� ��向ける構成としたが、このような構成だけ� ��はなく、ノズル孔31aの開口方向を重力方向� ��向ける構成として、ノズル列31cの延在方向� ��水平方向に向ける構成も考えられる。
このような場合、ノズル孔31aの吐出口31bの開 口方向が重力方向を向いているため、インク Iの充填時にノズル孔31aから漏出した余剰イ� �クYを吸引しきれず、ノズルガード24の天板� �24aと周壁部24bとの境界部分等に残存してい� �場合がある。また、インクIの充填後、例え� ��印刷時になってノズル孔31aから余剰インクY が漏れ出る虞もある。

そこで、図8に示すように、本実施形態で� �インクIの充填後でも吸引ポンプ16を常時作� �させている(図8中ON2)。この際、吸引ポンプ16 の出力は、インクI充填時の出力(充填出力)よ りも弱く、かつ印刷時において空間S内に存� �する余剰インクYを十分に吸引できる程度に� ��定する(通常使用モード)。これにより、空� �SはインクIの充填時よりも弱い負圧空間とな る。なお、吸引ポンプ16の出力が強すぎると� ��印刷時にノズル孔31aから吐出されるインク� ��の飛行経路に影響が出て、印刷精度に影響� ��生じる虞があるため好ましくない。そして� ��この際の吸引ポンプ16の出力を通常出力(第2 出力)とする。

 吸引ポンプ16を通常出力で作動させながら� �刷を行うと、ノズル孔31aから漏れ出た余剰� �ンクYや、ノズルガード24の内表面24e上に残� �した余剰インクYが、各吸引流路15に向かっ� �流れる。そして、吸引流路15まで到達したイ ンクIは、吸引流路15内に吸引されて廃液タン クEへと排出されていく。
なお、通常使用モードとして記載した図8に� �けるON2の動作は、必ずしも前述の液体充填� �ードとして記載した図8におけるON1の動作と� ��もに実施する必要は無く、周囲の動作環境� ��インクIの種類によって、適宜実施すればよ い。

(クリーニング時)
 続いて、インクジェットヘッド10のクリー� �ング時の動作について説明する。最初にイ� �ク供給部5の設定について説明する。すなわ� ��、図2に示すように、切替バルブ53により供� ��管57bと供給管57cとを連通させて、開閉バル� ��55を閉塞させて供給管57eと供給管57fとを閉� �させる。この状態において加圧ポンプ54を作 動させる。加圧ポンプ54は、洗浄液タンク52� �ら供給管57b,57c,57dを介してインクジェットヘ ッド10のインク注入孔11dに洗浄液Wを注入する 。
 上記初期充填時と同様に、長溝26等を介し� �洗浄液Wをノズル孔31aから流出させ、吸引口1 5aからこの流れ出た洗浄液Wを吸引する。
 なお、インクジェット記録装置1を長期間使 用しないと、長溝26に充填されたインクIが乾 燥硬化することになる。この場合、クリーニ ング時と同様にインクジェットヘッド10内を� ��浄液Wで満たせば、インクジェット記録装置 1を長期間にわたり保存することができる。

 以上説明したように、インクジェット記録� ��置1によれば、インクジェットヘッド10にお� ��て余剰インクYがスリット24cから外部に漏出 し難い状態で負圧室Rを移動し、吸引口15aか� �吸引流路15に吸引されて外部へと排出される ので、ノズル吐出口31bから流れ出たインクI� �回収するスペースを極めて小さいものとし� �インクジェットヘッド10のスペースファクタ を向上することができると共に、インクジェ ット記録装置1の設計の自由度を向上させる� �とができる。
 また、吸引流路により多量の余剰インクYを 連続して排出することができるので、余剰イ ンクYの回収能力が向上し、余剰インクYによ� ��汚染を防止すると共にインクI充填後のイン クIの吐出を安定させることができる。
 また、サービスステーションを設けること� ��く、簡素な構成でインクジェット記録装置1 の初期充填を実現することが可能となる。

 また、吸引口15aがスリット24cと対向せず� ��配置されており、スリット24cから流入した� ��気が空間S(負圧室R)を経由してから吸引口15a に達するので、空間Sを速やかに減圧するこ� �ができ、負圧室Rの負圧状態を良好に継続さ� ��ることができる。これにより、余剰インクY の回収を速やかに行うことができると共に多 量の余剰インクYの回収を安定的に行うこと� �できる。

 また、吸引口15aが負圧室Rの重力方向最下 部に形成されており、最下部においてインク Iを吸引するので、下部に流れる余剰インクY� ��効率よく吸引することができる。

 また、外表面24fに撥水膜24hが形成されてい� ��ので、負圧室Rの余剰インクYがスリット24c� �介して外部へと流出しようとしても、撥水� �24hにはじかれて、負圧室Rに留まり易くなる� ��
 また、内表面24eに親水膜24gが形成されてい� ��ので、インクIが負圧室Rを流れ易くなると� �に、撥水膜24hにはじかれた余剰インクYを負� ��室Rに導き、余剰インクYが負圧室Rに留まり� ��くなるので、スリット24cから余剰インクYが 流れ出ることを高い確率で防止することがで きる。

 また、スリット24cの下端部24jが円形状であ� ��ので、下端部24jにおいて表面張力により維� ��されたインクIの表面が破壊され難く、負圧 室Rに余剰インクYが留まり易くなる。具体的� ��説明すると、まず、スリット24cの下端部24j� ��到達したインクIは、下端部24jに接触する。 このとき、円形状の下端部24jの輪郭(外表面24 fと下端部24jとの境界)において、インクIに表 面張力が働く。ここで、液体(インクI)は、外 力の作用が強く働かない環境において略球体 で存在するため、スリット24cの端部が矩形状 である場合は、表面張力により維持された略 球体の表面が壊れてしまい、スリット24cの外 部へインクIが漏れ出てしまう恐れがある。
 一方、本実施形態のように、スリット24cの� ��部が円形状である場合は、表面張力により� ��持された液体(インクI)の表面が破壊されず� ��下端部24jにおいて漏れ出ることなく負圧室R に留まり易い。さらに、上記と同様に、外表 面24fに撥水膜24hが形成されているので、漏れ 出ようとするインクIを負圧室Rに留めること� ��できる。
 このような構成を採用すると、上述したよ� ��に、余剰インクYがスリット24cから外部に漏 出しようとしても、スリット24cの下端部24jに おいて、負圧室RにインクIが留まり易くなる� ��で、余剰インクYの漏出による汚染を防止す ることができると共に余剰インクYの回収能� �を向上することができる。

 また、インク供給部5がインクIと洗浄液W� ��を切り換え供給し得るように構成されてお� ��、液体供給系12にインクIと洗浄液Wとが供給 されるので、インクジェットヘッド10の清掃� ��対する労力を低減させると共に、効率よく� ��ンクジェットヘッド10を清掃することがで� �る。

 また、上述したように本実施形態では、ノ� ��ル列31cを覆うように形成されたノズルガー� ��24を用いて空間S(負圧室R)を形成し、吸引口1 5aから余剰インクYを排出するという構成を特 徴としている。ここで、本構成の特徴を以下 に記述する。
 本構成では、空間Sが大気圧より十分に負圧 となった負圧室Rとなり、負圧室Rに流れ出た� ��ンクIがスリット24cに向けて流れ難くなった 状態でインクIの加圧充填が開始される。こ� �ため、ノズルガード24及び空間Sが形成され� �いない場合など、空間Sが大気圧と同圧の状� ��でインクIを長溝26に加圧充填した場合に比� ��て、スリット24cから空気が連続的に流入す� ��ので、余剰インクYがスリット24cから漏出し 難い。また、吸引口15aが連続的に余剰インク Yを排出するので、余剰インクYが空間S(負圧� �R)に溜まってスリット24cから溢れ出ることも ない。
 また、負圧室Rとした状態で、加圧充填を終 了し、負圧室Rに液体が流れ出なくなるので� �空間Sを復圧させた後に長溝26に加圧充填を� �了した場合に比べて、余剰インクYがスリッ� ��24cから漏出し難く、また、スリット24cから� ��れ出ることもない。これにより、余剰イン� ��Yによる汚染を防止しつつインクIの充填が� �能となり、充填後のインクIの吐出を安定さ� ��ることができる。

(変形例)
 以下、図面を用いて、インクジェットヘッ� ��10の具体的な変形例を説明する。なお、イ� �クジェットヘッド10と同様の構成のものにつ いては、同一の符号を付し、説明を省略する 。

 図10は、インクジェットヘッド10の変形例を 示すインクジェットヘッド60を示した図であ� ��。このインクジェットヘッド60は、負圧室R� ��底部r1に二つの傾斜部61が設けられている。
 傾斜部61は、それぞれ断面が直角三角形状� �三角柱部材からなり、互いに直角を形成す� �二つの矩形側面を密閉部24bに当接させると� �に、この二つの矩形側面によって構成され� �直角部を密閉部24bが形成する二つの角部の� �ち一方に当接させて設けられ、直角部と対� �する矩形側面が吸引口15aへ収束する斜面を� �成するように配置されている。このような� �成により、負圧室Rの下部の幅寸法(ノズルプ レート31の表面に平行でノズル列31cに垂直な� ��向における幅寸法)が吸引口15aに向けて漸次 小となっている。
 このような構成によれば、負圧室Rの下部に 達した余剰インクYが、幅方向において吸引� �15aに向かって流れていくので、余剰インクY� ��吸引口15aから吸引し易いものとすることが� ��きる。

 図11は、インクジェットヘッド10の変形例を 示すインクジェットヘッド70を示した図であ� ��。このインクジェットヘッド70は、負圧室R� ��底部r1に一つの傾斜部62が設けられている。
 傾斜部62は、この傾斜部62は、断面が直角三 角形状の三角柱部材からなり、天板部24aと密 閉部24bが形成する角部に直角に形成された角 部を当接させて設けられ、この角部に対向す る斜面が吸引口15aへ収束するように配置され ている。このような構成により、ノズルプレ ート31の表面に垂直な方向においてノズルプ� ��ート31と天板部24aとの距離が吸引口15aに向� �て漸次小となっている。
 このような構成によれば、負圧室Rの下部に 達した余剰インクYが、負圧室Rの吸引口開口� ��向において吸引口15aに向かって流れていく� ��で、余剰インクYを吸引口15aから吸引し易い ものとすることができる。

 図12(a)は、インクジェットヘッド10の変形 例を示すインクジェットヘッド80を示した図� ��ある。この図12(a)に示すように、インクジ� �ットヘッド80のノズルガード24には、天板部2 4aに負圧室R側に窪む窪み部24xが形成されてい る。窪み部24xは、プレス成形(圧延)で形成し� ��ものであり、この窪み部24xの底面にはスリ� ��ト24cが形成されている。これにより、ノズ� ��ガード24が箱体Dと接触した場合であっても� ��スリット24c近傍の撥水膜24hが箱体Dと接触す る確率を低減させて、撥水膜24hが剥離するこ とを防止することができる。

 図12(b)は、インクジェットヘッド10の変形 例を示すインクジェットヘッド90を示した図� ��ある。この図12(b)に示すように、インクジ� �ットヘッド90のノズルガード24には、負圧室R 側に突出し、かつ、スリット24cを環状に囲繞 する環状突出壁24yが形成されている。これに より、インクジェットヘッド90のノズル吐出� ��31bを下方に向けて箱体DにインクIを吐出す� �場合において、負圧室Rを復圧させた後に空� ��Sに余剰インクYが残存していたとしても、� �の余剰インクYが内表面24eを伝ってスリット2 4cに到達するのを阻止して、スリット24cから� ��剰インクYが漏出することを防止することが できる。

 図12(c)は、インクジェットヘッド10の変形例 を示すインクジェットヘッド100を示した図で ある。この図12(c)に示すように、インクジェ� ��トヘッド100のノズルガード24には、窪み部24 xと環状突出壁24yとがプレス成形により形成� �れている。これにより、撥水膜24hが剥離す� �ことを防止することができると共に、イン� �ジェットヘッド100のノズル吐出口31bを下方� �向けて箱体DにインクIを吐出する場合に、ス リット24cから余剰インクYが漏出することを� �止することができる。
 なお、プレス成形であれば、窪み部24xと環� ��突出壁24yとを同時に形成することができ、� ��産効率が良好なものとなる。

なお、上述した実施の形態において示した 動作手順、あるいは各構成部材の諸形状や組 み合わせ等は一例であって、本発明の主旨か ら逸脱しない範囲において設計要求等に基づ き種々変更可能である。

例えば、上述した実施の形態においては、 図2に示すように吸引ポンプ16及び廃液タンク Eをインクジェットヘッド10の内部に備えるよ うな構成としたが、このような形態に限られ るものではない。すなわち、吸引ポンプ16と� ��液タンクEをインクジェットヘッド10の外部� ��設け、例えばインクジェット記録装置1に搭 載させてもよい。

 例えば、上述した実施の形態においては� ��ノズル体23をノズルプレート31とノズルキャ ップ32とから構成し、ノズルキャップ32にノ� �ルガード24の環状端部24dを被着させたが、吸 引口15aが空間Sに開口されることを条件とし� �、ノズルプレート31に被着させてもよい。

 また、上述した実施の形態においては、� ��引口15aをノズルキャップ32に形成した排出� �32dに嵌挿させる構成としたが、排出孔32dを� �ズルプレート31やノズルガード24に形成して� ��よいし、排出孔32dに吸引流路15を接続して� �この排出孔32dを吸引口としてもよい。

 また、上述した実施の形態においては、撥� ��膜24hをフッ素樹脂コーティングやテフロン( 登録商標)メッキによって形成したが、撥水� �ートを貼付したり撥水剤を塗布したりして� �よい。
 また、上述した実施の形態においては、親� ��膜24gをチタンコーティングによって形成し� ��が、金メッキを施してもよいし、アルカリ� ��の薬品を塗布してもよい。

 また、上述した実施の形態においては、� ��ンクジェットヘッド10を固定してインクジ� �ット記録装置1を構成したが、インクジェッ� ��ヘッド10を可動してインクジェット記録装� �1を構成することも可能である。すなわち、� ��ンクジェットヘッド10を採用すれば、負圧� �引するためのキャップが不要となったイン� �ジェット記録装置を実現することができる� �

 また、上述した実施の形態においては、� ��ンクジェットヘッド10のノズル列31cの列設� �向を重力方向に向け、また、ノズル孔31aの� �口方向を水平方向に向ける構成としたが、� �のような設置の方向に限られない。ノズル� �31aの開口方向を重力方向に向ける構成とし� �もよいし、ノズル列31cの延在方向を水平方� �に向ける構成をしてもよい。

 また、上述した実施の形態においては、� ��期充填時及びクリーニング時に吸引ポンプ� ��作動させたが、印刷時においてもノズル孔3 1aからインクIが垂れる場合があり、このよう なインクIを回収してもよい。

 また、上述した実施の形態においては、ノ� ��ルガード24とは別部材の傾斜部61,62を設けた が、この傾斜部61,62を設ける代わりにノズル� ��ード24の内表面24eを傾斜して形成し傾斜部� �してもよい。
 また、傾斜部61と傾斜部62を重畳的に用いて もよい。すなわち、下方に向かうほど
負圧室Rの下部の幅寸法及びノズルプレート31 と天板部24aとの距離を漸次小とする部材を設 けてもよいし、内表面24eをこのような形状に 成形してもよい。

また、上述した実施の形態においては、窪 み部24x、環状突出壁24yをプレス成形により形 成したが、他の加工法、例えば、切削により 形成してもよい。

また、上述した実施の形態においてヘッドチ ップ20は、図6及び7に記載したとおり、開放� �22cが各長溝26全体に開口している形態を示し たが、これに限らず、例えば長溝26の一つお� ��に連通するスリットをインク室プレート22� �形成し、インクIが導入される長溝26とイン� �Iが導入されない長溝26を形成してもよい。� �のような形態を採用することによって、例� �ば導電性のインクIであったとしても、隣り� ��う側壁27の板状電極28が短絡することなく、 独立したインク吐出を実現することができる 。
すなわち、上述した実施の形態において記し たヘッドチップは形態を限定したものではな いため非導電性の油性インク、導電性の水性 インク、ソルベントインクやUVインク等を用� ��ても構わない。このように液体噴射ヘッド� ��構成することで、いかなる性質のインクで� ��っても使い分けることができる。特に、導� ��性を有するインクであっても問題なく利用� ��き、液体噴射記録装置の付加価値を高める� ��とができる。なお、その他は同様の作用効� ��を奏することができる。

また、上述した実施の形態においては、イ ンクIを吐出するアクチュエータとして、電� �が設けられたセラミック圧電プレート21を備 えるようにしたが、この形態に限られるもの ではない。例えば、電気熱変換素子を用いて 、インクIが充填されている室内に気泡を生� �させ、その圧力によって、インクIを吐出す� ��機構としても構わない。

また、上述した実施の形態においては、液 体噴射記録装置の一例として、インクジェッ トプリンタ1を例に挙げて説明したが、プリ� �タに限られるものではない。例えば、ファ� �クスやオンデマンド印刷機などであっても� �わない。

また、上述した実施の形態においては、図2� �示す構成の通り、吸引ポンプ16によって吸引 した余剰インクYを廃液タンクEへ排出するこ� ��としたが、この形態に限られるものではな� ��。例えば、吸引ポンプ16の出口側の流路に� �続される構成を、廃液タンクではなく、イ� �クタンク51とすることもできる。すなわち、 吸引ポンプ16によって吸引された余剰インクY をインクタンク51へ供給し、インクタンク51� �らインクジェットヘッド10へインクIとして� �給する形態としてもかまわない。このよう� �形態を採用することによって、余剰インクY� ��インクIとして再利用することができる。
またこの構成に加えて、余剰インクYを再利� �するにあたり、吸引ポンプ16からインクタン ク51へ通じる流路にフィルタ部材を設けても� ��まわない。このような構成を採用すること� ��よって、余剰インクYに含まれる不純物を除 去し、適切な状態のインクをインクタンク51� ��供給することができる。
さらに、余剰インクYを再利用するにあたり� �吸引ポンプ16からインクタンク51へ通じる流� ��に脱気装置を設けてもかまわない。このよ� ��な構成を採用することによって、余剰イン� ��Yに含まれる気泡を脱気し、適切な脱気状態 のインクをインクタンク51へ供給することが� ��きる。
ただし、上述したこれらの構成は、必ず用い られなければならない構成ではなく、液滴噴 射記録装置の仕様に応じて適宜使用されれば よい。