(情報記録再生装置)
 以下、本発明に係る一実施形態を、図1から 図7を参照して説明する。図1は、本発明に係� ��情報記録再生装置1の一実施形態を示す構成 図である。なお、本実施形態の情報記録再生 装置1は、垂直記録層を有するディスク(磁気� ��録媒体)Dに対して、垂直記録方式で書き込� �を行う装置である。

 本実施形態の情報記録再生装置1は、図1� �示すように、キャリッジ11と、キャリッジ11� ��基端側から光電気複合配線33を介して光束� �供給するレーザ光源20と、キャリッジ11の先� ��側に支持されたヘッドジンバルアセンブリ( HGA)12と、ヘッドジンバルアセンブリ12をディ� ��ク面D1(ディスクDの表面)に平行なXY方向に向 けてスキャン移動させるアクチュエータ6と� �ディスクDを所定の方向に向けて回転させる� ��ピンドルモータ7と、情報に応じて変調した 電流をヘッドジンバルアセンブリ12のスライ� ��2に対して供給する制御部5と、これら各構� �品を内部に収容するハウジング9とを備えて� ��る。

 ハウジング9は、アルミニウム等の金属材料 からなる上部開口部を有する箱型形状のもの であり、上面視四角形状の底部9aと、底部9a� �周縁において底部9aに対して鉛直方向立設す る周壁(不図示)とで構成されている。そして� ��周壁に囲まれた内側には、上述した各構成� ��等を収容する凹部が形成される。なお、図1 においては、説明を分かりやすくするため、 ハウジング9の周囲を取り囲む周壁を省略す� �。
 また、このハウジング9には、ハウジング9� �開口を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能� �固定されるようになっている。底部9aの略中 心には、上記スピンドルモータ7が取り付け� �れており、該スピンドルモータ7に中心孔を� ��め込むことでディスクDが着脱自在に固定さ れる。

 ディスクDの外側、つまり底部9aの隅角部に� ��、上記アクチュエータ6が取り付けられてい る。このアクチュエータ6には、ピボット軸10 を中心にXY方向に対して回動可能なキャリッ� ��11が取り付けられている。
 このキャリッジ11は、基端部から先端部に� �けてディスク面D1に沿って延設されたアーム 部14と、アーム部14を基端部を介して片持ち� �に支持する基部15とが、削り出し加工等によ り一体形成されたものである。
 基部15は、直方体形状に形成されたもので� �り、ピボット軸10まわりを回動可能に支持さ れている。つまり、基部15はピボット軸10を� �してアクチュエータ6に連結されており、こ� ��ピボット軸10がキャリッジ11の回転中心とな っている。

 アーム部14は、基部15におけるアクチュエ ータ6が取り付けられた側面15aと反対側の側� �(隅角部の反対側の側面)15bにおいて、基部15� ��上面の面方向(XY方向)と平行に延出する平板 状のものであり、基部15の高さ方向(Z方向)に� ��って3枚延出している。具体的には、アーム 部14は、基端部から先端部に向かうにつれ先� ��るテーパ形状に形成されており、各アーム� ��14間に、ディスクDが挟み込まれるように配� ��されている。つまり、アーム部14とディス� �Dとが、互い違いになるように配されており� ��アクチュエータ6の駆動によってアーム部14� ��ディスクDの表面に平行な方向(XY方向)に移� �可能とされている。なお、キャリッジ11及び ヘッドジンバルアセンブリ12は、ディスクDの 回転停止時にアクチュエータ6の駆動によっ� �、ディスクD上から退避するようになってい� ��。

 ヘッドジンバルアセンブリ12は、図示し� �い近接場光発生素子(スポット光発生素子)を 有する近接場光ヘッドであるスライダ2に、� �ーザ光源20からの光束を導いて近接場光(ス� �ット光)を発生させ、該近接場光を利用して� ��ィスクDに各種情報を記録再生させるもので ある。なお、近接場光発生素子は、例えば、 光学的微小開口や、ナノメートルサイズに形 成された突起部等により構成されている。

 図2は、スライダ2を上向きにした状態でサ� �ペンション3をスライダ2側から見た斜視図で ある。図3は、スライダ2を上向きにした状態� ��ジンバル17を見た平面図である。図4は、図3 のE-E’線に沿う断面図であり、スライダ2を� �向きにした状態におけるサスペンション3先� ��の断面図である。
 図2から図4に示すように、本実施形態のヘ� �ドジンバルアセンブリ12は、上記スライダ2� �ディスクDから浮上させるサスペンションと� ��て機能するものであり、スライダ2と、金属 性材料により薄い板状に形成され、ディスク 面D1に平行なXY方向に移動可能なサスペンシ� �ン3と、スライダ2を、ディスク面D1に平行で� ��つ互いに直交する2軸(X軸、Y軸)回りに回動� �在な状態、即ち、2軸を中心として捻れるこ� ��ができるようにサスペンション3の下面に固 定させるジンバル手段16とを備えている。

 まず上記スライダ2は、ディスクDとサス� �ンション3との間に配置された状態で、サス� ��ンション3の下面に後述するジンバル17を挟� ��で支持されている。スライダ2は、先端側に 固定された再生素子(不図示)と、該再生素子� ��隣接して固定された記録素子(不図示)とを� �えている。また、スライダ2は、記録素子を� ��に挟んで再生素子の反対側に、レーザ光源2 0から出射された光束を集光させる図示しな� �集光レンズ(光学系)と、該集光レンズによっ て集光された光束から近接場光を発生させる 上記近接場光発生素子とを有している。つま り、スライダ2には、先端部に再生素子、記� �素子、近接場光発生素子が並んだ状態で配� �されている。

 また、スライダ2の下面は、ディスク面D1に� ��向する浮上面2aとなっている。この浮上面2a は、回転するディスクDによって生じた空気� �の粘性から、浮上するための圧力を発生さ� �る面であり、ABS(Air Bearing Surface)と呼ばれて いる。具体的には、スライダ2をディスク面D1 から離そうとする正圧とスライダ2をディス� �面D1に引き付けようとする負圧とを調整して 、スライダ2を最適な状態で浮上させるよう� �設計されている。
 スライダ2は、この浮上面2aによってディス� ��面D1から浮上する力を受けているとともに� �サスペンション3によってディスクD側に押さ え付けられる力を受けている。そしてスライ ダ2は、この両者の力のバランスによって、� �ィスク面D1から浮上するようになっている。

 上記サスペンション3は、上面視略四角状 に形成されたベースプレート22と、ベースプ� ��ート22の先端側にヒンジ板23を介して連結さ れた上面視略三角状のロードビーム24とで構� ��されている。

 ベースプレート22は、ステンレス等の厚み� �薄い金属材料によって構成されており、基� �側には厚さ方向に貫通する開口22aが形成さ� �ている。そして、この開口22aを介してベー� �プレート22がアーム部14の先端に固定される� ��うになっている。ベースプレート22の下面� �は、ステンレス等の金属材料により構成さ� �たシート状のヒンジ板23が配置されている。 このヒンジ板23は、ベースプレート22の下面� �全面に亘って形成された平板状のものであ� �、その先端部分はベースプレート22の先端か らベースプレート22の長手方向に沿って延出� ��る延出部23aとして形成されている。延出部2 3aは、ヒンジ板23の幅方向両端部から2本延出� ��ており、その先端部分には幅方向内側、つ� ��り互いの延出部23aに向かう方向に幅が拡大� ��る拡大部23bが形成されている。この拡大部2 3bの上面には、ロードビーム24が連結されて� �る。
 ロードビーム24は、ベースプレート22と同様 にステンレス等の厚みの薄い金属材料によっ て構成されており、その基端がベースプレー ト22の先端との間に間隙を有した状態でヒン� ��板23に連結されている。これにより、サス� �ンション3はベースプレート22とロードビー� �24との間を中心に屈曲して、ディスク面D1に� ��直なZ方向に向けて撓み易くなっている。

 サスペンション3上には、フレクシャ25が� ��けられている。フレクシャ25は、ステンレ� �等の金属材料により構成されたシート状の� �のであり、シート状に形成されることで厚� �方向に撓み変形可能に構成されている。フ� �クシャ25は、ロードビーム24の先端側に固定� ��れ、外形が上面視略五角形状に形成された� ��ンバル17と、ジンバル17より幅狭に形成され 、ジンバル17の基端からサスペンション3上に 沿って延在する支持体18とで構成されている� ��

 図3,4に示すように、ジンバル17は、中間付� �から先端にかけてディスク面D1に向けて厚さ 方向に僅かながら反るように形成されている 。そして、この反りが加わった先端側がロー ドビーム24に接触しないように、基端側から� ��中間付近にかけてロードビーム24に固定さ� �ている。
 また、この浮いた状態のジンバル17の先端� �には、周囲がコ形状に刳り貫かれた切欠き� �26が形成されており、この切欠き部26に囲ま� ��た部分には連結部17aによって片持ち状に支� ��されたパッド部(舌片部)17bが形成されてい� �。つまり、このパッド部17bは、連結部17aに� �ってジンバル17の先端側から基端側に向けて 張出し形成されており、その周囲に切欠き部 26を備えている。これにより、パッド部17bは� ��ンバル17の厚さ方向に撓みやすくなってお� �、このパッド部17bのみがサスペンション3の� ��面と平行になるように角度調整されている� ��そして、このパッド部17b上に上記スライダ2 が載置固定されている。つまり、スライダ2� �、パッド部17bを介してロードビーム24にぶら 下がった状態となっている。

 また、ロードビーム24の先端には、パッ� �部17b及びスライダ2の略中心に向かって突出� ��る突起部19が形成されている。この突起部19 の先端は、丸みを帯びた状態となっている。 そして突起部19は、スライダ2がディスクDか� �受ける風圧によりロードビーム24側に浮上し たときに、パッド部17bの表面(上面)に点接触� ��るようになっている。この浮上する力は、� ��起部19からロードビーム24に伝わって、ヒン ジ板23を撓ませるように作用する。また、デ� ��スクDのうねり等により、スライダ2にXY方向 に向かう風圧が加わったときに、スライダ2� �びパッド部17bは、突起部19を中心としてX軸� �びY軸の2軸回りに捩じれるようになっている 。これにより、ディスクDのうねりによるZ方� ��の変位(ディスク面D1に略直交する方向への� ��位)を吸収することができ、スライダ2の姿� �が安定するようになっている。なお、これ� �突起部19とパッド部17bを有するジンバル17と� ��、ジンバル手段16を構成している。

 図2に示す支持体18は、ジンバル17に一体� �成されたシート状のものであり、サスペン� �ョン3上をアーム部14に向かって延設されて� �る。つまり、支持体18は、サスペンション3� �変形した際にサスペンション3の変形に追従� ��るように構成されている。支持体18は、ア� �ム部14上から側面に回りこんで、アーム部14� ��基部15に至るまで引き回されている。

 図5は、キャリッジ11の基部15に取り付けら� �たターミナル基板30の平面図である。
 図1,5に示すように、キャリッジ11の基部15に おける側面15cには、ターミナル基板30が配置� ��れている。このターミナル基板30は、ハウ� �ング9に設けられた制御部5とスライダ2とを� �気的に接続する際の中継点となるものであ� �、その表面には、各種制御回路(不図示)が形 成されている。制御部5とターミナル基板30と は可撓性を有するフラットケーブル4により� �気的に接続されている一方、ターミナル基� �30とスライダ2とは、電気配線31により接続さ れている。電気配線31は、各キャリッジ11毎� �設けられたスライダ2の数に対応して3組設け られており、フラットケーブル4を介して制� �部5から出力された信号が、電気配線31を介� �てスライダ2に出力されるようになっている� ��

 また、ターミナル基板30上には、スライ� �2の集光レンズに向けて光束を供給する上記� ��ーザ光源20が配置されている。レーザ光源20 は、フラットケーブル4を介して制御部5から� ��力された信号を受信し、この信号に基づい� ��光束を出射するものであり、各アーム部14� �設けられたスライダ2の数に対応して基部15� �高さ方向(Z方向)に沿って3個配列されている� ��各レーザ光源20の出射側には、各レーザ光� �20から出射された光束をスライダ2の集光レ� �ズまで導く光導波路32が接続されている。

 図6は、図3のA-A’線に沿う断面図であり、� �7は図3のB-B’線に沿う断面図である。
 図3及び図5から図7に示すように、各スライ� ��2に対応する1個の光導波路32と1組の電気配� �31とは、レーザ光源20とスライダ2との間にお いて、その基端側から先端に至るまで一体的 に形成された光電気複合配線33として構成さ� ��ている。この光電気複合配線33は、ターミ� �ル基板30の表面からアーム部14の側面を通っ� ��、アーム部14上に引き回されている。具体� �には、光電気複合配線33は、アーム部14及び� ��スペンション3上において、フレクシャ25の� ��述した支持体18(図2参照)上に配置されてお� �、支持体18を間に挟んだ状態でサスペンショ ン3の先端まで引き回されている。このよう� �、光電気複合配線33が撓み変形可能な支持体 18上に形成されているため、スライダ2の移動 時やサスペンション3の変形時等には、光電� �複合配線33が支持体18とともに追従するよう� ��変形する。これにより、光電気複合配線33� �断線等を防ぐことができる。

 光電気複合配線33を構成する上記光導波� �32は、厚さが例えば3~10μmで形成され、レー� �光源20から出射された光束を全反射条件で導 くコア35と、厚さが例えば数十μmで形成され� ��コア35の屈折率より低い屈折率の材料から� �り、コア35に密着してコア35を封止するクラ� ��ド34とを有している。そして、レーザ光源20 から出射された光束はコア35とクラッド34と� �間の屈折率の違いにより全反射条件でスラ� �ダ2の集光レンズまで導かれるようになって� ��る。

 なお、クラッド34及びコア35として使用さ れる材料の組み合わせの一例を記載すると、 例えばPMMA(メタクリル酸メチル樹脂)により、 厚さが3~10μmでコア35を形成し、フッ素含有重 合体により、厚さが数十μmでクラッド34を形� ��する組み合わせが考えられる。また、コア3 5及びクラッド34をともにエポキシ樹脂(例え� �、コア屈折率1.522~1.523、クラッド屈折率1.518~ 1.519)で構成したり、フッ素化ポリイミドで構 成したりすることも可能である。また、コア 35とクラッド34との屈折率差が大きいほど、� �ア35内に光束を閉じ込める力が大きくなるの で、コア35とクラッド34とを構成する樹脂材� �の配合等を調整して、両者の屈折率差を大� �くすることが好ましい。例えば、フッ素化� �リイミドの場合、フッ素含有量を調整した� �、放射光等のエネルギー照射によって、屈� �率を制御することができる。

 また、電気配線31は、アルミニウムや銅� �からなり、クラッド34内にコア35とともに閉� ��込められている。

 光電気複合配線33のうち、光導波路32の構成 材料に樹脂材料を用いることで、光電気複合 配線33を半導体プロセスにより製造すること� ��可能である。
 半導体プロセスを利用した本実施形態の光� ��気複合配線33の製造方法について、より具� �的に説明する。まず支持体18上にクラッド34� ��構成材料を塗布した後、フォトリソグラフ� ��技術等によりパターニングする。続いて、� ��ラッド34上にスパッタ法、CVD法等により電� �配線31の構成材料を成膜し、複数の電気配線 31としてパターニングする。そして、電気配� ��31の間、つまりクラッド34のYZ平面における� ��心にコア35の構成材料を塗布した後、パタ� �ニングし、再びクラッド34の構成材料を塗布 する。その後、パターニングすることで、本 実施形態の光電気複合配線33を形成すること� ��可能である。
 このように、光導波路32と電気配線31とを樹 脂材料からなるクラッド34により一体的に形� ��することで、これらを半導体プロセスにて� ��括して形成することができる。そして、半� ��体プロセスを利用して光電気複合配線33を� �造することで、光導波路32と電気配線31とを� ��体で形成する場合に比べて、量産の容易さ� ��ら製造効率を向上させた上で、加工精度を� ��上させることができる。また、製造コスト� ��低下を図ることができる。

 図6及び図7に示すように、光電気複合配� �33は、クラッド34の幅方向(YZ平面)における断 面視中心に光導波路32のコア35が配置され、� �導波路32の両側方から光導波路32を挟むよう� ��電気配線31が2本ずつ配されている。つまり� ��光電気複合配線33は、コア35を中心にして対 称に構成されている。このように、コア35と� ��気配線31とが、ともにクラッド34により封止 されることで、光導波路32と電気配線31と一� �的に形成された光電気複合配線33として構成 されている。

 また図3に示すように、光電気複合配線33� ��、サスペンション3の先端、具体的にはジン バル17の中間位置において電気配線31と光導� �路32とに分岐しており、この分岐地点Cから� �ライダ2に至るまでの光導波路32の曲率半径� �電気配線31の曲率半径よりも大きくなってい る。

 具体的には、光導波路32は、光電気複合� �線33の先端側における分岐地点Cからジンバ� �17の長手方向に沿って延在しており、ジンバ ル17の切欠き部26を跨いでスライダ2の基端側� ��直接接続されている。光導波路32は、光電� �複合配線33の分岐地点Cにおいてジンバル17の 下面から離間されており、分岐地点Cからス� �イダ2の基端側に向かうにつれ、パッド部17b� ��ジンバル17との間を架け渡すように僅かな� �ら浮いた状態で延在している。つまり、ジ� �バル17の下面において、光導波路32は略直線� ��(曲率半径が略無限大)に延在した状態でス� �イダ2の基端面側に引き回されている。スラ� ��ダ2の基端面側に引き回された光導波路32は� ��スライダ2内で集光レンズを介してスライダ 2の先端面側に設けられた近接場光発生素子� �接続されている。

 一方、分岐地点Cにおいて、電気配線31は� ��ンバル17の外周部分に向けて屈曲されてお� �、ジンバル17の外周部分、つまり切欠き部26� ��外側から引き回されている。そして、切欠� ��部26の外側から引き回された電気配線31は、 連結部17a上を通ってスライダ2の先端面側に� �続されている。すなわち、電気配線31は、ス ライダ2の先端面側に設けられた上記再生素� �や記録素子に対して、スライダ2の外部から� ��接接続されている。

 次に、このように構成された情報記録再生� ��置1により、ディスクDに各種の情報を記録� �生する手順について以下に説明する。
 まず、スピンドルモータ7を駆動させてディ スクDを所定方向に回転させる。次いで、ア� �チュエータ6を作動させて、ピボット軸10を� �転中心としてキャリッジ11を回動させ、キャ リッジ11を介してヘッドジンバルアセンブリ1 2をXY方向にスキャンさせる。これにより、デ ィスクD上の所望する位置にスライダ2を位置� ��せることができる。

 ここで、キャリッジ11の基部15が、ピボッ ト軸10まわりを回動可能に構成されているた� ��、アーム部14は、ピボット軸10を回転中心と してディスク面D1に平行な方向に移動する。� ��の時、基部15のターミナル基板30上にレーザ 光源20を設けることで、スライダ2にレーザ光 源20搭載した場合に比べて、スライダ2の移動 時においてキャリッジ11に作用するモーメン� ��が小さい。したがって、トラッキングの精� ��を維持することができる。また、ターミナ� ��基板30は、制御部5とスライダ2とを電気的に 接続する際の中継点となるものであり、電気 配線31はターミナル基板30を基点としてスラ� �ダ2に引き回される。つまり、ターミナル基� ��30上にレーザ光源20を配置することで、光導 波路32と電気配線31との基端部同士が近接す� �ことになり、光電気複合配線33を容易に形成 することができる。

 次いで、レーザ光源20から光束を光導波� �32(光電気複合配線33)に入射させて、光束を� �ライダ2に導く。本実施形態の情報記録再生� ��置1にあっては、スライダ2の集光レンズに� �束を供給するレーザ光源20が、スライダ2の� �部15におけるターミナル基板30上に設けられ� ��いる。この場合、レーザ光源20から出射さ� �た光束は、光電気複合配線33におけるコア35� ��一端側からコア35内に導入され、コア35とク ラッド34との界面で全反射を繰り返しながら� ��ライダ2に向かって伝播される。この時、コ ア35の内部を伝播される光束は、スライダ2内 で集光レンズによって集光され、スポットサ イズが徐々に絞り込まれる。これにより、近 接場光発生素子の周囲には、近接場光が滲み 出るように発生する。また、コア35はクラッ� ��34が密着した状態で封止されているので、� �播している光束が途中でコア35の外部に漏れ ることがない。よって、導入された光束を無 駄にすることなく効率良く近接場光にするこ とができる。

 そして、近接場光が入射されたディスクDは 、この近接場光によって局所的に加熱されて 一時的に保磁力が低下する。一方、制御部5� �よってスライダ2の記録素子に電流が供給さ� ��ると、電磁石の原理によりディスクDに対し て垂直方向の記録磁界を発生させることがで きる。その結果、近接場光と記録素子で発生 した記録磁界とを協働させたハイブリッド磁 気記録方式により情報の記録を行うことがで きる。
 これに対して、ディスクDに記録された情報 を再生する場合には、記録素子に隣接して固 定されている再生素子が、ディスクDから漏� �出ている磁界を受けて、その大きさに応じ� �電気抵抗が変化する。よって、再生素子の� �圧が変化する。これにより制御部5は、ディ� ��クDから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化と して検出することができる。そして制御部5� �、この電圧の変化から信号の再生を行うこ� �で、情報の再生を行うことができる。
 このように、スライダ2を利用してディスク Dに対して各種の情報を記録再生することが� �きる。

 ここで、スライダ2は、サスペンション3に� �って支持されていると共に所定の力でディ� �クD側に押さえ付けられている。また、これ� ��同時にスライダ2は、浮上面2aがディスクDに 対向しているので、回転するディスクDによ� �て生じる風圧の影響を受けて浮上する力を� �けている。この両者の力のバランスによっ� �、スライダ2はディスクD上から離間した位置 に浮遊している状態となっている。
 この際スライダ2は、風圧を受けてサスペン ション3側に押されるので、スライダ2を固定� ��るジンバル17のパッド部17bとサスペンショ� �3に形成された突起部19とが、点接触した状� �となる。そして、この浮上する力は、突起� �19を介してサスペンション3に伝わり、該サ� �ペンション3をディスク面D1に垂直なZ方向に� ��けて撓ませるように作用する。これにより� ��上述したようにスライダ2は浮上する。なお 、サスペンション3には、ベースプレート22と ロードビーム24とがヒンジ板23を介して連結� �れているため、ベースプレート22とロードビ ーム24との間を中心に撓み易くなっている。

 またスライダ2は、ディスクDのうねりに� �因して発生する風圧(XY方向に向かう風圧)を� ��けたとしても、ジンバル手段16、即ち、突� �部19の先端に点接触したパッド部17bを介して XY軸回りに捩じれるようになっている。その� ��め、うねりによるZ方向への変位を吸収する ことができ、浮上している際のスライダ2の� �勢を安定にすることができる。

 このように、本実施形態の情報記録再生装� ��1では、光導波路32と、電気配線31とを備え� �レーザ光源20とスライダ2との間において、� �ラッド34内に電気配線31をコア35とともに封� �することにより、光導波路32と電気配線31と� ��光電気複合配線33として一体的に形成され� �いる構成とした。
 この構成によれば、光導波路32と電気配線31 とが光電気複合配線33として一体的に形成さ� ��ているため、光導波路32及び電気配線31を同 時に取り付けることができ、製造効率の低下 を防止することができる。つまり、スライダ 2から離れた位置にレーザ光源20を配置した場 合でも、光電気複合配線33をスライダ2へ容易 に引き回すことができる。
 また、光導波路32と電気配線31とを一体的に 形成しているため、従来のように各配線毎の 引き回しのレイアウトを考慮する必要がなく 、光電気複合配線33の取り付けの自由度を向� ��させることができる。よって、光電気複合� ��線33のレイアウト性を向上させることがで� �るため、スライダ2から離れた位置、上述し� ��ようにターミナル基板30上にレーザ光源20を 配置した場合でも、光電気複合配線33をスラ� ��ダ2へ容易に引き回すことができる。
 これにより、レーザ光源20をスライダ2から� ��間配置することが可能になり、光束の供給� ��にレーザ光源20から発生する熱がスライダ2� ��で伝達する虞が極めて少なく、レーザ光源2 0から発生する熱の影響を抑えることができ� �。したがって、スライダ2の熱膨張、反り等� ��影響によりスライダ2が変形するのを防止す ることができる。また、スライダ2の再生素� �の特性を維持することができる。

 ところで、レーザ光源20を制御部5に配置し� ��場合には、フラットケーブル4に光導波路を 設けることになる。このフラットケーブル4� �屈曲変形すると、導光損失が大きくなると� �う問題がある。本実施形態では、キャリッ� �11の基部15にレーザ光源20を設けるため、フ� �ットケーブル4に光導波路を設ける必要がな� ��ので、導光損失を抑制することができる。
 さらに、本実施形態においては、上述した� ��うに光電気複合配線33のレイアウト性を向� �することができるため、光電気複合配線33の 屈曲が小さい。これにより、光電気複合配線 33の光導波路32内を通過する光束の導光損失� �低減することができ、光伝搬効率を維持す� �ことができる。

 ここで、コア35と電気配線31とを同一のクラ ッド34により封止することで、光導波路32と� �気配線31とを別体で形成する場合に比べて、 コア35と各電器配線31との間や各電器配線31同 士の間の間隔を縮小することができる。また 、各電器配線31毎に絶縁材等を被覆する必要� ��ないため、光電気複合配線33の小型軽量化� �図ることができる。そして、クラッド34によ り電気配線31間の絶縁性を確保することがで� ��るため、各電気配線31の引き回しが容易に� �る。
 さらに、クラッド34の断面における略中心� �コア35を配置するとともに、コア35を中心と� ��て電気配線31を対称に配置することで、複� �の電気配線31がコア35の両側方に分散するこ� ��になる。これにより、コア35の片側のみに� �気配線31をまとめた場合に比べて、電気配線 31の引き回しスペースを確保することができ� ��ため、各電器配線31間のレイアウト性を向� �させることができる。したがって、コア35と 電気配線31とのスライダ2への接続が容易にな る。また、光電気複合配線33からスライダ2に 作用する力が均等になる。
 したがって、光電気複合配線33がスライダ2� ��姿勢制御の妨げになることを防ぎ、スライ� ��2の浮上特性やトラッキングの精度等に与え る影響が少ない。

 なお、本発明の技術範囲は、上述した実� ��形態に限定されるものではなく、本発明の� ��旨を逸脱しない範囲において、上述した実� ��形態に種々の変更を加えたものを含む。す� ��わち、上述した実施形態で挙げた構成等は� ��んの一例に過ぎず、適宜変更が可能である� ��

 例えば、図8に示すように、光電気複合配線 33とフレクシャ25との間に下地膜50を設けるよ うな構成も可能である。この下地膜50は、ポ� ��イミド等の絶縁性を有する材料からなり、� ��れにより電気配線31とフレクシャ25との間の 絶縁性をより確実に確保することができる。
 また、上述の実施形態では、図6に示すよう に、光導波路32を中心として電気配線31を対� �に配置する場合について説明したが、電気� �線31と光導波路32とのレイアウトは適宜設計� ��更が可能である。例えば、図9に示すように 、クラッド34の幅方向(YZ平面)における一端側 から光導波路32と電気配線31とが順に並ぶよ� �に配置することも可能である。

 さらに、上述した実施形態では、図6に示す ように、光導波路32と電気配線31とを同一材� �のクラッド34により封止する構成について説 明したが、光導波路32と電気配線31とが一体� �に形成されていれば、コア35と電気配線31と� ��それぞれ異なる構成材料により封止しても� ��わない。
 具体的には、図10に示すように、まずフレ� �シャ25上に下地膜50を介して電気配線31を形� �する。続いて、電気配線31を覆うようにポリ イミド等からなる被膜51を形成した後、被膜5 1上に上述した光導波路32を形成する。この構 成によれば、コア35と電気配線31とをそれぞ� �異なる構成材料により封止することができ� �ため、被膜51とクラッド34とのそれぞれの条� ��に最適な構成材料を自由に選択することが� ��きる。

 (第2実施形態)
 次に、本発明の第2実施形態について説明す る。図11は、本発明の第2実施形態を示す図3� �A-A’線に相当する断面図である。なお、以� �の説明では上述した第1実施形態と同一の構� ��については同一の符号を付して説明を省略� ��る。
 図11に示すように、本実施形態の光導波路13 2は、クラッド34におけるコア35のY方向両側に 一対のトンネル部101が形成されている。これ らトンネル部101は、コア35を両側から挟むよ� ��に配置された空間であり、コア35の延出方� �と平行に延出している。すなわち、トンネ� �部101は、クラッド34内に形成された延出方向 に直交する断面(YZ平面)が平面視矩形状の空� �であり、その内部には空気または適当な気� �が充填されている。なお、トンネル部101内� �真空に保持してもよい。すなわち、トンネ� �部101の屈折率は約1となる。

 したがって、本実施形態によれば、上述し� ��第1実施形態と同様の効果を奏するとともに 、コア35の両側にトンネル部101を配置するこ� ��で、光束Lの振動面を一定の方向に保つこと ができる(単一偏波面保持)。そのため、コア3 5内に特定方向の直線偏光のみを流通させる� �とができるので、スライダ2への入射光のス� ��ット形状を最適化することが可能になり、� ��ポットサイズ変換器40においてスポット光� �効率よく発生させることができる。
 なお、トンネル部101の断面形状は矩形状に� ��らず、円形等の種々の形状を採用すること� ��可能である。また、トンネル部101の数は2つ 以上の複数設けてもよい。さらに、トンネル 部101のレイアウトは、コア35のX方向両側に一 対配置したり、コア35の周囲を囲むように配� ��したりする等、適宜設計変更が可能である� ��

 (第3実施形態)
 次に、本発明の第3実施形態について説明す る。図12は、本発明の第3実施形態を示す図3� �A-A’線に相当する断面図である。なお、以� �の説明では上述した第1実施形態と同一の構� ��については同一の符号を付して説明を省略� ��る。
 図12に示すように、本実施形態の光導波路23 2は、クラッド34におけるコア35のY方向両側に 一対の応力付与部201が形成されている。これ ら応力付与部201は、コア35を両側から挟むよ� ��に配置された断面矩形状のものであり、コ� ��35の延出方向と平行に延出している。

 応力付与部201の形成材料としては、光導波� ��232を構成する材料と線膨張係数が異なる材� ��、例えば、アルミニウム、ニッケル等の金� ��や液晶ポリマー等の合成樹脂等を採用する� ��とが可能である。この場合、応力付与部201� ��クラッド34との相対的な熱膨張・熱収縮に� �って、コア35の延出方向に直交する方向に圧 縮応力が作用することになる。
 したがって、本実施形態によれば、上述し� ��第2実施形態と同様に、コア35のY方向両側に 応力付与部201を配置することで、コア35には� ��側から均等に圧縮応力が作用することにな� ��。この圧縮応力がコア35に複屈折性を生じ� �せ、光束Lの振動面を一定の方向に保つこと� ��できるため、直線偏光を維持した状態で光� ��Lをスライダ2へ導くことができる。

 なお、応力付与部201の製造方法としては� ��上述した方法以外に以下の方法によっても� ��成することができる。すなわち、クラッド3 4の形成材料にシリカガラス等を用い、この� �ラッド34の応力付与部201の形成領域に対して イオンビームを照射することで、照射領域の みが局所的に高密度になる。これにより、イ オンビームの照射領域が応力付与部201となり 、この応力付与部201からコア35に向けて圧縮� ��力が作用することになる。この場合、温度� ��化によって圧縮応力が変化しないため、温� ��依存性がなく信頼性の高い応力付与部201を� ��成することができる。

 また、上述した第2実施形態のトンネル部 101と同様に、応力付与部201の断面形状は矩形 状に限らず、円形等の種々の形状を採用する ことが可能である。また、応力付与部201の数 は2つ以上の複数設けてもよい。さらに、応� �付与部201のレイアウトは、コア35のX方向両� �に一対配置したり、コア35の周囲を囲むよう に配置したりする等、適宜設計変更が可能で ある。

 さらに、応力付与部の構成としては、上� ��した構成の他に以下に示すような構成が可� ��である。例えば、図13に示すように、光導� �路332は、クラッド34の表面(ディスク面D1との 対向面)上に配置された応力付与部301を備え� �いる。この応力付与部301は上述した応力付� �部201と同様の形成材料により構成され、コ� �35の直上に配置されている。この場合、応力 付与部301からはコア35の上方からコア35を圧� �する方向に応力が作用する。これにより、� �述した第3実施形態と同様の効果を奏するこ� ��ができる。また、この構成によれば、クラ� ��ド34上に応力付与部301を配置するのみの簡� �な構成であるため、製造効率の増加を防止� �ることもできる。

 (第4実施形態)
 次に、本発明の第4実施形態について説明す る。図14は、本発明の第4実施形態を示す図3� �A-A’線に相当する断面図である。なお、以� �の説明では上述した第1実施形態と同一の構� ��については同一の符号を付して説明を省略� ��る。
 図14に示すように、本実施形態の光導波路43 2は、コア435の延出方向に直交する断面(YZ平� �)が長方形状に形成されている点で、上述し� ��第1実施形態と相違している。より詳しく説 明すると、コア435は、YZ平面において長辺と� ��辺の長さが異なるように設定されており、� ��の長辺方向をY方向に一致させるとともに、 短辺方向をZ方向に一致させた状態で形成さ� �ている。この場合、コア435の長辺の長さは� �短辺の長さの1倍を超えていれば本発明の効� ��を奏するのは勿論であり、1.1倍以上(すなわ ち、アスペクト比が1.1:1以上)であることがよ り好ましい。

 このように、コア435のYZ平面において長辺� �短辺の長さを異ならせることで、上述した� �2,3実施形態と同様に、光束Lの振動面を一定� ��方向に保つことができるため、直線偏光を� ��持した状態で光束Lをスライダ2へ導くこと� �できる。この場合、本実施形態のコア435は� �上述した第1~3実施形態のような断面正方形� �のコア35の製造方法と、同一の製造方法によ り製造することができる。すなわち、光導波 路432と電気配線31とを半導体プロセスにて一� ��して製造する際に、コア435の膜厚のみを適� ��変更するだけであるので、製造コストの増� ��及び製造効率の低下を防止することができ� ��。
 なお、図15に示すように、YZ平面において、 コア535の長辺をZ方向に一致させるとともに� �短辺をY方向に一致させるような光導波路532� ��採用してもよい。この構成によっても、上� ��した効果と同様の効果を奏することができ� ��。また、図示しないが、コアの断面形状は� ��方形状に限らず、楕円形状等の扁平形状で� ��れば、適宜設計変更が可能である。この場� ��も、コアの長軸が短軸の1倍以上、より好ま しくは長軸と短軸との比が1:1.1以上に設定さ� ��ていればよい。すなわち、コアは、延出方� ��(X方向)に直交する2方向(Y方向、Z方向)の長� �がそれぞれ異なるように形成されていれば� �い。

 なお、上述の各実施形態では、スライダ� ��浮上させた空気浮上タイプの情報記録再生� ��置を例に挙げて説明したが、この場合に限� ��れず、ディスク面に対向配置されていれば� ��ィスクとスライダとが接触していても構わ� ��い。つまり、本発明のスライダは、コンタ� ��トスライダタイプのスライダであっても構� ��ない。この場合であっても、同様の作用効� ��を奏することができる。

 また、各実施形態では、アーム部の片面側� ��みにヘッドジンバルアセンブリが設けられ� ��いる構成について説明したが、各ディスク� ��に差し入れられるアーム部の両面に、各デ� ��スクに対向するようにそれぞれヘッドジン� ��ルアセンブリを設けるような構成も可能で� ��る。この場合、アーム部の両面側に設けら� ��たヘッドジンバルアセンブリの各スライダ� ��より、各スライダに対向するディスク面の� ��報の記録再生を行うことができる。つまり� ��1つのアーム部により2枚のディスクの情報� �記録再生することができるため、情報記録� �生装置の記録容量の増加及び装置の小型化� �図ることができる。
 さらに、上述した各実施形態を適宜組み合� ��せてもよい。