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Title:
１３族元素窒化物層の分離方法および複合基板
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2016088624
Kind Code:
A1
Abstract:
サファイア基板と、サファイア基板上に設けられた１３族元素窒化物層とを備える複合基板を準備する。１３族元素窒化物層が窒化ガリウム、窒化アルミニウムまたは窒化ガリウムアルミニウムからなる。複合基板が関係式（１）（２）および（３）を満足する。複合基板に対して、サファイア基板側からレーザー光を照射することで、サファイア基板と１３族元素窒化物層との界面の結晶格子結合を分解する。 ５．０≦（１３族元素窒化物層の平均厚さ（μm）／前記サファイア基板の直径（ｍｍ）≦１０．０・・・・（１）： ０．１≦前記複合基板の反り（ｍｍ）×（５０／前記複合基板の直径（ｍｍ））２≦０．６・・・・（２）： １．１０≦前記１３族元素窒化物層の厚さの最大値（μｍ）／前記１３族元素窒化物層の厚さの最小値（μｍ）・・・・（３）【選択図】 図１

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Inventors:
Katsuhiro Imai
Makoto Iwai
Takanao Shimodaira
Application Number:
JP2016516109A
Publication Date:
April 27, 2017
Filing Date:
November 25, 2015
Export Citation:
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Assignee:
Nippon Insulator Co., Ltd.
International Classes:
C30B29/38; C23C16/01; C23C16/34; C30B19/12; H01L21/205; H01L21/208
Attorney, Agent or Firm:
Masumi Hosoda
Juno Aoki



 
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