Title:
コーティングを付着させる方法及び装置及び被覆体
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023529559
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、層（６４）をボディ（６０，６２）に適用するための方法及び装置（１０）及び被覆体（６０）に関する。ボディ（６０，６２）は真空チャンバー（１２）内に配置され、プロセスガスが供給される。プラズマは、カソードパルスでカソード電圧（ＶＰ）を印加することによってカソード（３０）を作動させ、ターゲット（３２）をスパッタリングすることにより、真空チャンバー（１２）内で生成される。バイアス電圧（ＶＢ）がボディ（６０，６２）に印加されて、プラズマの電荷キャリアがボディ（６０，６２）の方向に加速され、その表面に付着する。コーティング（６４）の好ましい特性を制御された方法で達成するべく、バイアス電圧（ＶＢ）のタイムコースが、コーティング継続期間（Ｄ）において変化する。ボディ（６０，６２）の層（６４）において、層（６４）の材料は、希ガスの割合を含み、層（６４）内の希ガスの濃度は層厚さに亘って変化する。
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Inventors:
Kelker Werner
Boltz Stephan
Boltz Stephan
Application Number:
JP2022567531A
Publication Date:
July 11, 2023
Filing Date:
June 17, 2021
Export Citation:
Assignee:
Semkon Age
International Classes:
C23C14/34
Attorney, Agent or Firm:
Takatoshi Yamamoto