Title:
物体検査用可変像面湾曲
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017517870
Kind Code:
A
Abstract:
光学システムの像面湾曲は、ウェーハの表面のトポグラフィデータに基づいて、表面のセグメントそれぞれの画像がセグメントにわたって合焦した状態となるように修正される。ウェーハは非平坦であってよい。光学システムは、レンズ素子の位置を変更することにより像面湾曲を修正するコントローラに接続された多重素子レンズシステムであってよい。ウェーハはエッジグリップチャック等のチャックによって保持されてもよい。多重光学システムはウェーハの寸法にわたり配置されてもよい。
More Like This:
| JP2001196424 | WAFER PROBER AND CERAMIC BOARD USED FOR THE SAME |
| JPH0324743 | PROBE CARD |
| JP2953910 | MARKING DEVICE |
Inventors:
Horn pole
Application Number:
JP2016558784A
Publication Date:
June 29, 2017
Filing Date:
March 25, 2015
Export Citation:
Assignee:
KLA-Tenker Corporation
International Classes:
H01L21/66; G01B11/30; G01N21/956; G02B13/00
Domestic Patent References:
| JP2007294815A | 2007-11-08 | |||
| JP2007189211A | 2007-07-26 | |||
| JPS5237445A | 1977-03-23 | |||
| JPH11258518A | 1999-09-24 | |||
| JP2000315712A | 2000-11-14 | |||
| JP2004354556A | 2004-12-16 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Corporation yki International Patent Office